Máy hàn chip lật ASM AMICRA NANO

AMICRA NANO của ASM là một thiết bị ghép chip lật siêu chính xác hàng đầu. Trên thực tế, nó không chỉ là một thiết bị ghép chip lật đơn giản, mà là một thiết bị kết hợp cả chức năng ghép chip và ghép chip lật, xử lý linh hoạt các quy trình ghép đa dạng.

Các tính năng cốt lõi và thông số kỹ thuật của AMICRA NANO

Mô tả chi tiết các tính năng

Loại thiết bị: Máy hàn chip siêu chính xác / Máy hàn chip lật

Độ chính xác cốt lõi: Độ chính xác vị trí/căn chỉnh: ±0,2 µm @ 3σ

Các phương pháp liên kết: Liên kết lai, Liên kết eutectic, Liên kết laser, Liên kết nhiệt tĩnh (TCB), Làm cứng bằng tia UV

Phạm vi áp suất liên kết: 0,1 N đến 20 N (khoảng 10g đến 2kg)

Kích thước chip: Xử lý được các chip cực nhỏ, ví dụ: 0,1mm x 0,1mm

Kích thước vật liệu: Hỗ trợ vật liệu có kích thước lên đến 300mm x 300mm

Năng suất sản xuất (UPH): Khoảng 200-400 miếng khoai tây chiên mỗi giờ

Hệ điều hành: Giao diện Windows

Kích thước thiết bị: Chỉ riêng phần đế 2,23 x 1,0 m (khoảng 7,3 x 3,3 ft)

Môi trường xử lý Được trang bị bộ lọc HEPA và máy tạo ion, đảm bảo môi trường phòng sạch có độ tinh khiết cao.

Thông tin kỹ thuật chi tiết hơn và so sánh với các mẫu xe tương tự

Nguyên tắc

Độ chính xác cực cao của AMICRA NANO đến từ thiết kế độc đáo của nó: bốn hệ thống hình ảnh độ phân giải cao được gắn cố định trên một đế đá granit tự nhiên, trong khi các hệ thống điều khiển chuyển động khác di chuyển xung quanh các camera cố định này. Kết hợp với khả năng giảm chấn rung động chủ động và hệ thống căn chỉnh động, điều này đảm bảo vị trí đặt chính xác.

Các lĩnh vực ứng dụng

Nó được thiết kế cho các ứng dụng đóng gói tiên tiến với yêu cầu độ chính xác cực cao, đặc biệt nổi bật trong lĩnh vực quang tử silicon, đóng gói thiết bị quang học, tích hợp chip-to-wafer và tích hợp mạch tích hợp 2.5D/3D.

Ưu điểm của quy trình

Ngoài độ chính xác định vị cực cao, AMICRA NANO còn hỗ trợ các quy trình liên kết eutectic AuSn tốc độ cao và có khả năng liên kết eutectic tại chỗ, giúp cải thiện hiệu quả năng suất và chất lượng kết nối.

Các mô hình phái sinh khác

Bên cạnh dòng NANO, dòng sản phẩm ASMPT AMICRA còn bao gồm:

NOVA Pro: Cũng hỗ trợ liên kết chip lật với độ chính xác ±1,0 µm, đạt được sự cân bằng giữa tốc độ và độ chính xác.

AFC Plus: Đây là máy hàn chip đa năng với độ chính xác ±1,5 µm, được thiết kế để bổ sung cho dòng sản phẩm cao cấp NANO.

Tóm lại, ASM AMICRA NANO được thiết kế để đáp ứng các yêu cầu đóng gói khắt khe nhất. Không giống như các thiết bị ưu tiên hiệu quả, nó tập trung vào việc đạt được độ chính xác cực cao ±0,2 µm, phục vụ cho nghiên cứu và phát triển cũng như sản xuất đa dạng sản phẩm với số lượng nhỏ trong các lĩnh vực tiên tiến như quang tử silicon và điện toán AI.