ನಿಟ್ಟೊ DR3000III ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ವೇಫರ್ ಮೌಂಟರ್

ಇದು ನಿಟ್ಟೋ ಡೆಂಕೊ ಅವರ NEL SYSTEM™ DR3000III ಗೆ ವಿವರವಾದ ಪರಿಚಯವಾಗಿದೆ. ಇದು ಸಂಪೂರ್ಣ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ವೇಫರ್ ರಕ್ಷಣಾತ್ಮಕ ಟೇಪ್ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಯಂತ್ರವಾಗಿದ್ದು, ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಪ್ರಮುಖ ಪಾತ್ರ ವಹಿಸುತ್ತದೆ.

ಕೋರ್ ಕಾನ್ಫಿಗರೇಶನ್ ಮತ್ತು ತಾಂತ್ರಿಕ ವಿಶೇಷಣಗಳು

DR3000III ನ ಮುಖ್ಯ ತಾಂತ್ರಿಕ ವಿಶೇಷಣಗಳು ಈ ಕೆಳಗಿನಂತಿವೆ:

ಐಟಂ ವಿಶೇಷಣಗಳು/ಪ್ಯಾರಾಮೀಟರ್‌ಗಳು

ಸಲಕರಣೆ ಪ್ರಕಾರ: 300mm ವೇಫರ್‌ಗಳಿಗಾಗಿ ಸಂಪೂರ್ಣ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ರಕ್ಷಣಾತ್ಮಕ ಟೇಪ್ ಲೇಪಕ

ಅನ್ವಯವಾಗುವ ವೇಫರ್ ಗಾತ್ರ: 300mm (12 ಇಂಚುಗಳು) / 200mm (8 ಇಂಚುಗಳು)

ಅನ್ವಯವಾಗುವ ವೇಫರ್ ದಪ್ಪ: 400μm ಅಥವಾ ದಪ್ಪವಾಗಿರುತ್ತದೆ

ಥ್ರೋಪುಟ್: 68 ವೇಫರ್‌ಗಳು/ಗಂಟೆ

ಟೇಪ್ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ: ಸಂಯೋಜಿತ ಒತ್ತಡ-ಮುಕ್ತ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ನಿಯಂತ್ರಣ ಕಾರ್ಯವಿಧಾನ

ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯ ಮಾನದಂಡಗಳು: CE ಗುರುತು ಮತ್ತು SEMI S2/S8 ವಿಶೇಷಣಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ.

ದಯವಿಟ್ಟು ಗಮನಿಸಿ: ಮೇಲಿನ ವಿಶೇಷಣಗಳು ವೇಫರ್, ಟೇಪ್ ಮತ್ತು ಇತರ ಷರತ್ತುಗಳನ್ನು ಆಧರಿಸಿ ಬದಲಾವಣೆಗೆ ಒಳಪಟ್ಟಿರುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಐಚ್ಛಿಕ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳನ್ನು ಸಹ ಒಳಗೊಂಡಿರಬಹುದು.

ಪ್ರಮುಖ ಲಕ್ಷಣಗಳು ಮತ್ತು ಪ್ರಯೋಜನಗಳು

DR3000III ನ ಶಕ್ತಿಶಾಲಿ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳು ನಿಖರ ಉತ್ಪಾದನಾ ಕ್ಷೇತ್ರದಲ್ಲಿ ಅದನ್ನು ಪ್ರತ್ಯೇಕಿಸುತ್ತವೆ:

ಒತ್ತಡ-ಮುಕ್ತ ಅನ್ವಯಿಕೆ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ: ಇದು ಇದರ ಪ್ರಮುಖ ತಾಂತ್ರಿಕ ಅನುಕೂಲಗಳಲ್ಲಿ ಒಂದಾಗಿದೆ. ಲ್ಯಾಮಿನೇಶನ್ ಮಾಡುವ ಮೊದಲು ಟೇಪ್ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವುದರಿಂದ ಹಿಂಭಾಗದ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ನಂತರ ವೇಫರ್ ವಾರ್ಪೇಜ್ ಅನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ದೊಡ್ಡ ಗಾತ್ರದ, ಅತಿ-ತೆಳುವಾದ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸಲು ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ.

ಕಡಿಮೆ-ಒತ್ತಡದ ಲ್ಯಾಮಿನೇಶನ್ ನಿಯಂತ್ರಣ: ಉಪಕರಣವು ಕಡಿಮೆ-ಒತ್ತಡದ ಬಂಧ ಮತ್ತು ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವ ಒತ್ತಡ ನಿಯಂತ್ರಣವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಲ್ಯಾಮಿನೇಶನ್ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ವೇಫರ್ ಮಾದರಿಯ ಹಾನಿಯ ಅಪಾಯವನ್ನು ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

ವೇಫರ್ ಹೊಂದಾಣಿಕೆ: 300mm ವೇಫರ್‌ಗಳಿಗಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದ್ದರೂ, ಇದು 200mm ವೇಫರ್‌ಗಳೊಂದಿಗೆ ಹಿಂದುಳಿದ ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಮತ್ತು ಬಿಸಿಯಾದ ಚಕ್ ಟೇಬಲ್ (ಗರಿಷ್ಠ 100°C) ಮತ್ತು ಬಿಸಿಯಾದ ರೋಲರ್‌ಗಳು (ಗರಿಷ್ಠ 60°C) ನಂತಹ ಐಚ್ಛಿಕ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳೊಂದಿಗೆ ವಿಶೇಷ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ. ಇದಲ್ಲದೆ, ಇದು ಒಂದು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಮಟ್ಟದ ವಾರ್ಪೇಜ್‌ನೊಂದಿಗೆ ಬಂಪ್ಡ್ ವೇಫರ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ.

ಹೆಚ್ಚಿನ ಯಾಂತ್ರೀಕೃತಗೊಂಡ ಮತ್ತು ಬುದ್ಧಿವಂತಿಕೆ: ಉಪಕರಣವು ಇವುಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ:

ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ವಸ್ತು ನಿರ್ವಹಣೆ: ಮುಂಭಾಗದಲ್ಲಿ ತೆರೆಯುವ ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾಸೆಟ್‌ಗಳು (FOUP) / ತೆರೆದ ಕ್ಯಾಸೆಟ್‌ಗಳನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ, ಸಂಪೂರ್ಣ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಲೋಡಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಇಳಿಸುವಿಕೆಗಾಗಿ ಅಂತರ್ನಿರ್ಮಿತ ರೋಬೋಟಿಕ್ ತೋಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ.

ನಿಖರವಾದ ಜೋಡಣೆ: ಲ್ಯಾಮಿನೇಶನ್ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಸಂಪರ್ಕವಿಲ್ಲದ CCD ಜೋಡಣೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ.

ಬುದ್ಧಿವಂತ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ: ಡೇಟಾ ಪತ್ತೆಹಚ್ಚುವಿಕೆಗಾಗಿ ಲಾಗ್ ಫೈಲ್ ಕಾರ್ಯವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ; ಟೇಪ್ ಕುಗ್ಗುವಿಕೆ ಪತ್ತೆ ಅಸಮರ್ಪಕ ಕಾರ್ಯಗಳನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ. ಐಚ್ಛಿಕ ವೇಫರ್ ಮ್ಯಾಪಿಂಗ್ ಸ್ಕ್ಯಾನರ್ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಒಳಬರುವ ವಸ್ತು ಪರಿಶೀಲನೆಯನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.

ಉನ್ನತ ಕೈಗಾರಿಕಾ ಮಾನದಂಡಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ: ಉಪಕರಣವು SEMI S2/S8 ಸುರಕ್ಷತೆ ಮತ್ತು ಪರಿಸರ ಮಾನದಂಡಗಳನ್ನು ಅನುಸರಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಆಧುನಿಕ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಕಾರ್ಖಾನೆ ಯಾಂತ್ರೀಕೃತಗೊಂಡ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ ಸರಾಗವಾಗಿ ಏಕೀಕರಣಕ್ಕಾಗಿ ಐಚ್ಛಿಕ SECS/GEM ಸಂವಹನ ಪ್ರೋಟೋಕಾಲ್‌ಗಳೊಂದಿಗೆ ಲಭ್ಯವಿದೆ.

ಬಳಕೆದಾರ ಸ್ನೇಹಿ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆ: ಪಾಕವಿಧಾನ ಕಾರ್ಯದೊಂದಿಗೆ ಸಂಯೋಜಿಸಲ್ಪಟ್ಟ ದೊಡ್ಡ ಟಚ್‌ಸ್ಕ್ರೀನ್ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯನ್ನು ಸರಳ ಮತ್ತು ಅರ್ಥಗರ್ಭಿತವಾಗಿಸುತ್ತದೆ. ಎಲ್ಲಾ ಪ್ಯಾರಾಮೀಟರ್ ಸೆಟ್ಟಿಂಗ್‌ಗಳನ್ನು ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತವಾಗಿ ಪೂರ್ಣಗೊಳಿಸಲು ಬಳಕೆದಾರರು ಅನುಗುಣವಾದ ಉತ್ಪನ್ನಕ್ಕಾಗಿ ಪಾಕವಿಧಾನವನ್ನು ಮಾತ್ರ ಕರೆಯಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ.

ಕಾರ್ಯ ತತ್ವ: ಬ್ಯಾಕ್‌ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಮೊದಲು, DR3000III ವೇಫರ್‌ನ ಮಾದರಿಯ ಬದಿಗೆ ರಕ್ಷಣಾತ್ಮಕ ಟೇಪ್ ಅನ್ನು ನಿಖರವಾಗಿ ಅಂಟಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ನಂತರದ ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗದ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ವೇಫರ್‌ನ ಮುಂಭಾಗಕ್ಕೆ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಹಾನಿ ಅಥವಾ ರಾಸಾಯನಿಕ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟಲು ಒತ್ತಡ-ಮುಕ್ತ ವಿಧಾನವನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ.

ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಪ್ರದೇಶಗಳು: DR3000III ಅನ್ನು ಪ್ರಾಥಮಿಕವಾಗಿ ಈ ಕೆಳಗಿನ ಪ್ರಮುಖ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ:

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆ: ಲಾಜಿಕ್ ಚಿಪ್ಸ್ ಮತ್ತು ಮೆಮೊರಿ ಚಿಪ್ಸ್ (DRAM, NAND ಫ್ಲ್ಯಾಶ್, ಇತ್ಯಾದಿ): ಮುಂದುವರಿದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ವೇಫರ್‌ನ ಮುಂಭಾಗದಲ್ಲಿರುವ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ರಚನೆಯನ್ನು ರಕ್ಷಿಸುತ್ತದೆ. ಮುಂದುವರಿದ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್: ಹೆಚ್ಚುತ್ತಿರುವ ದೊಡ್ಡದಾದ 300mm ವೇಫರ್-ಮಟ್ಟದ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ (ಫ್ಯಾನ್-ಇನ್ WLP, ಫ್ಯಾನ್-ಔಟ್ WLP, ಇತ್ಯಾದಿ) ವೇಫರ್ ರಕ್ಷಣೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ.

MEMS ಮತ್ತು ಸಂವೇದಕಗಳು: ಹಿಂಭಾಗದ ತೆಳುವಾಗಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಯಾಂತ್ರಿಕ ರಚನೆಗಳು ಮತ್ತು ಸಂವೇದಕ ಪ್ರದೇಶಗಳನ್ನು ರಕ್ಷಿಸುತ್ತದೆ.

ಪವರ್ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಸಾಧನಗಳು: IGBT ಗಳು ಮತ್ತು MOSFET ಗಳಂತಹ ಪವರ್ ಸಾಧನಗಳಿಗೆ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಸಂಸ್ಕರಿಸುತ್ತದೆ, ಆನ್-ರೆಸಿಸ್ಟೆನ್ಸ್ ಅನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ತೆಳುವಾಗುವುದರ ಮೂಲಕ ಶಾಖದ ಹರಡುವಿಕೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ.

ಇತರ ಸಲಕರಣೆಗಳೊಂದಿಗೆ ಸಹಯೋಗ: ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಲೈನ್‌ಗಳಲ್ಲಿ, DR3000III ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಈ ಕೆಳಗಿನ ಸಲಕರಣೆಗಳೊಂದಿಗೆ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ:

ಫಿಲ್ಮ್ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಸಲಕರಣೆಗಳೊಂದಿಗೆ ಸಹಯೋಗ: ತೆಳುಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಮೊದಲು ಮತ್ತು ನಂತರ ನಿಟ್ಟೊ NEL-MA3000-III ಟೇಪ್ ತೆಗೆಯುವ ಉಪಕರಣದೊಂದಿಗೆ ಸಂಯೋಜಿತವಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ. ತೆಳುಗೊಳಿಸುವಿಕೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ವೇಫರ್‌ಗೆ ಹಾನಿಯಾಗದಂತೆ ರಕ್ಷಿಸಲು DR3000III ಮೊದಲು ರಕ್ಷಣಾತ್ಮಕ ಟೇಪ್ ಅನ್ನು ಅನ್ವಯಿಸುತ್ತದೆ; ತೆಳುಗೊಳಿಸಿದ ನಂತರ, NEL-MA3000-III ರಕ್ಷಣಾತ್ಮಕ ಟೇಪ್ ಅನ್ನು ನಿಖರವಾಗಿ ತೆಗೆದುಹಾಕುತ್ತದೆ, ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಉದ್ದಕ್ಕೂ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ತೆಳುವಾದ ವೇಫರ್‌ನ ಸಮಗ್ರತೆ ಮತ್ತು ಸುರಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.

ಹೊಳಪು ನೀಡುವ ಸಲಕರಣೆಗಳೊಂದಿಗೆ ಸಹಯೋಗ: ರಕ್ಷಣಾತ್ಮಕ ಹಂತವಾಗಿ ಹೊಳಪು ನೀಡುವ ಯಂತ್ರಗಳೊಂದಿಗೆ ನಿಕಟವಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ. DR3000III ಮೂಲಕ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ರಕ್ಷಣಾತ್ಮಕ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳಿಂದ ಲೇಪಿಸಿದ ನಂತರ, ಅವುಗಳನ್ನು ಹಿಂಭಾಗದ ತೆಳುವಾಗಿಸಲು ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಯಂತ್ರಕ್ಕೆ ನೀಡಲಾಗುತ್ತದೆ, ರುಬ್ಬುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸುರಕ್ಷತೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹವಾಗಿ ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.

ಒಟ್ಟಾರೆಯಾಗಿ, Nitto DR3000III ಒಂದು ಹೆಚ್ಚು ವಿಶೇಷವಾದ, ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ವೇಫರ್ ರಕ್ಷಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಾಗಿದೆ. ಅದರ ಒತ್ತಡ-ಮುಕ್ತ ಫಿಲ್ಮ್ ಲ್ಯಾಮಿನೇಷನ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಮೂಲಕ, ಹಿಂಭಾಗದ ತೆಳುಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ದೊಡ್ಡ ಗಾತ್ರದ ವೇಫರ್‌ಗಳೊಂದಿಗೆ ಎದುರಾಗುವ ವಾರ್ಪಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಚಿಪ್ಪಿಂಗ್‌ನ ಸಾಮಾನ್ಯ ಸಮಸ್ಯೆಗಳನ್ನು ಇದು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಪರಿಹರಿಸುತ್ತದೆ. ಇದು ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಪ್ರಮುಖ ಪಾತ್ರವನ್ನು ವಹಿಸುತ್ತದೆ, ಮುಂದುವರಿದ ಚಿಪ್ ತಯಾರಿಕೆಯ ಇಳುವರಿ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ನಿರ್ಣಾಯಕ ಸಾಧನವಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ. ಉಲ್ಲೇಖಗಳು ಅಥವಾ ತಾಂತ್ರಿಕ ವಿಚಾರಣೆಗಳಿಗಾಗಿ, ದಯವಿಟ್ಟು ಚೀನಾದಲ್ಲಿ ನಿಟ್ಟೋದ ಅಧಿಕೃತ ಪ್ರತಿನಿಧಿಗಳು ಅಥವಾ ಅಧಿಕೃತ ವಿತರಕರನ್ನು ನೇರವಾಗಿ ಸಂಪರ್ಕಿಸಿ.