ນໍ້າຢາເຮັດຄວາມສະອາດແຜ່ນເວເຟີ SEMES BLUEICE PRIME

SEMES' BLUEICE PRIME ເປັນລະບົບເຮັດຄວາມສະອາດແຜ່ນດຽວແບບອັດຕະໂນມັດຂະໜາດ 300 ມມ ທີ່ຖືກອອກແບບມາສຳລັບການຜະລິດເທັກໂນໂລຊີຂະບວນການຂັ້ນສູງ (LPT) ແລະ ຊິບໜ່ວຍຄວາມຈຳ. ພັດທະນາ ແລະ ຜະລິດໂດຍ SEMES, ຜູ້ສະໜອງອຸປະກອນຫຼັກພາຍໃຕ້ Samsung Electronics, ມັນເປັນອຸປະກອນທີ່ສຳຄັນສຳລັບການປັບປຸງຜົນຜະລິດການຜະລິດຈຳນວນຫຼາຍຂອງຂະບວນການທີ່ທັນສະໄໝເຊັ່ນ: 2nm.

ປະສິດທິພາບຫຼັກ: ການດຸ່ນດ່ຽງຂະບວນການຂັ້ນສູງ ແລະ ຄວາມສາມາດ

ປະສິດທິພາບຂອງຂະບວນການທີ່ດີເລີດ: ມີຄວາມສາມາດໃນການກຳຈັດອະນຸພາກໃນລະດັບ 19nm, ເຊິ່ງປັບປຸງຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງການແກະສະຫຼັກໄດ້ຫຼາຍກວ່າ 40%.

ການອອກແບບຄວາມອາດສາມາດປະສິດທິພາບສູງ: ໃນຖານະເປັນລະບົບທຳຄວາມສະອາດແຜ່ນເວເຟີດຽວຂະໜາດ 300 ມມ, ມັນສາມາດຈັດການແຜ່ນເວເຟີໄດ້ຫຼາຍກວ່າ 500 ແຜ່ນຕໍ່ຊົ່ວໂມງ (WPH), ຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການຂອງການຜະລິດຈຳນວນຫຼາຍໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ.

ຄຸນສົມບັດທາງດ້ານເຕັກນິກ: ການອອກແບບທີ່ມີນະວັດຕະກໍາຫຼາຍຢ່າງທີ່ພັດທະນາຂຶ້ນຢ່າງເປັນອິດສະຫຼະ

ຂະບວນການກົດຟອສຟໍຣິກອຸນຫະພູມສູງທີ່ມີນະວັດຕະກໍາ: ຂະບວນການຫຼັກຂອງມັນໃຊ້ກົດຟອສຟໍຣິກອຸນຫະພູມສູງສໍາລັບການແກະສະຫຼັກແລະລອກແຜ່ນເວເຟີ. ການຄວບຄຸມການສີດພົ່ນແລະອຸນຫະພູມທີ່ຊັດເຈນຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການກະຈາຍຂອງຂະບວນການແລະອັດຕາການຜິດປົກກະຕິ, ເຊິ່ງປັບປຸງຜົນຜະລິດຊິບ 2nm ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.

**ຫົວຈັບອຸນຫະພູມສູງທີ່ພັດທະນາຂຶ້ນຢ່າງເປັນອິດສະຫຼະ:** ເທັກໂນໂລຢີນີ້ຊ່ວຍປັບປຸງຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງອຸນຫະພູມໃນລະຫວ່າງການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນຂອງແຜ່ນເວເຟີ, ຫຼຸດຜ່ອນຂໍ້ບົກຜ່ອງຂອງຂະບວນການໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ, ແລະ ເອົາຊະນະຂໍ້ຈຳກັດຂອງວິທີການທຳຄວາມສະອາດແບບປຽກແບບດັ້ງເດີມ.

**ການຄວບຄຸມການປົນເປື້ອນທີ່ຄົບຖ້ວນ:** ຫ້ອງ NIC (Non-Interaction Clean) ປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຂ້າມໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ, ປະສົມປະສານກັບເທັກໂນໂລຢີ SF-Aerosol (ຄວາມໄວສູງ/ຢອດເປັນເອກະພາບ) ສຳລັບການເຮັດຄວາມສະອາດທາງກາຍະພາບ.

**ລະບົບອັດສະລິຍະທີ່ປະສົມປະສານສູງ:** ມາພ້ອມກັບ APAC, AIS (ລະບົບກວດຈັບອັດຕະໂນມັດ), ແລະ SEAS (ລະບົບວິເຄາະອຸປະກອນອັດສະລິຍະ), ມັນບັນລຸການຄວບຄຸມການໄຫຼທີ່ຊັດເຈນ ແລະ ການວິເຄາະສະຖານະອຸປະກອນຢ່າງສະຫຼາດ.

**ຂົງເຂດການນຳໃຊ້:** ຕັ້ງຢູ່ທີ່ Samsung, ໃຫ້ບໍລິການລູກຄ້າຊັ້ນນຳຂອງໂລກ.

ບໍລິສັດ BLUEICE PRIME ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນແນໃສ່ໂຮງງານຜະລິດຊິບ logic ແລະ ຜູ້ຜະລິດໜ່ວຍຄວາມຈຳລະດັບໂລກ. ໂດຍນຳໃຊ້ສະຖານະພາບຂອງບໍລິສັດແມ່ SEMES ໃນຖານະເປັນບໍລິສັດຍ່ອຍຂອງກຸ່ມບໍລິສັດ Samsung, ອຸປະກອນນີ້ໄດ້ຖືກປະສົມປະສານຢ່າງເລິກເຊິ່ງເຂົ້າໃນສາຍການຜະລິດ wafer ທີ່ທັນສະໄໝທີ່ສຸດຂອງ Samsung. ວິທີແກ້ໄຂການເຮັດຄວາມສະອາດແບບປຽກຂອງມັນສ້າງລະບົບນິເວດທີ່ສົມບູນດ້ວຍອຸປະກອນດ້ານໜ້າຫຼັກອື່ນໆເຊັ່ນ: ການພິມດ້ວຍຫີນ (ຊຸດ OMEGA) ແລະ ການແກະສະຫຼັກ (ຊຸດ MICHELAN). ມັນເປັນສິ່ງທີ່ໜ້າສັງເກດວ່າ SEMES ໄດ້ຂະຫຍາຍຂອບເຂດທຸລະກິດຂອງຕົນໄປສູ່ຂະແໜງການຜະລິດ HBM (ໜ່ວຍຄວາມຈຳແບນວິດສູງ) ທັງໝົດ, ໂດຍໄດ້ພັດທະນາ ແລະ ຜະລິດເຄື່ອງຈັກເຊື່ອມຕໍ່ຄວາມຮ້ອນ (TC Bonder) ສຳລັບການວາງຊ້ອນຊິບ HBM ຢ່າງສຳເລັດຜົນ.

ສະຫຼຸບແລ້ວ, BLUEICE PRIME ສະແດງໃຫ້ເຫັນເຖິງຄວາມເຂັ້ມແຂງທາງດ້ານເຕັກໂນໂລຊີທີ່ເລິກເຊິ່ງຂອງ SEMES ໃນຂະແໜງອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳ. ມັນເປັນສ່ວນສຳຄັນຂອງຄວາມພະຍາຍາມຂອງກຸ່ມບໍລິສັດ Samsung ທີ່ຈະເສີມສ້າງຖານະຂອງຕົນໃນຖານະຜູ້ນຳລະດັບໂລກໃນດ້ານເຕັກໂນໂລຊີຂະບວນການທີ່ກ້າວໜ້າ ແລະ ເປັນເຄື່ອງມືຫຼັກທີ່ສະໜັບສະໜູນການຜະລິດທີ່ທັນສະໄໝພາຍໃຕ້ການຜະລິດຂະໜາດຕ່ຳກວ່າ 2nm.