ເຄື່ອງມື ASM SIPLACE ACT 03068036

ເຄື່ອງມື ASM 03068036 ACT (Advanced Calibration Tool) ແມ່ນລະບົບການປັບທຽບຄວາມແມ່ນຍໍາສູງທີ່ພັດທະນາໂດຍສະເພາະສໍາລັບເຄື່ອງຈັດວາງ SIPLACE. ມັນຖືກນໍາໃຊ້ສໍາລັບການປັບທີ່ສົມບູນແບບແລະການຊົດເຊີຍຂອງລະບົບການເຄື່ອນໄຫວຂອງອຸປະກອນ, ລະບົບສາຍຕາ, ແລະຫົວການຈັດວາງ. ມັນເປັນເຄື່ອງມືບໍາລຸງຮັກສາຫຼັກທີ່ໄດ້ຮັບການຢັ້ງຢືນ ASM.

2. ມູນຄ່າຫຼັກ

ໃຫ້ແນ່ໃຈວ່າເຄື່ອງຈັດວາງຮັກສາຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຈັດວາງ ±25μm ເປັນເວລາດົນນານ

ຮັບຮູ້ຂະບວນການປັບອັດຕະໂນມັດຢ່າງເຕັມສ່ວນເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຜິດພາດການແຊກແຊງຄູ່ມື

ສະຫນັບສະຫນູນການບໍາລຸງຮັກສາທີ່ຄາດເດົາແລະຍືດອາຍຸອຸປະກອນຫຼາຍກວ່າ 30%

II. ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະ

Item Technical Parameters ຄວາມໄດ້ປຽບດ້ານວິຊາການ

ປະເພດການສອບທຽບ ການເຄື່ອນໄຫວ/ວິໄສທັດ/ຫົວສີດ/ການຊົດເຊີຍອຸນຫະພູມ ການຄຸ້ມຄອງຄວາມຕ້ອງການການປັບທຽບເຕັມ

ລະດັບຄວາມຖືກຕ້ອງ 0.5μm laser interferometer + 2MP calibration camera 3 ເທົ່າທີ່ຖືກຕ້ອງກວ່າເຄື່ອງມືພາກສ່ວນທີສາມ

ອຸປະກອນທີ່ເຂົ້າກັນໄດ້ SIPLACE X/X4S/TX/D Series ຮອງຮັບການປ່ຽນແບບຄລິກດຽວຂອງຫຼາຍແບບ

ໜ້າຈໍສຳຜັດຂະໜາດ 10.1 ນິ້ວ (ການປົກປ້ອງ IP65) ການອອກແບບຕ້ານນ້ຳມັນ/ຕ້ານສະຕິກເກີ້

ການໂຕ້ຕອບການສື່ສານ GigE+USB3.0+WiFi 6 ອັດຕາການສົ່ງຂໍ້ມູນສູງສຸດ 1Gbps

ຮູບແບບການສະຫນອງພະລັງງານ Lithium Battery (8 ຊົ່ວໂມງຂອງຫມໍ້ໄຟ) / DC 24V dual mode ສະຫນັບສະຫນູນການປັບຕົວອອນໄລນ໌

ລະດັບການປົກປ້ອງ IP54 ປັບຕົວເຂົ້າກັບສະພາບແວດລ້ອມກອງປະຊຸມ

III. ຄໍາອະທິບາຍລາຍລະອຽດຂອງຫນ້າທີ່ຫຼັກ

1. ການປັບຕັ້ງການເຄື່ອນໄຫວອັດຕະໂນມັດຢ່າງເຕັມສ່ວນ

ການຊົດເຊີຍແກນເສັ້ນ:

ເລເຊີ interferometer ກວດພົບຄວາມຜິດພາດການຈັດຕໍາແຫນ່ງແກນ X/Y/Z

ສ້າງຕາຕະລາງການຊົດເຊີຍ pitch ອັດຕະໂນມັດ (ສູງສຸດ 1000 ຈຸດ)

ການປັບທຽບແກນຫມຸນ:

ການແກ້ໄຂຈຸດສູນ θ (ຄວາມຖືກຕ້ອງ ±0.001°)

ການກວດຫາການແລ່ນ radial ແບບໄດນາມິກ

2. ການປັບທຽບລະບົບສາຍຕາ

ຕາຕະລາງ

ລະຫັດ

ຮອງຮັບ 5-point/9-point/25-point multi-level calibration mode

ຄິດໄລ່ຄ່າສໍາປະສິດການບິດເບືອນ radial/tangential ອັດຕະໂນມັດ (K1/K2/K3)

3. ຟັງຊັນວິນິດໄສອັດສະລິຍະ

ການ​ວິ​ເຄາະ​ການ​ສວມ​ໃສ່​ກົນ​ຈັກ​: ການ​ກໍາ​ນົດ​ສະ​ຖາ​ນະ​ພາບ​ທາງ​ລົດ​ໄຟ / screw ຄູ່​ມື​ໂດຍ​ຜ່ານ​ການ​ສະ​ເປກ​ຂອງ vibration ໄດ້​

ການສ້າງແບບຈໍາລອງການລອຍລົມ: ສ້າງເສັ້ນໂຄ້ງການຊົດເຊີຍຄວາມຊັດເຈນຂອງອຸນຫະພູມ

ການປະເມີນສຸຂະພາບຂອງ Nozzle: ກວດພົບການຮົ່ວໄຫຼຂອງສູນຍາກາດ/ຄວາມບິດເບືອນຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນ

IV. ຂະບວນການປະຕິບັດງານ

ຂະ​ບວນ​ການ​ສອບ​ທຽບ​ມາດ​ຕະ​ຖານ (ເອົາ X-axis ເປັນ​ຕົວ​ຢ່າງ):

ຕິດຕັ້ງເຄື່ອງສະທ້ອນແສງເລເຊີ interferometer (ບ່ອນນັ່ງອ້າງອີງແມ່ເຫຼັກ)

ດໍາເນີນການ AutoTrack ຮູບແບບການຕິດຕາມອັດຕະໂນມັດ

ລະບົບລວບລວມຂໍ້ມູນການຈັດຕໍາແຫນ່ງ 20 ຊຸດ (ຂະບວນການເຕັມ ≤ 3 ນາທີ)

ສ້າງໄຟລ໌ຊົດເຊີຍແລະອັບໂຫລດໃສ່ເຄື່ອງບັນຈຸເຂົ້າຮຽນ

V. ສະຖານະການນຳໃຊ້ທົ່ວໄປ

ສະຖານະການຄໍາຮ້ອງສະຫມັກສະເພາະ

ການຍອມຮັບເຄື່ອງໃຫມ່ປະຕິບັດການທົດສອບຄວາມຫມັ້ນຄົງ 72 ຊົ່ວໂມງພາຍໃຕ້ມາດຕະຖານ ISO 9001 (CPK≥1.67)

ການ​ບໍາ​ລຸງ​ຮັກ​ສາ​ປົກ​ກະ​ຕິ​ການ​ສອບ​ທຽບ​ເຄື່ອງ​ຢ່າງ​ເຕັມ​ທີ່​ປະ​ຈໍາ​ໄຕ​ມາດ (ລວມ​ທັງ 12 ການ​ທົດ​ສອບ​ຍ່ອຍ​)

ການສ້ອມແປງຂໍ້ບົກພ່ອງ ຄົ້ນຫາພາກສ່ວນສວມໃສ່ຂອງລົດໄຟ XY ຢ່າງຖືກຕ້ອງ (ການວິນິດໄສໄລຍະຫ່າງ 50 ມມ)

ການຍົກລະດັບຂະບວນການສະຫນັບສະຫນູນການກວດສອບຄວາມຖືກຕ້ອງກ່ອນການຈັດວາງອົງປະກອບ 01005

VI. ບໍາລຸງຮັກສາແລະການດູແລ

1. ເຄື່ອງມືບໍາລຸງຮັກສາຕົນເອງ

ປະຈໍາວັນ:

ເຮັດຄວາມສະອາດເລນ optical (ໃຊ້ rod ທໍາຄວາມສະອາດພິເສດ)

ກວດເບິ່ງບ່ອນກະຈົກກະຈົກສໍາລັບຮອຍຂີດຂ່ວນ (ຕ້ອງການຄວາມຫຍາບ ≤0.1μm)

ປະຈໍາເດືອນ:

ປັບຄວາມຍາວຂອງເລເຊີ (633nm±0.01nm)

ອັບເດດເຟີມແວ (ຜ່ານ ASM Service Hub)

2. ການຄຸ້ມຄອງເຄື່ອງບໍລິໂພກ

ວົງຈອນການທົດແທນເຄື່ອງບໍລິໂພກ ຮູບແບບຕົ້ນສະບັບ

ກະດານສອບທຽບ 2 ປີ / 500 ຄັ້ງ 03068036-CP

ເລເຊີສະທ້ອນແສງ 5 ປີ 03068036-MR

ຟີມກັນລົມກັນໄດ້ 6 ເດືອນ 03068036-TF

VII. ຄູ່ມືການແກ້ໄຂບັນຫາ

ການແກ້ໄຂປະກົດການລະຫັດຜິດ

E6831 ສັນຍານ Laser ສູນຫາຍ 1. ກວດເບິ່ງການຂັດຂວາງເສັ້ນທາງແສງສະຫວ່າງ

2. ເຮັດຄວາມສະອາດເຄື່ອງສະທ້ອນແສງ

E6832 ໂຟກັສກ້ອງຖ່າຍຮູບລົ້ມເຫລວ 1. ປະຕິບັດຂັ້ນຕອນການໂຟກັສອັດຕະໂນມັດ

2. ປ່ຽນກຸ່ມເລນ

E6833 ຂັດຂວາງການສື່ສານຂໍ້ມູນ 1. ຣີສະຕາດໂມດູນ WiFi

2. ໃຊ້ການເຊື່ອມຕໍ່ແບບມີສາຍ

E6834 ອາຍຸແບັດບໍ່ພຽງພໍ 1. ເປີດໃຊ້ການສະຫນອງພະລັງງານ DC

2. ປ່ຽນແບັດເຕີລີ່ (48Wh)

VIII. ວິວັດທະນາການເຕັກໂນໂລຊີ

ແຜນການຍົກລະດັບ 2024:

ລວມຟັງຊັນການແນະນຳ AR (ສະແດງຂັ້ນຕອນການປັບທຽບຜ່ານແວ່ນຕາອັດສະລິຍະ)

ເພີ່ມການຄາດຄະເນຄວາມຜິດພາດ AI (ອີງໃສ່ການວິເຄາະຂໍ້ມູນປະຫວັດສາດ)

ການ​ປັບ​ປຸງ​ສີ​ຂຽວ​:

ໂມດູນສາກໄຟແສງອາທິດ (ທາງເລືອກ)

IX. ການ​ແນະ​ນໍາ​ການ​ນໍາ​ໃຊ້​

ຄວາມຕ້ອງການດ້ານບຸກຄະລາກອນ:

ການຝຶກອົບຮົມການຢັ້ງຢືນ ASM L2

ແນະນຳໃຫ້ດຳເນີນການສອງຄົນ (1 ຄົນເພື່ອດຳເນີນການ, 1 ຄົນເພື່ອທົບທວນ)

ການປະຕິບັດທີ່ດີທີ່ສຸດ:

Preheat ອຸປະກອນສໍາລັບການ ≥30 ນາທີກ່ອນທີ່ຈະ calibration

ການເຫນັງຕີງຂອງອຸນຫະພູມສະພາບແວດລ້ອມໄດ້ຖືກຄວບຄຸມພາຍໃນ ± 1 ℃ / h

ຍຸດ​ທະ​ສາດ​ອາ​ໄຫຼ່​:

ເຄື່ອງບໍລິໂພກທີ່ສໍາຄັນແມ່ນເກັບຮັກສາໄວ້ໃນຫຼັກຊັບໃນອັດຕາສ່ວນ 1: 3

ມັນ​ແມ່ນ​ແນະ​ນໍາ​ໃຫ້​ການ​ຕັ້ງ​ຄ່າ​ເປັນ​ແມ່​ຂ່າຍ​ອາ​ໄຫຼ່ (ສໍາ​ລັບ​ສາຍ​ການ​ຜະ​ລິດ​ທີ່​ສໍາ​ຄັນ​)

X. ບົດສະຫຼຸບ ແລະ ການປະເມີນຜົນ

ເຄື່ອງມື ACT ຮັບຮູ້ເຖິງການຫັນເປັນດິຈິຕອນ, ອັດຕະໂນມັດແລະສະຕິປັນຍາຂອງການຄຸ້ມຄອງຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງເຄື່ອງບັນຈຸເຂົ້າຮຽນໂດຍຜ່ານລະບົບ "ການຊອກຄົ້ນຫາ - ການວິເຄາະ - ການຊົດເຊີຍ" ລະບົບປິດ. ຂໍ້ດີຫຼັກຂອງມັນແມ່ນ:

ສິດອໍານາດຂອງຂໍ້ມູນໂຮງງານຕົ້ນສະບັບ: ຜົນໄດ້ຮັບການປັບທຽບແມ່ນລາຍລັກອັກສອນໂດຍກົງເຂົ້າໄປໃນຕົວກໍານົດການຫຼັກຂອງອຸປະກອນ

ການປັບປຸງປະສິດທິພາບ: ຂະບວນການອັດຕະໂນມັດຢ່າງເຕັມສ່ວນແມ່ນ 5 ເທົ່າໄວກ່ວາການປັບດ້ວຍມື

ມູນຄ່າການຂະຫຍາຍຊີວິດ: ການນໍາໃຊ້ປົກກະຕິສາມາດຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຖີ່ຂອງການປັບປຸງອຸປະກອນໄດ້ 40%