Очищувач пластин TEL CELLESTA™ -i MD

TEL CELLESTA™ -i MD – це флагманська система очищення окремих пластин розміром 300 мм від Tokyo Electron (TEL) для вузлів технологічного процесу 10 нм і вище. Вона спеціально розроблена для вирішення основних технологічних проблем, таких як схильність мікроструктур до пошкодження під час очищення та сушіння в передових процесах, і є ключовим пристроєм, що сприяє підвищенню виходу високоякісних мікросхем.

Основна продуктивність: Розподіл технологій та підтримка даних

Для кращого розуміння, його ключові технічні характеристики наведено нижче:

Ключові характеристики, показники ефективності та технічні деталі

Позиціонування процесу. Орієнтація на 10-нм та більш просунуті технологічні вузли, що спеціалізуються на неруйнівному очищенні та видаленні частинок з візерунчастих поверхонь пластин.

Основні технології: Очищення та сушіння. Забезпечує сушіння без згортання малюнка завдяки контролю атмосфери в камері та оптимізації роботи сопел IPA (ізопропілового спирту); може використовувати хімічні розчини, такі як SC-1 та DHF, для мокрого травлення; а також може інтегрувати функції фізичного очищення, такі як нанесення пензлем та двофазне розпилення.

Високоефективна продуктивність та модульність: можливість налаштування до 20 очисних камер, що забезпечує продуктивність до 1000 пластин на годину (WPH) та дозволяє гнучко розширювати блоки очищення зі скосом.

Низькоекономічна експлуатація: вбудована система рециркуляції хімічних речовин значно знижує експлуатаційні витрати (CoO) та ефективно економить споживання сірчаної кислоти.

Надійність: Його транспортна система пройшла 750 мільйонів циклів обробки пластин з нульовою перевіркою помилок, що забезпечує надзвичайно високу стабільність масового виробництва.

Застосування: Завдяки своїй передовій технології та стабільній роботі, CELLESTA™ -i MD широко використовується у виробництві передових напівпровідникових приладів, відіграючи незамінну роль у таких галузях:

Логічні мікросхеми: Забезпечують чисті поверхні пластин для виробництва високопродуктивних логічних мікросхем, таких як центральні процесори, графічні процесори та процесори штучного інтелекту.

Мікросхеми пам'яті: використовуються у виробництві мікросхем пам'яті, таких як DRAM та 3D NAND Flash, забезпечуючи точність та надійність комірок пам'яті.

Удосконалена упаковка: Широко використовується на етапах очищення в передових процесах упаковки, таких як BSI (підсвічування ззаду), 3D-стекування, живлення ззаду та SoIC (система на кристалі).

Оцінка галузі та позиція на ринку

Як модель преміум-класу серії CELLESTA, -i MD представляє найвищий рівень TEL в очищенні окремих пластин. Завдяки чудовій продуктивності очищення та визнаній високій надійності, ця серія платформ, разом зі SCREEN, міцно утримує лідируючі позиції на світовому ринку обладнання для очищення напівпровідників, що робить її незамінним обладнанням, що підтримує масове виробництво передових мікросхем.