ASM 03068036 ACT கருவி (மேம்பட்ட அளவுத்திருத்த கருவி) என்பது SIPLACE இடமாற்ற இயந்திரங்களுக்காக பிரத்யேகமாக உருவாக்கப்பட்ட ஒரு உயர்-துல்லிய அளவுத்திருத்த அமைப்பாகும். இது உபகரணங்களின் இயக்க அமைப்பு, காட்சி அமைப்பு மற்றும் இடமாற்றத் தலையின் விரிவான அளவுத்திருத்தம் மற்றும் இழப்பீட்டிற்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இது ஒரு ASM-சான்றளிக்கப்பட்ட மைய பராமரிப்பு கருவியாகும்.
2. முக்கிய மதிப்பு
வேலை வாய்ப்பு இயந்திரம் நீண்ட காலத்திற்கு ±25μm வேலை வாய்ப்பு துல்லியத்தை பராமரிப்பதை உறுதி செய்யவும்.
கைமுறை தலையீட்டு பிழைகளைக் குறைக்க முழுமையான தானியங்கி அளவுத்திருத்த செயல்முறையை உணருங்கள்.
முன்கணிப்பு பராமரிப்பை ஆதரித்தல் மற்றும் உபகரணங்களின் ஆயுளை 30% க்கும் அதிகமாக நீட்டித்தல்
II. தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகள்
பொருள் தொழில்நுட்ப அளவுருக்கள் தொழில்நுட்ப நன்மைகள்
அளவுத்திருத்த வகை இயக்கம்/பார்வை/முனை/வெப்பநிலை இழப்பீடு அளவுத்திருத்த தேவைகளின் முழு பாதுகாப்பு
துல்லிய நிலை 0.5μm லேசர் இன்டர்ஃபெரோமீட்டர் + 2MP அளவுத்திருத்த கேமரா மூன்றாம் தரப்பு கருவிகளை விட 3 மடங்கு துல்லியமானது.
இணக்கமான சாதனங்கள் SIPLACE X/X4S/TX/D தொடர் பல மாதிரிகளை ஒரே கிளிக்கில் மாற்றுவதை ஆதரிக்கிறது
செயல்பாட்டு இடைமுகம் 10.1-அங்குல தொடுதிரை (IP65 பாதுகாப்பு) எண்ணெய் எதிர்ப்பு/நிலையான எதிர்ப்பு வடிவமைப்பு
தொடர்பு இடைமுகம் GigE+USB3.0+WiFi 6 தரவு பரிமாற்ற வீதம் 1Gbps வரை
பவர் சப்ளை பயன்முறை லித்தியம் பேட்டரி (8 மணிநேர பேட்டரி ஆயுள்)/DC 24V இரட்டை பயன்முறை ஆன்லைன் அளவுத்திருத்தத்தை ஆதரிக்கிறது
பாதுகாப்பு நிலை IP54 பட்டறை சூழலுக்கு ஏற்றவாறு மாற்றியமைக்கிறது.
III. மைய செயல்பாடுகளின் விரிவான விளக்கம்
1. முழு தானியங்கி இயக்க அளவுத்திருத்தம்
நேரியல் அச்சு ஈடுசெய்தல்:
லேசர் இன்டர்ஃபெரோமீட்டர் X/Y/Z அச்சு நிலைப்படுத்தல் பிழைகளைக் கண்டறிகிறது.
பிட்ச் இழப்பீட்டு அட்டவணையை தானாக உருவாக்குகிறது (1000 புள்ளிகள் வரை)
சுழற்சி அச்சு அளவுத்திருத்தம்:
θ அச்சு பூஜ்ஜியப் புள்ளி திருத்தம் (துல்லியம் ±0.001°)
டைனமிக் ரேடியல் ரன்அவுட் கண்டறிதல்
2. காட்சி அமைப்பு அளவுத்திருத்தம்
விளக்கப்படம்
குறியீடு
5-புள்ளி/9-புள்ளி/25-புள்ளி பல-நிலை அளவுத்திருத்த பயன்முறையை ஆதரிக்கிறது
ரேடியல்/தொடுநிலை விலகல் குணகங்களை (K1/K2/K3) தானாகவே கணக்கிடுகிறது.
3. அறிவார்ந்த நோயறிதல் செயல்பாடு
இயந்திர தேய்மான பகுப்பாய்வு: அதிர்வு நிறமாலை மூலம் வழிகாட்டி தண்டவாளம்/திருகு நிலையைத் தீர்மானித்தல்.
வெப்பநிலை சறுக்கல் மாதிரியாக்கம்: வெப்பநிலை-துல்லிய இழப்பீட்டு வளைவை நிறுவுதல்
முனையின் ஆரோக்கிய மதிப்பீடு: வெற்றிடக் கசிவு/செறிவு விலகலைக் கண்டறிதல்
IV. செயல்பாட்டு செயல்முறை
நிலையான அளவுத்திருத்த செயல்முறை (எக்ஸ்-அச்சை உதாரணமாக எடுத்துக்கொள்வது):
லேசர் இன்டர்ஃபெரோமீட்டர் பிரதிபலிப்பானை (காந்த குறிப்பு இருக்கை) நிறுவவும்.
ஆட்டோட்ராக் தானியங்கி கண்காணிப்பு பயன்முறையை இயக்கு
இந்த அமைப்பு 20 செட் நிலைப்படுத்தல் தரவைச் சேகரிக்கிறது (முழு செயல்முறை ≤ 3 நிமிடங்கள்)
இழப்பீட்டு கோப்புகளை உருவாக்கி வேலை வாய்ப்பு இயந்திரத்தில் பதிவேற்றவும்.
V. வழக்கமான பயன்பாட்டு காட்சிகள்
சூழ்நிலை சார்ந்த பயன்பாடு
புதிய இயந்திர ஏற்பு ISO 9001 தரநிலையின் கீழ் 72 மணிநேர நிலைத்தன்மை சோதனையைச் செய்யவும் (CPK≥1.67)
வழக்கமான பராமரிப்பு காலாண்டு முழு இயந்திர அளவுத்திருத்தம் (12 துணை சோதனைகள் உட்பட)
XY தண்டவாளத்தின் தேய்மானப் பகுதியை துல்லியமாகக் கண்டறியவும் (50மிமீ இடைவெளி கண்டறிதல்) பிழை சரிசெய்தல்.
செயல்முறை மேம்படுத்தல் 01005 கூறு இடமளிப்பதற்கு முன் துல்லிய சரிபார்ப்பை ஆதரிக்கிறது.
VI. பராமரிப்பு மற்றும் பராமரிப்பு
1. கருவி சுய பராமரிப்பு
தினசரி:
ஆப்டிகல் லென்ஸை சுத்தம் செய்யவும் (சிறப்பு துப்புரவு கம்பியைப் பயன்படுத்தவும்)
குறிப்பு கண்ணாடியில் கீறல்கள் ஏதேனும் உள்ளதா என சரிபார்க்கவும் (≤0.1μm கடினத்தன்மை தேவை)
மாதாந்திரம்:
லேசர் அலைநீளத்தை (633nm±0.01nm) அளவீடு செய்யவும்.
நிலைபொருளைப் புதுப்பிக்கவும் (ASM சேவை மையம் வழியாக)
2. நுகர்பொருட்கள் மேலாண்மை
நுகர்பொருட்கள் மாற்று சுழற்சி அசல் மாதிரி
அளவுத்திருத்த பலகை 2 ஆண்டுகள்/500 முறை 03068036-CP
லேசர் பிரதிபலிப்பான் 5 ஆண்டுகள் 03068036-MR
6 மாதங்களுக்கு தொடுதிரை பாதுகாப்பு படம் 03068036-TF
VII. சரிசெய்தல் வழிகாட்டி
தவறு குறியீடு நிகழ்வு தீர்வு
E6831 லேசர் சிக்னல் இழந்தது 1. ஒளி பாதை அடைப்பை சரிபார்க்கவும்.
2. பிரதிபலிப்பாளரை சுத்தம் செய்யவும்.
E6832 கேமரா குவியம் தோல்வியடைந்தது 1. ஆட்டோஃபோகஸ் நடைமுறையை இயக்கவும்.
2. லென்ஸ் குழுவை மாற்றவும்
E6833 தரவு தொடர்பு தடைப்பட்டது 1. WiFi தொகுதியை மறுதொடக்கம் செய்யவும்
2. கம்பி இணைப்பைப் பயன்படுத்தவும்
E6834 போதுமான பேட்டரி ஆயுள் இல்லை 1. DC மின்சார விநியோகத்தை இயக்கு
2. பேட்டரி பேக்கை மாற்றவும் (48Wh)
VIII. தொழில்நுட்ப பரிணாமம்
2024 மேம்படுத்தல் திட்டம்:
AR வழிகாட்டுதல் செயல்பாட்டை ஒருங்கிணைக்கவும் (ஸ்மார்ட் கண்ணாடிகள் மூலம் அளவுத்திருத்த படிகளைக் காட்டு)
AI பிழை கணிப்பைச் சேர்க்கவும் (வரலாற்றுத் தரவு பகுப்பாய்வின் அடிப்படையில்)
பசுமை மேம்பாடு:
சூரிய சக்தி சார்ஜிங் தொகுதி (விரும்பினால்)
IX. பயன்பாட்டு பரிந்துரைகள்
பணியாளர் தேவைகள்:
ASM L2 சான்றிதழ் பயிற்சி
இரண்டு நபர் அறுவை சிகிச்சை பரிந்துரைக்கப்படுகிறது (ஒரு நபர் அறுவை சிகிச்சை செய்ய, 1 நபர் மதிப்பாய்வு செய்ய)
சிறந்த நடைமுறைகள்:
அளவுத்திருத்தத்திற்கு முன் உபகரணங்களை ≥30 நிமிடங்களுக்கு முன்கூட்டியே சூடாக்கவும்.
சுற்றுப்புற வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கம் ±1℃/மணி நேரத்திற்குள் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது.
உதிரி பாகங்கள் உத்தி:
முக்கிய நுகர்பொருட்கள் 1:3 என்ற விகிதத்தில் இருப்பில் வைக்கப்பட்டுள்ளன.
ஒரு உதிரி ஹோஸ்டை உள்ளமைக்க பரிந்துரைக்கப்படுகிறது (முக்கிய உற்பத்தி வரிகளுக்கு)
X. சுருக்கம் மற்றும் மதிப்பீடு
"கண்டறிதல்-பகுப்பாய்வு-இழப்பீடு" மூடிய-லூப் அமைப்பு மூலம், வேலை வாய்ப்பு இயந்திரத்தின் துல்லிய மேலாண்மையின் டிஜிட்டல்மயமாக்கல், தானியங்கிமயமாக்கல் மற்றும் நுண்ணறிவை ACT கருவி உணர்த்துகிறது. இதன் முக்கிய நன்மைகள்:
அசல் தொழிற்சாலை தரவின் அங்கீகாரம்: அளவுத்திருத்த முடிவுகள் நேரடியாக உபகரணங்களின் முக்கிய அளவுருக்களில் எழுதப்படுகின்றன.
செயல்திறன் மேம்பாடு: முழுமையான தானியங்கி செயல்முறை கைமுறை அளவுத்திருத்தத்தை விட 5 மடங்கு வேகமானது.
ஆயுள் நீட்டிப்பு மதிப்பு: வழக்கமான பயன்பாடு உபகரணங்களை மாற்றியமைக்கும் அதிர்வெண்ணை 40% குறைக்கலாம்.