SEMES ವೇಫರ್ ಕ್ಲೀನರ್ BLUEICE PRIME

SEMES ನ BLUEICE PRIME ಎಂಬುದು ಸುಧಾರಿತ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ (LPT) ತರ್ಕ ಮತ್ತು ಮೆಮೊರಿ ಚಿಪ್ ತಯಾರಿಕೆಗಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾದ 300mm ಸಂಪೂರ್ಣ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಸಿಂಗಲ್-ವೇಫರ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಾಗಿದೆ. ಸ್ಯಾಮ್‌ಸಂಗ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ಪ್ರಮುಖ ಸಲಕರಣೆಗಳ ಪೂರೈಕೆದಾರರಾದ SEMES ನಿಂದ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ ಮತ್ತು ತಯಾರಿಸಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ, ಇದು 2nm ನಂತಹ ಅತ್ಯಾಧುನಿಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳ ಸಾಮೂಹಿಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಇಳುವರಿಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು ಉಪಕರಣಗಳ ಪ್ರಮುಖ ಭಾಗವಾಗಿದೆ.

ಪ್ರಮುಖ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ: ಸುಧಾರಿತ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳು ಮತ್ತು ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಸಮತೋಲನಗೊಳಿಸುವುದು

ಉನ್ನತ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ: 19nm ಮಟ್ಟದಲ್ಲಿ ಕಣಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ, ಎಚ್ಚಣೆ ಏಕರೂಪತೆಯನ್ನು 40% ಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚು ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ.

ಹೆಚ್ಚಿನ ದಕ್ಷತೆಯ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ ವಿನ್ಯಾಸ: 300mm ಸಿಂಗಲ್-ವೇಫರ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಾಗಿ, ಇದು ಗಂಟೆಗೆ 500 ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು (WPH) ನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ, ದೊಡ್ಡ ಪ್ರಮಾಣದ ಸಾಮೂಹಿಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯ ಬೇಡಿಕೆಗಳನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ.

ತಾಂತ್ರಿಕ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳು: ಬಹು ಸ್ವತಂತ್ರವಾಗಿ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಿದ ನವೀನ ವಿನ್ಯಾಸಗಳು

ನವೀನ ಅಧಿಕ-ತಾಪಮಾನದ ಫಾಸ್ಪರಿಕ್ ಆಮ್ಲ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ: ಇದರ ಮೂಲ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ವೇಫರ್ ಎಚ್ಚಣೆ ಮತ್ತು ಸ್ಟ್ರಿಪ್ಪಿಂಗ್‌ಗಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಫಾಸ್ಪರಿಕ್ ಆಮ್ಲವನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ. ಸಿಂಪರಣೆ ಮತ್ತು ತಾಪಮಾನದ ನಿಖರವಾದ ನಿಯಂತ್ರಣವು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಪ್ರಸರಣ ಮತ್ತು ದೋಷದ ದರಗಳನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, 2nm ಚಿಪ್ ಇಳುವರಿಯನ್ನು ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ.

**ಸ್ವತಂತ್ರವಾಗಿ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಲಾದ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಚಕ್:** ಈ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ವೇಫರ್ ತಾಪನದ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ತಾಪಮಾನದ ಏಕರೂಪತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ, ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ದೋಷಗಳನ್ನು ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಆರ್ದ್ರ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ವಿಧಾನಗಳ ಮಿತಿಗಳನ್ನು ನಿವಾರಿಸುತ್ತದೆ.

**ಸಮಗ್ರ ಮಾಲಿನ್ಯ ನಿಯಂತ್ರಣ:** ಭೌತಿಕ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆಗಾಗಿ SF-ಏರೋಸಾಲ್ (ಹೈ-ಸ್ಪೀಡ್/ಯೂನಿಫಾರ್ಮ್ ಡ್ರಾಪ್ಲೆಟ್) ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದೊಂದಿಗೆ ಸಂಯೋಜಿಸಲ್ಪಟ್ಟ NIC (ನಾನ್-ಇಂಟರಾಕ್ಷನ್ ಕ್ಲೀನ್) ಚೇಂಬರ್ ಅಡ್ಡ-ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ತಡೆಯುತ್ತದೆ.

**ಹೆಚ್ಚು ಸಂಯೋಜಿತ ಬುದ್ಧಿವಂತ ವ್ಯವಸ್ಥೆ:** APAC, AIS (ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಪತ್ತೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆ), ಮತ್ತು SEAS (ಸ್ಮಾರ್ಟ್ ಸಲಕರಣೆ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆ) ಯೊಂದಿಗೆ ಸಜ್ಜುಗೊಂಡಿರುವ ಇದು ನಿಖರವಾದ ಹರಿವಿನ ನಿಯಂತ್ರಣ ಮತ್ತು ಉಪಕರಣದ ಸ್ಥಿತಿಯ ಬುದ್ಧಿವಂತ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸುತ್ತದೆ.

**ಅರ್ಜಿ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳು:** ಸ್ಯಾಮ್‌ಸಂಗ್‌ನಲ್ಲಿ ನೆಲೆಗೊಂಡಿದ್ದು, ಉನ್ನತ ಜಾಗತಿಕ ಕ್ಲೈಂಟ್‌ಗಳಿಗೆ ಸೇವೆ ಸಲ್ಲಿಸುತ್ತಿದೆ.

BLUEICE PRIME ಪ್ರಾಥಮಿಕವಾಗಿ ಉನ್ನತ ಜಾಗತಿಕ ಲಾಜಿಕ್ ಚಿಪ್ ಫೌಂಡರಿಗಳು ಮತ್ತು ಮೆಮೊರಿ ತಯಾರಕರನ್ನು ಗುರಿಯಾಗಿಸಿಕೊಂಡಿದೆ. ಸ್ಯಾಮ್‌ಸಂಗ್ ಗ್ರೂಪ್ ಅಂಗಸಂಸ್ಥೆಯಾಗಿ ತನ್ನ ಪೋಷಕ ಕಂಪನಿ SEMES ನ ಸ್ಥಾನಮಾನವನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು, ಈ ಉಪಕರಣವು ಸ್ಯಾಮ್‌ಸಂಗ್‌ನ ಅತ್ಯಂತ ಮುಂದುವರಿದ ವೇಫರ್ ಫ್ಯಾಬ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಮಾರ್ಗಗಳಲ್ಲಿ ಆಳವಾಗಿ ಸಂಯೋಜಿಸಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ. ಇದರ ಆರ್ದ್ರ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಪರಿಹಾರವು ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ (OMEGA ಸರಣಿ) ಮತ್ತು ಎಚಿಂಗ್ (MICHELAN ಸರಣಿ) ನಂತಹ ಇತರ ಕೋರ್ ಫ್ರಂಟ್-ಎಂಡ್ ಉಪಕರಣಗಳೊಂದಿಗೆ ಸಂಪೂರ್ಣ ಪರಿಸರ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತದೆ. SEMES ತನ್ನ ವ್ಯವಹಾರ ವ್ಯಾಪ್ತಿಯನ್ನು ಸಂಪೂರ್ಣ HBM (ಹೈ ಬ್ಯಾಂಡ್‌ವಿಡ್ತ್ ಮೆಮೊರಿ) ಉತ್ಪಾದನಾ ಕ್ಷೇತ್ರಕ್ಕೆ ವಿಸ್ತರಿಸಿದೆ, HBM ಚಿಪ್ ಪೇರಿಸುವಿಕೆಗಾಗಿ ಥರ್ಮಲ್ ಬಾಂಡಿಂಗ್ ಯಂತ್ರವನ್ನು (TC ಬಾಂಡರ್) ಯಶಸ್ವಿಯಾಗಿ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಿದೆ ಮತ್ತು ಸಾಮೂಹಿಕವಾಗಿ ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತಿದೆ ಎಂಬುದು ಗಮನಿಸಬೇಕಾದ ಸಂಗತಿ.

ಸಂಕ್ಷಿಪ್ತವಾಗಿ ಹೇಳುವುದಾದರೆ, BLUEICE PRIME ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉಪಕರಣಗಳ ಕ್ಷೇತ್ರದಲ್ಲಿ SEMES ನ ಆಳವಾದ ತಾಂತ್ರಿಕ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಪ್ರದರ್ಶಿಸುತ್ತದೆ. ಇದು ಮುಂದುವರಿದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳಲ್ಲಿ ಜಾಗತಿಕ ನಾಯಕನಾಗಿ ತನ್ನ ಸ್ಥಾನವನ್ನು ಗಟ್ಟಿಗೊಳಿಸುವ ಸ್ಯಾಮ್‌ಸಂಗ್ ಗ್ರೂಪ್‌ನ ಪ್ರಯತ್ನಗಳ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಭಾಗವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು 2nm ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಅತ್ಯಾಧುನಿಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುವ ಪ್ರಮುಖ ಸಾಧನವಾಗಿದೆ.