SEMES வேஃபர் கிளீனர் ப்ளூஐஸ் பிரைம்

SEMES-இன் BLUEICE PRIME என்பது, மேம்பட்ட செயல்முறைத் தொழில்நுட்பம் (LPT) சார்ந்த லாஜிக் மற்றும் மெமரி சிப் உற்பத்திக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட, 300mm அளவுள்ள, முழுமையாகத் தானியங்கி ஒற்றை-வேஃபர் சுத்தப்படுத்தும் அமைப்பாகும். சாம்சங் எலக்ட்ரானிக்ஸின் முக்கிய உபகரண வழங்குநரான SEMES நிறுவனத்தால் உருவாக்கப்பட்டுத் தயாரிக்கப்பட்ட இது, 2nm போன்ற அதிநவீன செயல்முறைகளின் பெருமளவு உற்பத்தி விளைச்சலை மேம்படுத்துவதற்கான ஒரு முக்கிய உபகரணமாகும்.

மையச் செயல்திறன்: மேம்பட்ட செயல்முறைகள் மற்றும் கொள்ளளவைச் சமநிலைப்படுத்துதல்

மேம்பட்ட செயல்முறை செயல்திறன்: 19 நானோமீட்டர் அளவிலான துகள்களை அகற்றும் திறன் கொண்டது, இது செதுக்குதல் சீர்மையை 40%க்கும் மேலாகக் கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது.

உயர்-செயல்திறன் கொள்ளளவு வடிவமைப்பு: ஒரு 300மிமீ ஒற்றை-வேஃபர் சுத்திகரிப்பு அமைப்பாக, இது ஒரு மணி நேரத்திற்கு 500க்கும் மேற்பட்ட வேஃபர்களை (WPH) கையாண்டு, பெரிய அளவிலான பெருமளவு உற்பத்தியின் தேவைகளைத் திறம்படப் பூர்த்தி செய்கிறது.

தொழில்நுட்ப அம்சங்கள்: தனித்தனியாக உருவாக்கப்பட்ட பல புதுமையான வடிவமைப்புகள்

புதுமையான உயர்-வெப்பநிலை பாஸ்போரிக் அமில செயல்முறை: இதன் முக்கிய செயல்முறையானது, வேஃபர் பொறித்தல் மற்றும் உரித்தலுக்கு உயர்-வெப்பநிலை பாஸ்போரிக் அமிலத்தைப் பயன்படுத்துகிறது. தெளித்தல் மற்றும் வெப்பநிலையின் துல்லியமான கட்டுப்பாடு, செயல்முறை சிதறல் மற்றும் குறைபாட்டு விகிதங்களைத் திறம்படக் குறைத்து, 2nm சிப் உற்பத்தியை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது.

**சுயமாக உருவாக்கப்பட்ட உயர்-வெப்பநிலை சக்:** இந்தத் தொழில்நுட்பம், வேஃபர் சூடாக்கத்தின் போது வெப்பநிலைச் சீரான தன்மையை மேம்படுத்துகிறது, செயல்முறைக் குறைபாடுகளைக் கணிசமாகக் குறைக்கிறது, மேலும் பாரம்பரிய ஈரமான சுத்திகரிப்பு முறைகளின் வரம்புகளைக் கடக்கிறது.

**விரிவான மாசுக்கட்டுப்பாடு:** என்.ஐ.சி (தொடர்பற்ற தூய்மை) அறையானது, இயற்பியல் ரீதியான தூய்மையாக்கலுக்கான எஸ்.எஃப்-ஏரோசால் (அதிவேக/சீரான நீர்த்துளி) தொழில்நுட்பத்துடன் இணைந்து, குறுக்கு-மாசுபாட்டைத் திறம்படத் தடுக்கிறது.

**அதிக ஒருங்கிணைந்த அறிவார்ந்த அமைப்பு:** APAC, AIS (தானியங்கி கண்டறிதல் அமைப்பு) மற்றும் SEAS (திறன்மிகு உபகரணப் பகுப்பாய்வு அமைப்பு) ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ள இது, துல்லியமான பாய்வுக் கட்டுப்பாட்டையும் உபகரண நிலையின் அறிவார்ந்த பகுப்பாய்வையும் வழங்குகிறது.

**பயன்பாட்டுத் துறைகள்:** சாம்சங் நிறுவனத்தை மையமாகக் கொண்டு, உலகின் முன்னணி வாடிக்கையாளர்களுக்குச் சேவை வழங்குகிறது.

ப்ளூஐஸ் பிரைம் முதன்மையாக உலகின் முன்னணி லாஜிக் சிப் வார்ப்பகங்கள் மற்றும் மெமரி உற்பத்தியாளர்களை இலக்காகக் கொண்டுள்ளது. அதன் தாய் நிறுவனமான செம்ஸ், சாம்சங் குழுமத்தின் ஒரு துணை நிறுவனம் என்ற தகுதியைப் பயன்படுத்தி, இந்த உபகரணம் சாம்சங்கின் மிகவும் மேம்பட்ட வேஃபர் ஃபேப் உற்பத்தித் தொடர்களில் ஆழமாக ஒருங்கிணைக்கப்பட்டுள்ளது. இதன் ஈரமான சுத்திகரிப்புத் தீர்வு, லித்தோகிராஃபி (ஒமேகா தொடர்) மற்றும் எச்சிங் (மைக்கேல் தொடர்) போன்ற பிற முக்கிய முன்-முனை உபகரணங்களுடன் ஒரு முழுமையான சூழலமைப்பை உருவாக்குகிறது. செம்ஸ் தனது வணிக நோக்கத்தை முழு HBM (ஹை பேண்ட்வித் மெமரி) உற்பத்தித் துறைக்கும் விரிவுபடுத்தி, HBM சிப் அடுக்கி வைப்பதற்கான ஒரு வெப்பப் பிணைப்பு இயந்திரத்தை (TC Bonder) வெற்றிகரமாக உருவாக்கி பெருமளவில் உற்பத்தி செய்துள்ளது என்பது குறிப்பிடத்தக்கது.

சுருக்கமாக, குறைக்கடத்தி உபகரணத் துறையில் SEMES-இன் ஆழ்ந்த தொழில்நுட்ப வலிமையை BLUEICE PRIME நிரூபிக்கிறது. மேம்பட்ட செயல்முறைத் தொழில்நுட்பங்களில் உலகளாவிய தலைவராகத் தனது நிலையை வலுப்படுத்துவதற்கான சாம்சங் குழுமத்தின் முயற்சிகளில் இது ஒரு முக்கியப் பகுதியாகவும், 2 நானோமீட்டருக்கும் குறைவான அதிநவீன உற்பத்தியை ஆதரிக்கும் ஒரு முக்கியக் கருவியாகவும் விளங்குகிறது.