ASM 03068036 ACT ಉಪಕರಣ (ಸುಧಾರಿತ ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯ ಸಾಧನ) ಎಂಬುದು SIPLACE ನಿಯೋಜನೆ ಯಂತ್ರಗಳಿಗಾಗಿ ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಲಾದ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಾಗಿದೆ. ಇದನ್ನು ಉಪಕರಣದ ಚಲನೆಯ ವ್ಯವಸ್ಥೆ, ದೃಶ್ಯ ವ್ಯವಸ್ಥೆ ಮತ್ತು ನಿಯೋಜನೆ ತಲೆಯ ಸಮಗ್ರ ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯ ಮತ್ತು ಪರಿಹಾರಕ್ಕಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಇದು ASM-ಪ್ರಮಾಣೀಕೃತ ಕೋರ್ ನಿರ್ವಹಣಾ ಸಾಧನವಾಗಿದೆ.
2. ಮೂಲ ಮೌಲ್ಯ
ಪ್ಲೇಸ್ಮೆಂಟ್ ಯಂತ್ರವು ದೀರ್ಘಕಾಲದವರೆಗೆ ±25μm ಪ್ಲೇಸ್ಮೆಂಟ್ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಕಾಯ್ದುಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಿ.
ಹಸ್ತಚಾಲಿತ ಹಸ್ತಕ್ಷೇಪ ದೋಷಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಸಂಪೂರ್ಣ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಅರಿತುಕೊಳ್ಳಿ.
ಮುನ್ಸೂಚಕ ನಿರ್ವಹಣೆಯನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸಿ ಮತ್ತು ಸಲಕರಣೆಗಳ ಜೀವಿತಾವಧಿಯನ್ನು 30% ಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚು ವಿಸ್ತರಿಸಿ
II. ತಾಂತ್ರಿಕ ವಿಶೇಷಣಗಳು
ಐಟಂ ತಾಂತ್ರಿಕ ನಿಯತಾಂಕಗಳು ತಾಂತ್ರಿಕ ಅನುಕೂಲಗಳು
ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯದ ಪ್ರಕಾರ ಚಲನೆ/ದೃಷ್ಟಿ/ನಳಿಕೆ/ತಾಪಮಾನ ಪರಿಹಾರ ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯದ ಅಗತ್ಯತೆಗಳ ಸಂಪೂರ್ಣ ವ್ಯಾಪ್ತಿ
ನಿಖರತೆಯ ಮಟ್ಟ 0.5μm ಲೇಸರ್ ಇಂಟರ್ಫೆರೋಮೀಟರ್ + 2MP ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯ ಕ್ಯಾಮೆರಾ ಮೂರನೇ ವ್ಯಕ್ತಿಯ ಪರಿಕರಗಳಿಗಿಂತ 3 ಪಟ್ಟು ಹೆಚ್ಚು ನಿಖರವಾಗಿದೆ.
ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯ ಸಾಧನಗಳು SIPLACE X/X4S/TX/D ಸರಣಿ ಬಹು ಮಾದರಿಗಳ ಒಂದು-ಕ್ಲಿಕ್ ಸ್ವಿಚಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ
ಆಪರೇಷನ್ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ 10.1-ಇಂಚಿನ ಟಚ್ ಸ್ಕ್ರೀನ್ (IP65 ರಕ್ಷಣೆ) ಆಂಟಿ-ಆಯಿಲ್/ಆಂಟಿ-ಸ್ಟ್ಯಾಟಿಕ್ ವಿನ್ಯಾಸ
ಸಂವಹನ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ GigE+USB3.0+WiFi 6 ಡೇಟಾ ಪ್ರಸರಣ ದರ 1Gbps ವರೆಗೆ
ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜು ಮೋಡ್ ಲಿಥಿಯಂ ಬ್ಯಾಟರಿ (8 ಗಂಟೆಗಳ ಬ್ಯಾಟರಿ ಬಾಳಿಕೆ)/DC 24V ಡ್ಯುಯಲ್ ಮೋಡ್ ಆನ್ಲೈನ್ ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯವನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ
ರಕ್ಷಣೆಯ ಮಟ್ಟ IP54 ಕಾರ್ಯಾಗಾರದ ಪರಿಸರಕ್ಕೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ
III. ಕೋರ್ ಕಾರ್ಯಗಳ ವಿವರವಾದ ವಿವರಣೆ
1. ಸಂಪೂರ್ಣ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಚಲನೆಯ ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯ
ರೇಖೀಯ ಅಕ್ಷ ಪರಿಹಾರ:
ಲೇಸರ್ ಇಂಟರ್ಫೆರೋಮೀಟರ್ X/Y/Z ಅಕ್ಷದ ಸ್ಥಾನೀಕರಣ ದೋಷಗಳನ್ನು ಪತ್ತೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ
ಪಿಚ್ ಪರಿಹಾರ ಕೋಷ್ಟಕವನ್ನು ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತವಾಗಿ ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತದೆ (1000 ಅಂಕಗಳವರೆಗೆ)
ತಿರುಗುವಿಕೆಯ ಅಕ್ಷದ ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯ:
θ ಅಕ್ಷದ ಶೂನ್ಯ ಬಿಂದು ತಿದ್ದುಪಡಿ (ನಿಖರತೆ ± 0.001°)
ಡೈನಾಮಿಕ್ ರೇಡಿಯಲ್ ರನೌಟ್ ಪತ್ತೆ
2. ದೃಶ್ಯ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯ
ಚಾರ್ಟ್
ಕೋಡ್
5-ಪಾಯಿಂಟ್/9-ಪಾಯಿಂಟ್/25-ಪಾಯಿಂಟ್ ಬಹು-ಹಂತದ ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯ ಮೋಡ್ ಅನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ
ರೇಡಿಯಲ್/ಸ್ಪರ್ಶಕ ಅಸ್ಪಷ್ಟತೆ ಗುಣಾಂಕಗಳನ್ನು ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತವಾಗಿ ಲೆಕ್ಕಾಚಾರ ಮಾಡುತ್ತದೆ (K1/K2/K3)
3. ಬುದ್ಧಿವಂತ ರೋಗನಿರ್ಣಯ ಕಾರ್ಯ
ಯಾಂತ್ರಿಕ ಉಡುಗೆ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ: ಕಂಪನ ವರ್ಣಪಟಲದ ಮೂಲಕ ಮಾರ್ಗದರ್ಶಿ ರೈಲು/ಸ್ಕ್ರೂ ಸ್ಥಿತಿಯನ್ನು ನಿರ್ಧರಿಸುವುದು.
ತಾಪಮಾನ ದಿಕ್ಚ್ಯುತಿ ಮಾದರಿ: ತಾಪಮಾನ-ನಿಖರ ಪರಿಹಾರ ರೇಖೆಯನ್ನು ಸ್ಥಾಪಿಸುವುದು.
ನಳಿಕೆಯ ಆರೋಗ್ಯ ಮೌಲ್ಯಮಾಪನ: ನಿರ್ವಾತ ಸೋರಿಕೆ/ಕೇಂದ್ರೀಕೃತತೆಯ ವಿಚಲನವನ್ನು ಪತ್ತೆ ಮಾಡಿ.
IV. ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ
ಪ್ರಮಾಣಿತ ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ (ಉದಾಹರಣೆಯಾಗಿ X-ಅಕ್ಷವನ್ನು ತೆಗೆದುಕೊಳ್ಳುವುದು):
ಲೇಸರ್ ಇಂಟರ್ಫೆರೋಮೀಟರ್ ಪ್ರತಿಫಲಕವನ್ನು ಸ್ಥಾಪಿಸಿ (ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟಿಕ್ ರೆಫರೆನ್ಸ್ ಸೀಟ್)
ಆಟೋಟ್ರ್ಯಾಕ್ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಟ್ರ್ಯಾಕಿಂಗ್ ಮೋಡ್ ಅನ್ನು ರನ್ ಮಾಡಿ
ಈ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು 20 ಸೆಟ್ಗಳ ಸ್ಥಾನೀಕರಣ ದತ್ತಾಂಶವನ್ನು ಸಂಗ್ರಹಿಸುತ್ತದೆ (ಪೂರ್ಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ≤ 3 ನಿಮಿಷಗಳು)
ಪರಿಹಾರ ಫೈಲ್ಗಳನ್ನು ರಚಿಸಿ ಮತ್ತು ನಿಯೋಜನೆ ಯಂತ್ರಕ್ಕೆ ಅಪ್ಲೋಡ್ ಮಾಡಿ.
V. ವಿಶಿಷ್ಟ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಸನ್ನಿವೇಶಗಳು
ಸನ್ನಿವೇಶ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್
ಹೊಸ ಯಂತ್ರ ಸ್ವೀಕಾರ ISO 9001 ಮಾನದಂಡದ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ 72-ಗಂಟೆಗಳ ಸ್ಥಿರತೆ ಪರೀಕ್ಷೆಯನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸಿ (CPK≥1.67)
ನಿಯಮಿತ ನಿರ್ವಹಣೆ ತ್ರೈಮಾಸಿಕ ಪೂರ್ಣ ಯಂತ್ರ ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯ (12 ಉಪ-ಪರೀಕ್ಷೆಗಳು ಸೇರಿದಂತೆ)
ದೋಷ ದುರಸ್ತಿ XY ರೈಲಿನ ಸವೆತ ವಿಭಾಗವನ್ನು ನಿಖರವಾಗಿ ಪತ್ತೆ ಮಾಡಿ (50mm ಮಧ್ಯಂತರ ರೋಗನಿರ್ಣಯ)
ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ನವೀಕರಣ 01005 ಘಟಕ ನಿಯೋಜನೆಯ ಮೊದಲು ನಿಖರತೆಯ ಪರಿಶೀಲನೆಯನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ
VI. ನಿರ್ವಹಣೆ ಮತ್ತು ಆರೈಕೆ
1. ಉಪಕರಣ ಸ್ವಯಂ ನಿರ್ವಹಣೆ
ದೈನಂದಿನ:
ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಲೆನ್ಸ್ ಅನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಿ (ವಿಶೇಷ ಕ್ಲೀನಿಂಗ್ ರಾಡ್ ಬಳಸಿ)
ಗೀರುಗಳಿಗಾಗಿ ಉಲ್ಲೇಖ ಕನ್ನಡಿಯನ್ನು ಪರಿಶೀಲಿಸಿ (≤0.1μm ಒರಟುತನ ಬೇಕು)
ಮಾಸಿಕ:
ಲೇಸರ್ ತರಂಗಾಂತರವನ್ನು ಮಾಪನಾಂಕ ಮಾಡಿ (633nm±0.01nm)
ಫರ್ಮ್ವೇರ್ ಅನ್ನು ನವೀಕರಿಸಿ (ASM ಸೇವಾ ಹಬ್ ಮೂಲಕ)
2. ಉಪಭೋಗ್ಯ ವಸ್ತುಗಳ ನಿರ್ವಹಣೆ
ಉಪಭೋಗ್ಯ ವಸ್ತುಗಳ ಬದಲಿ ಚಕ್ರ ಮೂಲ ಮಾದರಿ
ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯ ಮಂಡಳಿ 2 ವರ್ಷಗಳು/500 ಬಾರಿ 03068036-CP
ಲೇಸರ್ ಪ್ರತಿಫಲಕ 5 ವರ್ಷಗಳು 03068036-MR
6 ತಿಂಗಳ ಟಚ್ ಸ್ಕ್ರೀನ್ ಪ್ರೊಟೆಕ್ಟಿವ್ ಫಿಲ್ಮ್ 03068036-TF
VII. ದೋಷನಿವಾರಣೆ ಮಾರ್ಗದರ್ಶಿ
ದೋಷ ಕೋಡ್ ವಿದ್ಯಮಾನ ಪರಿಹಾರ
E6831 ಲೇಸರ್ ಸಿಗ್ನಲ್ ಕಳೆದುಹೋಗಿದೆ 1. ಬೆಳಕಿನ ಮಾರ್ಗದ ಅಡಚಣೆಯನ್ನು ಪರಿಶೀಲಿಸಿ
2. ಪ್ರತಿಫಲಕವನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಿ
E6832 ಕ್ಯಾಮೆರಾ ಫೋಕಸ್ ವಿಫಲವಾಗಿದೆ 1. ಆಟೋಫೋಕಸ್ ಕಾರ್ಯವಿಧಾನವನ್ನು ಕಾರ್ಯಗತಗೊಳಿಸಿ
2. ಲೆನ್ಸ್ ಗುಂಪನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸಿ
E6833 ಡೇಟಾ ಸಂವಹನಕ್ಕೆ ಅಡಚಣೆಯಾಗಿದೆ 1. ವೈಫೈ ಮಾಡ್ಯೂಲ್ ಅನ್ನು ಮರುಪ್ರಾರಂಭಿಸಿ
2. ವೈರ್ಡ್ ಸಂಪರ್ಕವನ್ನು ಬಳಸಿ
E6834 ಬ್ಯಾಟರಿ ಬಾಳಿಕೆ ಸಾಕಷ್ಟಿಲ್ಲ 1. DC ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸಿ
2. ಬ್ಯಾಟರಿ ಪ್ಯಾಕ್ (48Wh) ಬದಲಾಯಿಸಿ
VIII. ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ ವಿಕಸನ
2024 ರ ಅಪ್ಗ್ರೇಡ್ ಯೋಜನೆ:
AR ಮಾರ್ಗದರ್ಶನ ಕಾರ್ಯವನ್ನು ಸಂಯೋಜಿಸಿ (ಸ್ಮಾರ್ಟ್ ಗ್ಲಾಸ್ಗಳ ಮೂಲಕ ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯ ಹಂತಗಳನ್ನು ಪ್ರದರ್ಶಿಸಿ)
AI ದೋಷ ಮುನ್ಸೂಚನೆಯನ್ನು ಸೇರಿಸಿ (ಐತಿಹಾಸಿಕ ದತ್ತಾಂಶ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆಯ ಆಧಾರದ ಮೇಲೆ)
ಹಸಿರು ಸುಧಾರಣೆ:
ಸೌರ ಚಾರ್ಜಿಂಗ್ ಮಾಡ್ಯೂಲ್ (ಐಚ್ಛಿಕ)
IX. ಬಳಕೆಯ ಸಲಹೆಗಳು
ಸಿಬ್ಬಂದಿ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳು:
ASM L2 ಪ್ರಮಾಣೀಕರಣ ತರಬೇತಿ
ಇಬ್ಬರು ವ್ಯಕ್ತಿಗಳ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯನ್ನು ಶಿಫಾರಸು ಮಾಡಲಾಗಿದೆ (ಶಸ್ತ್ರಚಿಕಿತ್ಸೆ ಮಾಡಲು 1 ವ್ಯಕ್ತಿ, ಪರಿಶೀಲಿಸಲು 1 ವ್ಯಕ್ತಿ)
ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಅಭ್ಯಾಸಗಳು:
ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯ ಮಾಡುವ ಮೊದಲು ಉಪಕರಣವನ್ನು ≥30 ನಿಮಿಷಗಳ ಕಾಲ ಬಿಸಿ ಮಾಡಿ
ಸುತ್ತುವರಿದ ತಾಪಮಾನದ ಏರಿಳಿತವನ್ನು ±1℃/ಗಂಟೆಯೊಳಗೆ ನಿಯಂತ್ರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಬಿಡಿಭಾಗಗಳ ತಂತ್ರ:
ಪ್ರಮುಖ ಉಪಭೋಗ್ಯ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು 1:3 ಅನುಪಾತದಲ್ಲಿ ದಾಸ್ತಾನು ಇಡಲಾಗುತ್ತದೆ.
(ಪ್ರಮುಖ ಉತ್ಪಾದನಾ ಮಾರ್ಗಗಳಿಗಾಗಿ) ಬಿಡಿ ಹೋಸ್ಟ್ ಅನ್ನು ಕಾನ್ಫಿಗರ್ ಮಾಡಲು ಶಿಫಾರಸು ಮಾಡಲಾಗಿದೆ.
X. ಸಾರಾಂಶ ಮತ್ತು ಮೌಲ್ಯಮಾಪನ
"ಪತ್ತೆ-ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ-ಪರಿಹಾರ" ಕ್ಲೋಸ್ಡ್-ಲೂಪ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಮೂಲಕ ಪ್ಲೇಸ್ಮೆಂಟ್ ಯಂತ್ರದ ನಿಖರ ನಿರ್ವಹಣೆಯ ಡಿಜಿಟಲೀಕರಣ, ಯಾಂತ್ರೀಕೃತಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಬುದ್ಧಿವಂತಿಕೆಯನ್ನು ACT ಉಪಕರಣವು ಅರಿತುಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ. ಇದರ ಪ್ರಮುಖ ಅನುಕೂಲಗಳು:
ಮೂಲ ಕಾರ್ಖಾನೆ ದತ್ತಾಂಶದ ಅಧಿಕೃತತೆ: ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯದ ಫಲಿತಾಂಶಗಳನ್ನು ನೇರವಾಗಿ ಉಪಕರಣದ ಮೂಲ ನಿಯತಾಂಕಗಳಲ್ಲಿ ಬರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ.
ದಕ್ಷತೆಯ ಸುಧಾರಣೆ: ಸಂಪೂರ್ಣ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಹಸ್ತಚಾಲಿತ ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯಕ್ಕಿಂತ 5 ಪಟ್ಟು ವೇಗವಾಗಿರುತ್ತದೆ.
ಜೀವಿತಾವಧಿ ವಿಸ್ತರಣೆ ಮೌಲ್ಯ: ನಿಯಮಿತ ಬಳಕೆಯು ಉಪಕರಣಗಳ ಕೂಲಂಕುಷ ಪರೀಕ್ಷೆಯ ಆವರ್ತನವನ್ನು 40% ರಷ್ಟು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.