ນໍ້າຢາເຮັດຄວາມສະອາດແຜ່ນເວເຟີໜ້າຈໍ SU-3200

SCREEN SU-3200 ເປັນລະບົບເຮັດຄວາມສະອາດແຜ່ນດຽວຂະໜາດ 300 ມມ ທີ່ໂດດເດັ່ນໃນອຸດສາຫະກຳຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ. ດ້ວຍປະລິມານການຜະລິດທີ່ດີເລີດ ແລະ ເຕັກໂນໂລຊີຄວາມສະອາດຊັ້ນນຳ, ມັນເປັນຕົວແບບຫຼັກຂອງ SCREEN ເປັນເວລາດົນນານ, ສະໜັບສະໜູນການຜະລິດຊິບຕັອກ ແລະ ໜ່ວຍຄວາມຈຳຕັ້ງແຕ່ 32nm ເຖິງ 7nm ແລະ ໂນດທີ່ກ້າວໜ້າກວ່າ, ມີບົດບາດສຳຄັນໃນຕະຫຼາດອຸປະກອນເຮັດຄວາມສະອາດ.

ພາບລວມຂອງການຈັດຕຳແໜ່ງແກນ ແລະ ເຕັກໂນໂລຊີ: ການຈັດວາງແກນຂອງ SU-3200 ແມ່ນເພື່ອເພີ່ມປະລິມານການຜະລິດຂອງການເຮັດຄວາມສະອາດແຜ່ນດຽວຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ ໃນຂະນະທີ່ຮັກສາຄວາມສະອາດໃຫ້ສູງທີ່ສຸດ, ຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການດ້ານປະສິດທິພາບສູງສຸດຂອງຂະບວນການທີ່ກ້າວໜ້າ.

ການອອກແບບທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ: ຜ່ານສະຖາປັດຕະຍະກຳທີ່ຊ້ອນກັນສີ່ຊັ້ນທີ່ມີນະວັດຕະກໍາ, ລະບົບດຽວສາມາດຕັ້ງຄ່າໄດ້ດ້ວຍຫ້ອງຂະບວນການເອກະລາດສູງສຸດ 12 ຫ້ອງ, ເຊິ່ງບັນລຸຄວາມສາມາດໃນການປະມວນຜົນໄດ້ສູງເຖິງ 800 ເວເຟີຕໍ່ຊົ່ວໂມງ (WPH), ເຊິ່ງເປັນລະບົບຊັ້ນນໍາຂອງໂລກໃນບັນດາລະບົບທໍາຄວາມສະອາດເວເຟີດຽວໃນເວລານັ້ນ.

ສະພາບແວດລ້ອມຂະບວນການທີ່ສະອາດທີ່ສຸດ: ເພື່ອຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຂັ້ມງວດຂອງໂຫນດ 22nm ແລະໂຫນດທີ່ກ້າວໜ້າກວ່າ, SU-3200 ມີເທັກໂນໂລຢີ APAC (ການຄວບຄຸມບັນຍາກາດຂະບວນການຂັ້ນສູງ) ທີ່ເປັນເຈົ້າຂອງໂດຍ SCREEN. ໂດຍການເພີ່ມປະສິດທິພາບສະພາບແວດລ້ອມຂອງຫ້ອງໃນຫຼາຍມິຕິ, ມັນຮັບປະກັນຄວາມສະອາດສູງສຸດຂອງຂະບວນການເຮັດຄວາມສະອາດ.

ລາຍລະອຽດດ້ານເຕັກນິກທີ່ສຳຄັນ: ເພື່ອບັນລຸເປົ້າໝາຍສອງຢ່າງຄື ປະລິມານການຜະລິດ ແລະ ຄວາມສະອາດ, SU-3200 ນຳໃຊ້ຊຸດການອອກແບບທີ່ມີນະວັດຕະກຳຫຼາກຫຼາຍຮູບແບບ, ເຊິ່ງມີລາຍລະອຽດຢູ່ໃນຕາຕະລາງຂ້າງລຸ່ມນີ້:

ມິຕິເຕັກໂນໂລຊີ | ຊື່ເຕັກໂນໂລຊີ | ໜ້າທີ່ຫຼັກ ແລະ ວິທີການຈັດຕັ້ງປະຕິບັດ

ການປັບປຸງຄວາມສາມາດທີ່ກ້າວໜ້າ | ຫ້ອງຂະໜາດກະທັດຮັດ | ຫຼຸດຜ່ອນປະລິມານຂອງຫ້ອງຂະບວນການດຽວໃຫ້ເຫຼືອເຄິ່ງໜຶ່ງຂອງຫ້ອງກ່ອນໜ້ານີ້, ເຮັດໃຫ້ສາມາດນຳໃຊ້ຫ້ອງໄດ້ຫຼາຍຂຶ້ນພາຍໃນພື້ນທີ່ດຽວກັນ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງເພີ່ມຜົນຜະລິດຕໍ່ໜ່ວຍພື້ນທີ່.

ລະບົບການໂອນຄວາມໄວສູງ | ເພີ່ມປະສິດທິພາບເຫດຜົນການໂອນ ແລະ ຄວາມໄວຂອງເວເຟີລະຫວ່າງຫ້ອງ, ເຊິ່ງເປັນການສະໜັບສະໜູນທີ່ສຳຄັນສຳລັບການບັນລຸປະລິມານການຜະລິດສູງ 800 ເວເຟີ/ຊົ່ວໂມງ (WPH).

ການຮັບປະກັນຄວາມສະອາດ | ເທັກໂນໂລຢີ APAC | ເທັກໂນໂລຢີຫ້ອງສະອາດພິເສດ ແມ່ນຄຳສັບລວມສຳລັບຊຸດເທັກໂນໂລຢີຕ່າງໆ. ເທັກໂນໂລຢີຍ່ອຍຫຼັກຂອງມັນປະກອບມີ:

ຫ້ອງຈຸນລະພາກ AMC: ຫຼຸດຜ່ອນປະລິມານພາຍໃນຂອງຫ້ອງລົງເຫຼືອໜຶ່ງສ່ວນສາມຂອງລຸ້ນກ່ອນ, ເຮັດໃຫ້ສາມາດທົດແທນອາຍແກັສໄດ້ໄວຂຶ້ນ ແລະ ປັບປຸງຄວາມສະອາດຂອງສິ່ງແວດລ້ອມໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ.

ຝາປິດດຸ່ນດ່ຽງກະແສລົມ ABG: ໃຊ້ເພື່ອປັບກະແສລົມທີ່ສະອາດທີ່ພັດລົງມາໂດຍຕົວກອງອະນຸພາກປະສິດທິພາບສູງ (FFU) ຊັ້ນເທິງ, ປ້ອງກັນການໝູນວຽນ ຫຼື ເຂດຕາຍພາຍໃນຫ້ອງ ແລະ ຮັບປະກັນການກຳຈັດອະນຸພາກຢ່າງມີປະສິດທິພາບ.

ການປ້ອງກັນການສີດນ້ຳແບບພິເສດຂອງ ASP: ຜ່ານການອອກແບບທີ່ຊັດເຈນ, ຫຼຸດຜ່ອນການສີດນ້ຳຂອງສານເຄມີໃນລະຫວ່າງການສີດສານເຄມີ, ຮັບປະກັນສະພາບແວດລ້ອມການປຸງແຕ່ງແຜ່ນເວເຟີທີ່ສະອາດ.

ຫົວສີດປ້ອງກັນອາກາດ APN: ການໃຊ້ "ຜ້າມ່ານອາກາດ" ໃນລະຫວ່າງຂັ້ນຕອນການອົບແຫ້ງເພື່ອປົກປ້ອງໜ້າຜິວແຜ່ນເວເຟີ ແລະ ປ້ອງກັນຮອຍເປື້ອນນ້ຳທີ່ເກີດຈາກການລະເຫີຍຂອງແຫຼວ.

ການສະໜອງສານເຄມີທີ່ມີຄວາມຍືດຫຍຸ່ນ: ແຫຼ່ງສານເຄມີສາມາດຈັດລຽງໄດ້ຢ່າງຍືດຫຍຸ່ນ. ທັງລະບົບການສີດໂດຍກົງແບບໄດນາມິກ (DDI) ແລະ ລະບົບແບບຕູ້ແມ່ນມີໃຫ້ບໍລິການ, ຊ່ວຍໃຫ້ລູກຄ້າສາມາດເລືອກໄດ້ຢ່າງຍືດຫຍຸ່ນຕາມຄວາມຕ້ອງການຂອງຂະບວນການສະເພາະ.

ງ່າຍຕໍ່ການບຳລຸງຮັກສາ: ໂຄງສ້າງທີ່ດຶງອອກໄດ້: ຫ້ອງຂະບວນການສາມາດດຶງອອກໄດ້ຄືກັບລິ້ນຊັກເພື່ອຄວາມສະດວກໃນການເຮັດຄວາມສະອາດ, ການປ່ຽນຊິ້ນສ່ວນ ແລະ ວຽກງານບຳລຸງຮັກສາອື່ນໆ, ເຊິ່ງຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນເວລາທີ່ອຸປະກອນຢຸດເຮັດວຽກໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ. ຂົງເຂດການນຳໃຊ້: ຈາກການຄົ້ນຄວ້າ ແລະ ພັດທະນາທີ່ທັນສະໄໝຈົນເຖິງການຜະລິດທີ່ສຳເລັດຮູບ

SU-3200 ມີການນຳໃຊ້ທີ່ຫຼາກຫຼາຍ, ກວມເອົາຫຼາຍຂັ້ນຕອນສຳຄັນຂອງການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ.

ຊິບໜ່ວຍຄວາມຈຳ ແລະ ເຫດຜົນຂັ້ນສູງ: SU-3200 ຖືກນຳໃຊ້ໃນການຄົ້ນຄວ້າ ແລະ ພັດທະນາ ແລະ ການຜະລິດຊິບ, ລວມທັງໂຫນດ 7nm ແລະ ໂຫນດທີ່ກ້າວໜ້າກວ່າ, ທັງໃນຂະບວນການດ້ານໜ້າ (FEOL) ແລະ ດ້ານຫຼັງ (BEOL).

ວັດສະດຸ ແລະ ຂະບວນການຂອງຕົວນຳທີ່ສຳຄັນ: ໃນບັນດາຂະບວນການຫຼາຍຢ່າງທີ່ມັນສະໜັບສະໜູນແມ່ນການທຳຄວາມສະອາດວັດສະດຸຕົວນຳລຸ້ນທີສາມ ເຊັ່ນ SiC (Silicon Carbide) ແລະ GaN (Gallium Nitride).

ການຄົ້ນຄວ້າທີ່ທັນສະໄໝ ແລະ ການຮ່ວມມືດ້ານລະບົບນິເວດ: ປະສິດທິພາບທີ່ມີປະສິດທິພາບຂອງ SU-3200 ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນທາງເລືອກຂອງສະຖາບັນຄົ້ນຄວ້າ ແລະ ພັດທະນາຊັ້ນນຳທົ່ວໂລກ. ຕົວຢ່າງ, IBM ໄດ້ຈັດຕັ້ງປະຕິບັດ SU-3200 ຢູ່ສູນຄົ້ນຄວ້າເຄິ່ງຕົວນຳຂອງຕົນໃນ Albany, ນິວຢອກ. ນອກຈາກນັ້ນ, SCREEN ໄດ້ຮ່ວມມືກັບ Applied Materials, ໂດຍຕິດຕັ້ງ SU-3200 ຢູ່ສູນ META ຂອງຕົນເພື່ອພັດທະນາຂະບວນການຊິບທີ່ກ້າວໜ້າກວ່າ.

ຕຳແໜ່ງຕະຫຼາດ ແລະ ການປະກອບສ່ວນທາງປະຫວັດສາດ

SU-3200 ບໍ່ພຽງແຕ່ເປັນຜະລິດຕະພັນທີ່ປະສົບຜົນສຳເລັດເທົ່ານັ້ນ ແຕ່ຍັງເປັນປັດໄຈສຳຄັນໃນການສ້າງຕຳແໜ່ງຜູ້ນຳຕະຫຼາດຂອງ SCREEN ນຳອີກ.

ການຄອບງຳຕະຫຼາດ: ຫຼັງຈາກຄວາມສຳເລັດຂອງ SU-3200, SCREEN ໄດ້ເສີມສ້າງຕຳແໜ່ງຜູ້ນຳຂອງຕົນໃນຂົງເຂດອຸປະກອນເຮັດຄວາມສະອາດ. ອີງຕາມຂໍ້ມູນຢ່າງເປັນທາງການຂອງ SCREEN, ມາຮອດເດືອນກໍລະກົດ 2025, ການຂົນສົ່ງອຸປະກອນເຮັດຄວາມສະອາດເຄິ່ງຕົວນຳລວມຂອງບໍລິສັດເກີນ 15,000 ໜ່ວຍ, ຖືສ່ວນແບ່ງຕະຫຼາດໂລກອັນດັບໜຶ່ງໃນຫຼາຍພາກສ່ວນລວມທັງການເຮັດຄວາມສະອາດແຜ່ນດຽວ, ການເຮັດຄວາມສະອາດເປັນກຸ່ມ, ແລະ ການເຮັດຄວາມສະອາດແບບໝຸນ.

ເສົາຄໍ້າລາຍຮັບ: ເປັນເວລາດົນນານ, SU-3200 ແມ່ນຜະລິດຕະພັນຫຼັກຂອງ SCREEN, ແລະ ລາຍຮັບຈາກທຸລະກິດອຸປະກອນເຮັດຄວາມສະອາດຂອງມັນແມ່ນຂຶ້ນກັບຮຸ່ນນີ້ຫຼາຍ.