ເຄື່ອງໝາຍເລເຊີ ThinkLaser SigmaClean Wafer

ThinkLaser SigmaClean ເປັນລະບົບການໝາຍດ້ວຍເລເຊີ "soft-marking" ແບບອັດຕະໂນມັດຢ່າງຄົບຖ້ວນທີ່ອອກແບບມາສະເພາະສຳລັບແຜ່ນເວເຟີຂະໜາດ 100 ມມ ຫາ 200 ມມ, ເຊິ່ງສອດຄ່ອງກັບມາດຕະຖານຫ້ອງສະອາດ Class 1. ພາລະກິດຫຼັກຂອງມັນແມ່ນເພື່ອນຳໃຊ້ເຕັກໂນໂລຊີເລເຊີທີ່ໄດ້ຮັບສິດທິບັດເພື່ອໃຫ້ແຜ່ນເວເຟີເຄິ່ງຕົວນຳມີເຄື່ອງໝາຍທີ່ມີປະສິດທິພາບ, ທົນທານ ແລະ ອ່ານງ່າຍ - ໂດຍບໍ່ສ້າງການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກ - ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງເຮັດໃຫ້ສາມາດຕິດຕາມໄດ້ໂດຍອັດຕະໂນມັດຕະຫຼອດວົງຈອນຊີວິດຂອງແຜ່ນເວເຟີທັງໝົດ.

**ຫຼັກການດ້ານວິຊາການ**

ຈຸດແຂງຫຼັກຂອງ SigmaClean ແມ່ນຢູ່ໃນເທັກໂນໂລຢີສະອາດທີ່ຄວບຄຸມດ້ວຍແຫຼ່ງທີ່ມາ ແລະ ການອອກແບບຮາດແວທີ່ໝັ້ນຄົງ ແລະ ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ.

**ເທັກໂນໂລຢີ SuperSoftMark® ທີ່ໄດ້ຮັບສິດທິບັດ:** ນີ້ແມ່ນຕົວແຕກຕ່າງທີ່ສຳຄັນທີ່ເຮັດໃຫ້ SigmaClean ແຕກຕ່າງຈາກອຸປະກອນອື່ນໆ. ໂດຍການຄວບຄຸມພະລັງງານເລເຊີຢ່າງແມ່ນຍຳ, ມັນສາມາດບັນລຸການໝາຍ "ບໍ່ມີສິ່ງເສດເຫຼືອ" ຢ່າງແທ້ຈິງ. ຄຸນສົມບັດນີ້ລົບລ້າງຄວາມສ່ຽງຂອງການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກໂດຍພື້ນຖານ, ຊ່ວຍໃຫ້ລະບົບສາມາດນຳໃຊ້ໄດ້ຢ່າງປອດໄພໃນສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດ Front-End of Line (FEOL) ບ່ອນທີ່ຄວາມຕ້ອງການດ້ານຄວາມສະອາດແມ່ນເຂັ້ມງວດຫຼາຍ.

**ເລເຊີແຂງທີ່ສູບດ້ວຍໄດໂອດທີ່ມີຄວາມໝັ້ນຄົງສູງ:** ລະບົບດັ່ງກ່າວໃຊ້ເລເຊີແຂງທີ່ສູບດ້ວຍໄດໂອດທີ່ໄດ້ຮັບສິດທິບັດ ເຊິ່ງມີລັກສະນະຄວາມໝັ້ນຄົງແບບກະໂດດຕໍ່ກະໂດດທີ່ໂດດເດັ່ນ. ສິ່ງນີ້ຮັບປະກັນຄວາມສອດຄ່ອງໃນລະດັບສູງໃນຄວາມເລິກ ແລະ ຄວາມກົມຂອງທຸກໆຈຸດທີ່ໝາຍໄວ້, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງ ແລະ ຄວາມສາມາດໃນການເຮັດຊ້ຳໄດ້ຂອງຄຸນນະພາບການໝາຍ.

**ລະບົບແສງ ແລະ ລະບົບອັດຕະໂນມັດທີ່ແຂງແຮງ:** ເຄື່ອງຈັກທັງໝົດມີການອອກແບບອັດຕະໂນມັດຢ່າງຄົບຖ້ວນ, ຮອງຮັບໂປໂຕຄອນການສື່ສານອັດຕະໂນມັດຂອງໂຮງງານ SECS II/GEM, ແລະ ປະສົມປະສານກັບລະບົບການຈັດການເວເຟີອັດຕະໂນມັດຫຼັກໆ ເຊັ່ນ: ຝັກເວເຟີ SMIF (Standard Mechanical Interface) ໄດ້ຢ່າງບໍ່ມີຂໍ້ບົກຜ່ອງ.

**ຂໍ້ດີ ແລະ ຄຸນສົມບັດຫຼັກ**

ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງ SigmaClean ຂະຫຍາຍອອກໄປນອກເໜືອຈາກຄວາມສາມາດໃນການໝາຍທີ່ກ້າວໜ້າຂອງມັນໄປສູ່ມູນຄ່າທີ່ຈັບຕ້ອງໄດ້ທີ່ມັນສົ່ງມອບໃຫ້ແກ່ໂຮງງານຜະລິດແຜ່ນເວເຟີ.

**ຄວາມສະອາດທີ່ບໍ່ມີໃຜທຽບເທົ່າ:** ສອດຄ່ອງກັບຂໍ້ກຳນົດຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງຫ້ອງສະອາດຊັ້ນ 1 (ມາດຕະຖານສາກົນ ISO ຊັ້ນ 3), ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນທາງເລືອກທີ່ຕ້ອງການສຳລັບໂຮງງານຜະລິດແຜ່ນແພ Front-End (Fabs) ທີ່ມີມາດຕະຖານສິ່ງແວດລ້ອມທີ່ສະອາດທີ່ຕ້ອງການສູງ.

**ຜົນຜະລິດສູງ ແລະ ປະສິດທິພາບດ້ານຕົ້ນທຶນ:** ຂະບວນການໝາຍແບບອ່ອນ—ພັດທະນາໂດຍສະເພາະເພື່ອໝາຍແຜ່ນເວເຟີທີ່ຂັດເງົາພາຍໃນສະພາບແວດລ້ອມຫ້ອງທີ່ສະອາດ ແລະ ປະຈຸບັນເປັນມາດຕະຖານອຸດສາຫະກຳ—ຖືກນຳໃຊ້ໂດຍລະບົບນີ້ເພື່ອໃຫ້ວິທີແກ້ໄຂທີ່ມີປະສິດທິພາບດ້ານຕົ້ນທຶນສູງ.

**ຄຸນນະພາບການໝາຍທີ່ສອດຄ່ອງ ແລະ ການຕິດຕາມ:** ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງກຳມະຈອນທີ່ໂດດເດັ່ນຂອງເລເຊີແມ່ນກຸນແຈສຳຄັນໃນການບັນລຸຄວາມເລິກ ແລະ ຄວາມກົມຂອງຈຸດທີ່ເປັນເອກະພາບ, ເຊິ່ງເປັນປັດໄຈສຳຄັນໃນການເພີ່ມອັດຕາການຮັບຮູ້ຂອງລະບົບວິໄສທັດເຄື່ອງຈັກຕໍ່ມາ (ການຮັບຮູ້ຕົວອັກສອນທາງແສງ, OCR). ໃນເວລາດຽວກັນ, ລະບົບຈະສ້າງເຄື່ອງໝາຍທີ່ຖາວອນ ແລະ ອ່ານງ່າຍ, ເຊິ່ງສະໜອງການຕິດຕາມໄດ້ຕະຫຼອດທຸກຂັ້ນຕອນຂອງການຜະລິດ.

ຄວາມຍືດຫຍຸ່ນໃນການນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງ: ກຸ່ມເຄື່ອງໝາຍຫຼາຍກຸ່ມສາມາດວາງໄດ້ໃນທິດທາງໃດກໍໄດ້ເທິງໜ້າແຜ່ນເວເຟີ, ໂດຍມີສະຖານທີ່ເຄື່ອງໝາຍຈຳກັດຢູ່ໃນເຂດວົງແຫວນພາຍໃນ 25 ມມ ຈາກຂອບແຜ່ນເວເຟີ.

ສະເປັກ ແລະ ການດຳເນີນງານ/ການບຳລຸງຮັກສາ

ໝວດໝູ່ສະເປັກ | ພາລາມິເຕີ ແລະ ລາຍລະອຽດລະອຽດ

ການຈັດປະເພດອຸປະກອນ | ລະບົບອັດຕະໂນມັດເຕັມຮູບແບບ, ISO 3 / Class 1 ທີ່ເຂົ້າກັນໄດ້ກັບຫ້ອງສະອາດ, ລະບົບເຄື່ອງໝາຍອ່ອນແຜ່ນເວເຟີຂະໜາດ 100–200 ມມ

ຂະໜາດແຜ່ນເວເຟີ | ຮອງຮັບມາດຕະຖານສຳລັບ 100 ມມ – 200 ມມ (4–8 ນິ້ວ)

ປະເພດເລເຊີ | ເລເຊີ Sigma100 IR Diode-Pumped Solid-State

ເຕັກໂນໂລຊີການໝາຍ | SuperSoftMark® ທີ່ໄດ້ຮັບສິດທິບັດ (ການໝາຍແບບອ່ອນໆທີ່ບໍ່ມີສິ່ງເສດເຫຼືອ)

ສະຖານທີ່ໝາຍ | ທິດທາງໃດກໍໄດ້ພາຍໃນເຂດວົງແຫວນ 25 ມມ ຢູ່ແຄມແຜ່ນເວເຟີ

ອິນເຕີເຟດການສື່ສານ | SECS II/GEM, ອິນເຕີເຟດໂຮສຕ໌ເຄິ່ງມາດຕະຖານ

ການຂົນສົ່ງ/ຄາເຊັດ | ສະຖານີຄາເຊັດເປີດ 3 ສະຖານີ; ອະແດບເຕີ SMIF Pod ຂະໜາດ 200 ມມ ທາງເລືອກ

ຄຸນສົມບັດທາງເລືອກ | ການອ່ານ OCR/ບາໂຄດ ແລະ ການໝາຍຄືນໃໝ່

ລະບົບຊອບແວ | ອິນເຕີເຟດຜູ້ໃຊ້ທີ່ອີງໃສ່ Windows®

ການປະຕິບັດຕາມ ແລະ ການຮັບຮອງ | ສອດຄ່ອງກັບມາດຕະຖານ SEMI S2/S8, CE, ແລະ ມາດຕະຖານອື່ນໆ

ການສະໜອງພະລັງງານ ແລະ ອາກາດ | ການສະໜອງພະລັງງານມາດຕະຖານອຸດສາຫະກຳ 220V ເຟສດຽວ ແລະ ອາກາດອັດທີ່ສະອາດ

SigmaClean ຍັງຖືກອອກແບບມາໂດຍຄຳນຶງເຖິງຄວາມສະດວກໃນການບຳລຸງຮັກສາ:

**ຄວາມສະດວກໃນການບຳລຸງຮັກສາ:** ການອອກແບບລະບົບຊ່ວຍໃຫ້ການບຳລຸງຮັກສາປະຈຳວັນງ່າຍດາຍ; ການກວດສອບປະຈຳວັນເຊັ່ນ: ການທຳຄວາມສະອາດເລນສາມາດເຮັດສຳເລັດໄດ້ພາຍໃນປະມານ 5 ນາທີ. ນອກຈາກນັ້ນ, ອຸປະກອນດັ່ງກ່າວຍັງມີຄວາມສາມາດໃນການວິນິດໄສຕົນເອງປະຈຳວັນແບບອັດຕະໂນມັດ ແລະ ໃຫ້ຄຳແນະນຳກ່ຽວກັບໂປໂຕຄອນການບຳລຸງຮັກສາທີ່ຊັດເຈນໃນກໍລະນີທີ່ມີຂໍ້ບົກຜ່ອງ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງຊ່ວຍໃຫ້ການບຳລຸງຮັກສາຕາມກຳນົດເວລາທີ່ຜູ້ໃຊ້ເລີ່ມຕົ້ນໄດ້ງ່າຍຂຶ້ນ.

**ຄວາມປອດໄພ ແລະ ຄວາມສະອາດ:** ການອອກແບບເຄື່ອງຈັກໂດຍລວມສອດຄ່ອງກັບມາດຕະຖານຄວາມປອດໄພສາກົນ (ເຊັ່ນ: SEMI S2/S8, CE, ແລະອື່ນໆ) ແລະ ມີລະບົບສະກັດຝຸ່ນປະສົມປະສານ, ເຊິ່ງຮັບປະກັນຄວາມປອດໄພ ແລະ ສຸຂະອະນາໄມຂອງສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດຕື່ມອີກ.

**ໜ້າທີ່ຫຼັກ ແລະ ສະຖານະການການນຳໃຊ້**

**ການຜະລິດແຜ່ນເວເຟີດ້ານໜ້າ:** ເໝາະສຳລັບແຜ່ນເວເຟີທີ່ເຮັດຈາກວັດສະດຸເຊັ່ນ: ຊິລິໂຄນ, SiC, ແລະ GaAs, ຂະໜາດຕັ້ງແຕ່ 100 ມມ ຫາ 200 ມມ. ໂດຍການແກະສະຫຼັກຕົວລະບຸທີ່ເປັນເອກະລັກໃນລະຫວ່າງຂັ້ນຕອນເບື້ອງຕົ້ນຂອງການຜະລິດ, ລະບົບດັ່ງກ່າວຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດຕິດຕາມຄຸນນະພາບໄດ້ຕັ້ງແຕ່ຕົ້ນຈົນຈົບ ແລະ ການຄວບຄຸມຂະບວນການທາງສະຖິຕິ (SPC).

**ການຫຸ້ມຫໍ່ຂັ້ນສູງ:** ສະໜອງ ID ການຕິດຕາມທີ່ສຳຄັນພາຍໃນຂະບວນການຫຸ້ມຫໍ່ລະດັບແຜ່ນເວເຟີ (WLP) ຫຼື ແຜ່ນເວເຟີທີ່ສ້າງຂຶ້ນໃໝ່.

**ການຄົ້ນຄວ້າ ແລະ ພັດທະນາ ແລະ ການຜະລິດໃນປະລິມານໜ້ອຍ:** ການອອກແບບທີ່ມີຄວາມຍືດຫຍຸ່ນ ແລະ ເປັນອັດຕະໂນມັດເຮັດໃຫ້ມັນເໝາະສົມທີ່ສຸດສຳລັບການຄົ້ນຄວ້າ ແລະ ພັດທະນາ ແລະ ສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດທົດລອງ ທີ່ໂດດເດັ່ນດ້ວຍການຜະລິດທີ່ມີການປະສົມປະສານສູງ ແລະ ປະລິມານຕ່ຳ.

**ສະຫຼຸບ ແລະ ປຽບທຽບ**

ສະຫຼຸບແລ້ວ, ThinkLaser SigmaClean ເປັນອຸປະກອນທີ່ບັນລຸມາດຕະຖານຊັ້ນນໍາຂອງອຸດສາຫະກໍາໃນດ້ານຄວາມສະອາດ, ຄວາມໝັ້ນຄົງ ແລະ ອັດຕະໂນມັດ. ໂດຍການນໍາໃຊ້ເຕັກໂນໂລຊີ SuperSoftMark® ທີ່ໄດ້ຮັບສິດທິບັດ, ມັນແກ້ໄຂບັນຫາຈຸດເຈັບປວດຫຼັກໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ - ການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກ - ເຊິ່ງມັກຈະກ່ຽວຂ້ອງກັບວິທີການໝາຍແບບດັ້ງເດີມ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງສ້າງຕັ້ງຕົວເອງເປັນມາດຕະຖານໃນຂົງເຂດ "ການໝາຍອ່ອນ" ສໍາລັບແຜ່ນເວເຟີຂະໜາດ 4 ຫາ 8 ນິ້ວ. ເພື່ອໃຫ້ເຂົ້າໃຈງ່າຍຂຶ້ນກ່ຽວກັບຕໍາແໜ່ງຂອງມັນພາຍໃນສາຍຜະລິດຕະພັນ, ກະລຸນາອ້າງອີງເຖິງການປຽບທຽບຕໍ່ໄປນີ້ກັບ SC300 - ອຸປະກອນໝາຍອ່ອນອີກອັນໜຶ່ງ:

**ຄຸນສົມບັດ** | **SigmaClean** | **SC300**

**ການວາງຕຳແໜ່ງຫຼັກ** | ລະບົບເຄື່ອງໝາຍອ່ອນອັດຕະໂນມັດຢ່າງເຕັມທີ່ສຳລັບແຜ່ນເວເຟີຂະໜາດ 100–200 ມມ (4–8 ນິ້ວ) | ລະບົບເຄື່ອງໝາຍອ່ອນອັດຕະໂນມັດຢ່າງເຕັມທີ່ສຳລັບແຜ່ນເວເຟີຂະໜາດ 300 ມມ (12 ນິ້ວ)

**ການນຳໃຊ້ໃນຕະຫຼາດ** | ແນໃສ່ໂຮງງານຜະລິດເວເຟີເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ໂຮງງານຜະລິດບັນຈຸພັນທີ່ຈັດການເວເຟີຂະໜາດ 8 ນິ້ວ ແລະ ນ້ອຍກວ່າ; ເປັນໂຊລູຊັ່ນຊັ້ນນຳໃນຕະຫຼາດນີ້ | ຮັບຮອງເອົາຢ່າງກວ້າງຂວາງໂດຍຜູ້ຜະລິດອຸປະກອນປະສົມປະສານ 300 ມມ (IDMs) ແລະ ໂຮງງານຜະລິດເວເຟີທັງໝົດ.

**ຄຸນສົມບັດດ້ານເຕັກນິກ** | ເຂົ້າກັນໄດ້ກັບຫ້ອງສະອາດຊັ້ນ 1; ນຳໃຊ້ເທັກໂນໂລຢີ SuperSoftMark® ທີ່ໄດ້ຮັບສິດທິບັດເພື່ອໃຫ້ໄດ້ເຄື່ອງໝາຍທີ່ບໍ່ມີສິ່ງເສດເຫຼືອ | ຍັງໃຊ້ເທັກໂນໂລຢີເຄື່ອງໝາຍອ່ອນ, ເຊິ່ງໃຫ້ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້, ຄວາມສະອາດ, ຄຸນນະພາບເຄື່ອງໝາຍ, ແລະ ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືທີ່ຈຳເປັນສຳລັບການຜະລິດຈຳນວນຫຼາຍ 300 ມມ.

**ລະບົບການຂົນສົ່ງ** | ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວຖືກຕັ້ງຄ່າດ້ວຍສະຖານີເທບເປີດ 3 ແຫ່ງ; ມີ SMIF pods ເປັນທາງເລືອກ | ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວເຂົ້າກັນໄດ້ກັບ Front-Opening Unified Pods (FOUPs); ຮອງຮັບລະບົບ OHT (ການຂົນສົ່ງດ້ວຍເຄື່ອງຍົກເທິງຫົວ)

**ສະຖານະພາບອຸດສາຫະກໍາ** | ວິທີແກ້ໄຂຊັ້ນນໍາຂອງອຸດສາຫະກໍາສໍາລັບການໝາຍອ່ອນຂອງແຜ່ນເວເຟີຂະໜາດ 4–8 ນິ້ວ | ມາດຕະຖານອຸດສາຫະກໍາສໍາລັບການໝາຍອ່ອນໃນແຜ່ນເວເຟີຂະໜາດ 300 ມມ, ມີພື້ນຖານຕິດຕັ້ງຂະໜາດໃຫຍ່ (ຫຼາຍກວ່າ 140 ໜ່ວຍ)