Limpador de obleas SEMES BLUEICE PRIME

O BLUEICE PRIME de SEMES é un sistema de limpeza dunha soa oblea de 300 mm totalmente automatizado deseñado para a lóxica de tecnoloxía de procesos avanzados (LPT) e a fabricación de chips de memoria. Desenvolvido e fabricado por SEMES, un provedor de equipos principais de Samsung Electronics, é unha peza clave do equipo para mellorar o rendemento da produción en masa de procesos de vangarda como os de 2 nm.

Rendemento básico: equilibrio entre procesos avanzados e capacidade

Rendemento superior do proceso: Capaz de eliminar partículas a un nivel de 19 nm, mellorando significativamente a uniformidade do gravado en máis dun 40 %.

Deseño de capacidade de alta eficiencia: como sistema de limpeza dunha soa oblea de 300 mm, manexa máis de 500 obleas por hora (WPH), satisfazendo eficazmente as demandas da produción en masa a grande escala.

Características técnicas: Múltiples deseños innovadores desenvolvidos de forma independente

Proceso innovador de ácido fosfórico a alta temperatura: o seu proceso principal utiliza ácido fosfórico a alta temperatura para o gravado e o decapado de obleas. O control preciso da pulverización e da temperatura reduce eficazmente a dispersión do proceso e as taxas de defectos, mellorando significativamente o rendemento dos chips de 2 nm.

**Mandril de alta temperatura desenvolvido de forma independente:** Esta tecnoloxía mellora a uniformidade da temperatura durante o quecemento das obleas, reduce significativamente os defectos do proceso e supera as limitacións dos métodos tradicionais de limpeza en húmido.

**Control exhaustivo da contaminación:** A cámara NIC (limpeza sen interacción) impide eficazmente a contaminación cruzada, combinada coa tecnoloxía SF-Aerosol (gotas uniformes/de alta velocidade) para a limpeza física.

**Sistema intelixente altamente integrado:** Equipado con APAC, AIS (sistema de detección automática) e SEAS (sistema de análise de equipos intelixentes), consegue un control de fluxo preciso e unha análise intelixente do estado dos equipos.

**Áreas de aplicación:** Con sede en Samsung, atendendo aos principais clientes globais.

BLUEICE PRIME diríxese principalmente ás principais fundicións de chips lóxicos e fabricantes de memoria a nivel mundial. Aproveitando o status da súa empresa matriz, SEMES, como filial do Grupo Samsung, este equipo está profundamente integrado nas liñas de produción de fabricación de obleas máis avanzadas de Samsung. A súa solución de limpeza húmida forma un ecosistema completo con outros equipos front-end básicos, como litografía (serie OMEGA) e gravado (serie MICHELAN). Cómpre sinalar que SEMES ampliou o seu alcance comercial a todo o campo de fabricación de HBM (memoria de ancho de banda elevado), desenvolvendo e producindo en masa con éxito unha máquina de unión térmica (TC Bonder) para o apilado de chips HBM.

En resumo, BLUEICE PRIME demostra a profunda fortaleza tecnolóxica de SEMES no campo dos equipos semicondutores. É unha parte crucial dos esforzos do Grupo Samsung para consolidar a súa posición como líder mundial en tecnoloxías de procesos avanzadas e unha ferramenta clave que apoia a fabricación de vangarda por debaixo dos 2 nm.