Panlinis ng wafer ng SEMES na BLUEICE PRIME

Ang BLUEICE PRIME ng SEMES ay isang 300mm na ganap na automated na single-wafer cleaning system na idinisenyo para sa advanced process technology (LPT) logic at memory chip manufacturing. Binuo at ginawa ng SEMES, isang pangunahing supplier ng kagamitan sa ilalim ng Samsung Electronics, ito ay isang mahalagang kagamitan para sa pagpapabuti ng mass production yields ng mga makabagong proseso tulad ng 2nm.

Pangunahing Pagganap: Pagbabalanse ng mga Advanced na Proseso at Kapasidad

Superior na Pagganap ng Proseso: May kakayahang mag-alis ng mga particle sa antas na 19nm, na makabuluhang nagpapabuti sa pagkakapareho ng pag-ukit nang mahigit 40%.

Disenyo ng Kapasidad na May Mataas na Kahusayan: Bilang isang 300mm na single-wafer cleaning system, nakakahawak ito ng mahigit 500 wafer kada oras (WPH), na epektibong nakakatugon sa mga pangangailangan ng malakihang produksyon.

Mga Teknikal na Katangian: Maramihang Malayang Binuo na mga Makabagong Disenyo

Makabagong Proseso ng Phosphoric Acid na May Mataas na Temperatura: Ang pangunahing proseso nito ay gumagamit ng high-temperature phosphoric acid para sa wafer etching at stripping. Ang tumpak na kontrol sa pag-spray at temperatura ay epektibong nakakabawas sa pagkalat ng proseso at mga rate ng depekto, na makabuluhang nagpapabuti sa 2nm chip yields.

**High-Temperature Chuck na Malayang Binuo:** Pinapabuti ng teknolohiyang ito ang pagkakapareho ng temperatura habang pinapainit ang wafer, makabuluhang binabawasan ang mga depekto sa proseso, at nalalampasan ang mga limitasyon ng mga tradisyonal na pamamaraan ng wet cleaning.

**Komprehensibong Pagkontrol sa Kontaminasyon:** Ang NIC (Non-Interaction Clean) chamber ay epektibong pumipigil sa cross-contamination, na sinamahan ng teknolohiyang SF-Aerosol (high-speed/uniform droplet) para sa pisikal na paglilinis.

**Lubos na Pinagsamang Matalinong Sistema:** Nilagyan ng APAC, AIS (Automatic Detection System), at SEAS (Smart Equipment Analysis System), nakakamit nito ang tumpak na pagkontrol ng daloy at matalinong pagsusuri ng katayuan ng kagamitan.

**Mga Sakop na Aplikasyon:** Nakabase sa Samsung, na nagsisilbi sa mga nangungunang pandaigdigang kliyente.

Pangunahing tinatarget ng BLUEICE PRIME ang mga nangungunang pandaigdigang tagagawa ng logic chip at memory. Gamit ang katayuan ng kumpanyang magulang nito na SEMES bilang isang subsidiary ng Samsung Group, ang kagamitang ito ay lubos na isinama sa mga pinaka-advanced na linya ng produksyon ng wafer fab ng Samsung. Ang solusyon nito sa wet cleaning ay bumubuo ng isang kumpletong ecosystem kasama ang iba pang pangunahing front-end na kagamitan tulad ng lithography (OMEGA series) at etching (MICHELAN series). Mahalagang tandaan na pinalawak ng SEMES ang saklaw ng negosyo nito sa buong larangan ng pagmamanupaktura ng HBM (High Bandwidth Memory), matagumpay na binuo at ginawa nang maramihan ang isang thermal bonding machine (TC Bonder) para sa HBM chip stacking.

Sa buod, ipinapakita ng BLUEICE PRIME ang malalim na lakas ng teknolohiya ng SEMES sa larangan ng kagamitang semiconductor. Ito ay isang mahalagang bahagi ng mga pagsisikap ng Samsung Group na patatagin ang posisyon nito bilang isang pandaigdigang lider sa mga advanced na teknolohiya ng proseso at isang mahalagang kasangkapan na sumusuporta sa makabagong pagmamanupaktura na mas mababa sa 2nm.