ວັດສະດຸປະຍຸກໃຊ້ ລະບົບການຊຸບໂລຫະເຄິ່ງຕົວນຳ Nokota™ ECD

Nokota™ ECD ຂອງ Applied Materials ເປັນລະບົບການວາງທາດດ້ວຍໄຟຟ້າເຄມີທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງທີ່ຖືກອອກແບບມາສະເພາະສຳລັບການຫຸ້ມຫໍ່ລະດັບເວເຟີທີ່ກ້າວໜ້າ.

**ຫຼັກຂອງລະບົບ: ຫຼາຍກວ່າການຊຸບດ້ວຍໄຟຟ້າ - ແພລດຟອມຂະບວນການທີ່ສົມບູນແບບ**

ລະບົບ Nokota ບໍ່ພຽງແຕ່ເປັນເຄື່ອງມືການຊຸບດ້ວຍໄຟຟ້າເທົ່ານັ້ນ; ມັນຍັງສະເໜີຊຸດວິທີແກ້ໄຂທີ່ສົມບູນແບບທີ່ຖືກອອກແບບມາເພື່ອແກ້ໄຂບັນຫາສະເພາະທີ່ມີຢູ່ໃນຂະບວນການຫຸ້ມຫໍ່ຂັ້ນສູງ. ລັກສະນະທາງເທັກນິກຫຼັກຂອງມັນລວມມີ:

**ການຮອງຮັບໂລຫະ ແລະ ແຜ່ນເວເຟີແບບກວ້າງ:** ຮອງຮັບການວາງໂລຫະຫຼາກຫຼາຍຊະນິດ — ລວມທັງທອງແດງ, ໂລຫະປະສົມກົ່ວ-ເງິນ, ນິກເກີນ, ຄຳ, ກົ່ວ, ແລະ ພາລາເດຍມ — ແລະ ເຂົ້າກັນໄດ້ກັບແຜ່ນເວເຟີຂະໜາດ 150 ມມ, 200 ມມ, ແລະ 300 ມມ.

**ຄວາມສາມາດໃນການຂະຫຍາຍລະບົບທີ່ມີຄວາມຍືດຫຍຸ່ນ:** ມີການອອກແບບການຕັ້ງຄ່າຫ້ອງດຽວທີ່ເປັນເອກະລັກ, ແຕກຕ່າງຈາກສະຖາປັດຕະຍະກຳຫ້ອງຄູ່ແບບດັ້ງເດີມ. ລະບົບສາມາດຂະຫຍາຍໄດ້ຢ່າງບໍ່ມີຂໍ້ບົກຜ່ອງຕັ້ງແຕ່ການຄົ້ນຄວ້າ ແລະ ພັດທະນາ ແລະ ການທົດລອງຈົນເຖິງການຜະລິດໃນປະລິມານສູງ, ແລະ ສາມາດຕັ້ງຄ່າໃໝ່ໄດ້ຢ່າງວ່ອງໄວພາຍໃນມື້ດຽວ - ເຮັດໃຫ້ມັນເໝາະສົມທີ່ສຸດສຳລັບສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດທີ່ຕ້ອງການການຕອບສະໜອງທີ່ວ່ອງໄວຕໍ່ການປ່ຽນແປງຂອງຕະຫຼາດ.

**ຂໍ້ໄດ້ປຽບຫຼັກສາມຢ່າງ**

ອີງຕາມການວາງຕຳແໜ່ງຢ່າງເປັນທາງການຂອງ Applied Materials, ຂໍ້ໄດ້ປຽບດ້ານການແຂ່ງຂັນຫຼັກຂອງລະບົບ Nokota ແມ່ນສຸມໃສ່ສາມຂົງເຂດຕໍ່ໄປນີ້:

**ຄວາມສາມາດໃນການປົກປ້ອງແຜ່ນເວເຟີທີ່ບໍ່ມີໃຜທຽບເທົ່າ: SafeSeal™ ແລະ HotSwap™**

ໃນຂະບວນການຫຸ້ມຫໍ່, ການປົກປ້ອງແຜ່ນເວເຟີຈາກການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກແມ່ນສິ່ງສຳຄັນທີ່ສຸດ. ລະບົບ Nokota ແກ້ໄຂຈຸດເຈັບປວດທີ່ສຳຄັນນີ້ຜ່ານສອງເຕັກໂນໂລຢີທີ່ມີນະວັດຕະກໍາຄື:

**ເທັກໂນໂລຢີ SafeSeal™:** ເທັກໂນໂລຢີປ້ອງກັນແຜ່ນເວເຟີອັດຕະໂນມັດຢ່າງເຕັມຮູບແບບຄັ້ງທຳອິດໃນອຸດສາຫະກຳ. ໂດຍການກວດກາຄວາມສົມບູນຂອງແຜ່ນເວເຟີກ່ອນການປະມວນຜົນ ແລະ ຮັກສາການປົກປ້ອງຕະຫຼອດລຳດັບການຊຸບໂລຫະດ່ຽວ ຫຼື ຫຼາຍໂລຫະ ຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດເຮັດວຽກໄດ້ແບບ "ປະທັບຕາດ່ຽວ", ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຂອງຄວາມເສຍຫາຍທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບຮອບວຽນການປະທັບຕາ ແລະ ການເປີດແຜ່ນເວເຟີຊ້ຳໆຢ່າງມີປະສິດທິພາບ.

**ເທັກໂນໂລຢີ HotSwap™:** ຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດທົດແທນອົງປະກອບການປະທັບຕາໂດຍອັດຕະໂນມັດໂດຍບໍ່ຂັດຂວາງການຜະລິດ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງລົບລ້າງເວລາຢຸດເຮັດວຽກຂອງອຸປະກອນທີ່ເກີດຈາກຄວາມຕ້ອງການການບຳລຸງຮັກສາປະທັບຕາໄດ້ຢ່າງພື້ນຖານ.

**ຜະລິດຕະພາບຊັ້ນນໍາຂອງອຸດສາຫະກໍາ**

**ປະສິດທິພາບດ້ານຕົ້ນທຶນ ແລະ ຄວາມພ້ອມໃຊ້ງານ:** ການປະສົມປະສານຂອງເທັກໂນໂລຢີທີ່ໄດ້ກ່າວມາຂ້າງເທິງນັ້ນຊ່ວຍໃຫ້ລະບົບ Nokota ສາມາດສົ່ງເວລາການຜະລິດເພີ່ມເຕີມໄດ້ 330 ຊົ່ວໂມງຕໍ່ປີ, ໃນຂະນະດຽວກັນກໍຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນອັດຕາການເສຍແຜ່ນເວເຟີຜ່ານຄວາມສາມາດໃນການປົກປ້ອງແຜ່ນເວເຟີທີ່ດີຂຶ້ນ.

**ຫ້ອງຂະບວນການປະສິດທິພາບສູງ (VMax™):** ຫ້ອງຂະບວນການ VMax™ ມີການຂົນສົ່ງມວນສານທີ່ດີທີ່ສຸດ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ອັດຕາການຊຸບໂລຫະສູງຂຶ້ນ ແລະ ຄວາມເປັນແຜ່ນດຽວກັນທີ່ດີກວ່າ. ນອກຈາກນັ້ນ, ແຕ່ລະຫ້ອງຍັງລວມຟັງຊັນການທຳຄວາມສະອາດໃນສະຖານທີ່ເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກ.

**ຄວາມສາມາດໃນການຕັ້ງຄ່າທີ່ວ່ອງໄວ ແລະ ຍືດຫຍຸ່ນ**

ນີ້ເປັນຕົວແທນຂອງຂໍ້ໄດ້ປຽບທີ່ສຳຄັນອີກອັນໜຶ່ງທີ່ໄດ້ຮັບຈາກການອອກແບບແບບໂມດູນຂອງລະບົບ. ມັນບໍ່ພຽງແຕ່ຮອງຮັບການສະຫຼັບທີ່ລຽບງ່າຍລະຫວ່າງຂະໜາດເວເຟີຕ່າງໆທີ່ໄດ້ກ່າວມາຂ້າງເທິງເທົ່ານັ້ນ, ແຕ່ຍັງຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດຫັນປ່ຽນໄດ້ຢ່າງວ່ອງໄວລະຫວ່າງວິທີການຫຸ້ມຫໍ່ທີ່ແຕກຕ່າງກັນ (ເຊັ່ນ: ການບີບອັດ, RDL, TSV, ແລະອື່ນໆ) - ຄວາມສາມາດທີ່ມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍໃນພູມສັນຖານປະຈຸບັນຂອງປະເພດການຫຸ້ມຫໍ່ທີ່ຫຼາກຫຼາຍ.

ລາຍລະອຽດຫຼັກ ແລະ ສະຖານະການການນຳໃຊ້

ພາບລວມຂອງຂໍ້ມູນສະເພາະດ້ານເຕັກນິກ

ປະເພດອຸປະກອນ: ລະບົບການສະສົມດ້ວຍໄຟຟ້າເຄມີໃນລະດັບແຜ່ນເວເຟີທີ່ຜະລິດຕະພາບສູງ

ຂະໜາດເວເຟີທີ່ຮອງຮັບ: 150 ມມ, 200 ມມ, 300 ມມ; ຮອງຮັບການປະມວນຜົນພ້ອມໆກັນຂອງສອງຂະໜາດທີ່ແຕກຕ່າງກັນພາຍໃນລະບົບດຽວກັນ

ໂລຫະທີ່ຮອງຮັບ: ທອງແດງ (Cu), ກົ່ວ-ເງິນ (SnAg), ນິກເກີນ (Ni), ຄຳ (Au), ພາລາເດຍມ (Pd), ແລະອື່ນໆ.

ການນຳໃຊ້ຂະບວນການ: ການກະທົບ (ເສົາ/ການກະທົບ), ຊັ້ນການແຈກຢາຍຄືນໃໝ່ (RDL), ການຕື່ມຜ່ານຊິລິໂຄນ (TSV)

ຄຸນສົມບັດຫຼັກ: ການປ້ອງກັນເວເຟີອັດຕະໂນມັດຢ່າງຄົບຖ້ວນ SafeSeal™, ແຫວນປະທັບຕາ HotSwap™ ສະຫຼັບຮ້ອນ, ຫ້ອງປະສິດທິພາບສູງ VMax™

ຄວາມພ້ອມ/ຜົນຜະລິດ: ສົ່ງມອບຊົ່ວໂມງການຜະລິດເພີ່ມເຕີມຫຼາຍກວ່າ 330 ຊົ່ວໂມງຕໍ່ປີ; ສະເໜີຕົ້ນທຶນການເປັນເຈົ້າຂອງຕໍ່າສຸດຂອງອຸດສາຫະກໍາ.

ພື້ນທີ່ການນຳໃຊ້ເປົ້າໝາຍ

ການຫຸ້ມຫໍ່ຂັ້ນສູງ: ເສົາ/ກ້ອນ, ຊັ້ນການແຈກຢາຍຄືນ (RDL), ແລະ ເສັ້ນທາງຜ່ານຊິລິໂຄນ (TSV)

ເຕັກໂນໂລຊີການຫຸ້ມຫໍ່: ການຫຸ້ມຫໍ່ 2.5D/3D, ການຫຸ້ມຫໍ່ແບບພັດລົມອອກ, ການຫຸ້ມຫໍ່ແບບແຜ່ນຊິບລະດັບເວເຟີ (WLCSP), ແລະອື່ນໆ.

ແອັບພລິເຄຊັນທີ່ພົ້ນເດັ່ນຂຶ້ນມາໃໝ່: ໃຫ້ການສະໜັບສະໜູນການຫຸ້ມຫໍ່ສຳລັບອຸປະກອນ IoT, ເຊັນເຊີ, ລະບົບການສື່ສານ 5G, ອຸປະກອນພະລັງງານ ແລະ ອື່ນໆ.

ການປະມວນຜົນປະສິດທິພາບສູງ: ມີບົດບາດສຳຄັນໃນການສ້າງ micro-bumps ສຳລັບໜ່ວຍຄວາມຈຳແບນວິດສູງ (HBM).

ສະຫຼຸບ

ລະບົບ Nokota™ ECD ຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການອັນຮີບດ່ວນຂອງການຫຸ້ມຫໍ່ທີ່ກ້າວໜ້າໄດ້ຢ່າງແນ່ນອນ ເພື່ອໃຫ້ໄດ້ຜົນຜະລິດສູງ, ມີຄວາມຍືດຫຍຸ່ນສູງ, ແລະ ຜະລິດຕະພາບສູງ. ຜ່ານເຕັກໂນໂລຊີເຊັ່ນ SafeSeal™ ແລະ HotSwap™, ມັນແກ້ໄຂຈຸດເຈັບປວດດ້ານຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືທີ່ມີຢູ່ໃນຂະບວນການແບບດັ້ງເດີມ; ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ໂດຍການນຳໃຊ້ແພລດຟອມແບບໂມດູນທີ່ມີຄວາມຍືດຫຍຸ່ນຂອງມັນ, ມັນສະໜອງວິທີແກ້ໄຂໃຫ້ແກ່ຜູ້ຜະລິດຊິບທີ່ໃຫ້ທັງຂໍ້ໄດ້ປຽບດ້ານຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ ແລະ ປະສິດທິພາບພາຍໃນພູມສັນຖານຕະຫຼາດທີ່ສັບສົນ ແລະ ມີການປ່ຽນແປງຢູ່ສະເໝີ.