ເຄື່ອງຕິດຕັ້ງເວເຟີເຄິ່ງຕົວນຳ Nitto DR3000III

ນີ້ແມ່ນການແນະນຳລະອຽດກ່ຽວກັບ NEL SYSTEM™ DR3000III ຈາກ Nitto Denko. ມັນເປັນເຄື່ອງຈັກຕິດເທບປ້ອງກັນເວເຟີແບບອັດຕະໂນມັດຢ່າງເຕັມຮູບແບບ ເຊິ່ງມີບົດບາດສຳຄັນໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ.

ການຕັ້ງຄ່າຫຼັກ ແລະ ລາຍລະອຽດດ້ານເຕັກນິກ

ລາຍລະອຽດທາງເທັກນິກຫຼັກຂອງ DR3000III ມີດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:

ລາຍລະອຽດ/ພາລາມິເຕີຂອງລາຍການ

ປະເພດອຸປະກອນ: ເຄື່ອງຕິດຕັ້ງເທບປ້ອງກັນອັດຕະໂນມັດຢ່າງເຕັມທີ່ສຳລັບແຜ່ນເວເຟີ 300 ມມ

ຂະໜາດເວເຟີທີ່ໃຊ້ໄດ້: 300 ມມ (12 ນິ້ວ) / 200 ມມ (8 ນິ້ວ)

ຄວາມໜາຂອງແຜ່ນເວເຟີທີ່ນຳໃຊ້ໄດ້: 400μm ຫຼື ໜາກວ່າ

ປະລິມານການຜະລິດ: 68 ເວເຟີ/ຊົ່ວໂມງ

ເຕັກໂນໂລຊີການນຳໃຊ້ເທບ: ກົນໄກການຄວບຄຸມການນຳໃຊ້ແບບບໍ່ມີຄວາມກົດດັນແບບປະສົມປະສານ

ມາດຕະຖານທີ່ເຂົ້າກັນໄດ້: ຕອບສະໜອງເຄື່ອງໝາຍ CE ແລະ ຂໍ້ກຳນົດຂອງ SEMI S2/S8

ກະລຸນາຮັບຊາບ: ລາຍລະອຽດສະເພາະຂ້າງເທິງນີ້ອາດມີການປ່ຽນແປງໄດ້ໂດຍອີງຕາມແຜ່ນເວເຟີ, ເທບ, ແລະເງື່ອນໄຂອື່ນໆ, ແລະອາດຈະປະກອບມີຄຸນສົມບັດທາງເລືອກ.

ຄຸນນະສົມບັດແລະຜົນປະໂຫຍດທີ່ສໍາຄັນ

ຄຸນສົມບັດທີ່ມີປະສິດທິພາບຂອງ DR3000III ເຮັດໃຫ້ມັນໂດດເດັ່ນໃນຂະແໜງການຜະລິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ:

ເຕັກໂນໂລຊີການນຳໃຊ້ທີ່ບໍ່ມີຄວາມຕຶງຄຽດ: ນີ້ແມ່ນໜຶ່ງໃນຂໍ້ໄດ້ປຽບທາງເຕັກໂນໂລຊີຫຼັກຂອງມັນ. ການຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຕຶງຄຽດຂອງເທບກ່ອນການເຄືອບຈະຄວບຄຸມການບິດງໍຂອງແຜ່ນເວເຟີຫຼັງຈາກການບົດດ້ານຫຼັງຢ່າງມີປະສິດທິພາບ, ເຊິ່ງມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍສຳລັບການຈັດການກັບແຜ່ນເວເຟີຂະໜາດໃຫຍ່ ແລະ ບາງພິເສດ.

ການຄວບຄຸມການເຄືອບຄວາມເຄັ່ງຕຶງຕ່ຳ: ອຸປະກອນດັ່ງກ່າວມີຄຸນສົມບັດການຍຶດຕິດຄວາມເຄັ່ງຕຶງຕ່ຳ ແລະ ການຄວບຄຸມຄວາມເຄັ່ງຕຶງຂອງກາວ, ເຊິ່ງຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຂອງຄວາມເສຍຫາຍຂອງຮູບແບບແຜ່ນເວເຟີໃນລະຫວ່າງການເຄືອບໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.

ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງແຜ່ນເວເຟີ: ໃນຂະນະທີ່ຖືກອອກແບບມາສຳລັບແຜ່ນເວເຟີຂະໜາດ 300 ມມ, ມັນຍັງສາມາດເຂົ້າກັນໄດ້ກັບແຜ່ນເວເຟີຂະໜາດ 200 ມມ ແລະ ຮອງຮັບຂະບວນການພິເສດທີ່ມີຄຸນສົມບັດທາງເລືອກເຊັ່ນ: ໂຕະ chuck ທີ່ມີຄວາມຮ້ອນ (ສູງສຸດ 100°C) ແລະ ລູກກິ້ງທີ່ມີຄວາມຮ້ອນ (ສູງສຸດ 60°C). ນອກຈາກນັ້ນ, ມັນຍັງຈັດການກັບແຜ່ນເວເຟີທີ່ມີການກະທົບ ແລະ ແຜ່ນເວເຟີທີ່ມີລະດັບການບິດງໍໃນລະດັບໜຶ່ງໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ.

ອັດຕະໂນມັດ ແລະ ຄວາມສະຫຼາດສູງ: ອຸປະກອນດັ່ງກ່າວມີອຸປະກອນດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:

ການຈັດການວັດສະດຸອັດຕະໂນມັດ: ຮອງຮັບເທບເວເຟີເປີດດ້ານໜ້າ (FOUP) / ເທບເປີດ, ພ້ອມດ້ວຍແຂນຫຸ່ນຍົນໃນຕົວສຳລັບການໂຫຼດ ແລະ ຂົນອອກໂດຍອັດຕະໂນມັດຢ່າງເຕັມຮູບແບບ.

ການຈັດລຽນແບບແມ່ນຍຳ: ໃຊ້ລະບົບການຈັດລຽນແບບ CCD ທີ່ບໍ່ສຳຜັດເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການເຄືອບ.

ການຕິດຕາມກວດກາອັດສະລິຍະ: ມີຟັງຊັນໄຟລ໌ບັນທຶກເພື່ອການຕິດຕາມຂໍ້ມູນ; ການກວດສອບການຫຍ่อนຍານຂອງເທບປ້ອງກັນການເຮັດວຽກຜິດປົກກະຕິ. ເຄື່ອງສະແກນ wafer mapping ທີ່ເປັນທາງເລືອກຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດກວດສອບວັດສະດຸທີ່ເຂົ້າມາໂດຍອັດຕະໂນມັດ.

ສອດຄ່ອງກັບມາດຕະຖານອຸດສາຫະກໍາລະດັບສູງ: ອຸປະກອນດັ່ງກ່າວສອດຄ່ອງກັບມາດຕະຖານຄວາມປອດໄພ ແລະ ສິ່ງແວດລ້ອມ SEMI S2/S8 ແລະ ມີໂປໂຕຄອນການສື່ສານ SECS/GEM ທີ່ເປັນທາງເລືອກ ສຳລັບການເຊື່ອມໂຍງທີ່ລຽບງ່າຍເຂົ້າກັບລະບົບອັດຕະໂນມັດຂອງໂຮງງານເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ທັນສະໄໝ.

ການເຮັດວຽກທີ່ເປັນມິດກັບຜູ້ໃຊ້: ໜ້າຈໍສຳຜັດຂະໜາດໃຫຍ່ປະສົມປະສານກັບຟັງຊັນສູດອາຫານເຮັດໃຫ້ການເຮັດວຽກງ່າຍດາຍ ແລະ ເຂົ້າໃຈງ່າຍ. ຜູ້ໃຊ້ພຽງແຕ່ຕ້ອງການເອີ້ນສູດອາຫານສຳລັບຜະລິດຕະພັນທີ່ສອດຄ້ອງກັນເພື່ອເຮັດສຳເລັດການຕັ້ງຄ່າພາລາມິເຕີທັງໝົດໂດຍອັດຕະໂນມັດ.

ຫຼັກການເຮັດວຽກ: ກ່ອນຂະບວນການບົດດ້ານຫຼັງ, DR3000III ຈະຕິດເທບປ້ອງກັນຢ່າງແນ່ນອນກັບດ້ານທີ່ມີລວດລາຍຂອງແຜ່ນແພໂດຍໃຊ້ວິທີການທີ່ບໍ່ມີຄວາມຕຶງເພື່ອປ້ອງກັນຄວາມເສຍຫາຍທາງກົນຈັກ ຫຼື ການປົນເປື້ອນທາງເຄມີຢູ່ດ້ານໜ້າຂອງແຜ່ນແພໃນລະຫວ່າງການບົດຄວາມໄວສູງຕໍ່ມາ.

ຂົງເຂດການນຳໃຊ້: DR3000III ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ໃນຂົງເຂດສຳຄັນຕໍ່ໄປນີ້:

ການຜະລິດເຄື່ອງເຄິ່ງຕົວນຳ: ຊິບຕາມເຫດຜົນ ແລະ ຊິບໜ່ວຍຄວາມຈຳ (DRAM, NAND Flash, ແລະອື່ນໆ): ການປົກປ້ອງໂຄງສ້າງວົງຈອນທີ່ລະອຽດອ່ອນຢູ່ດ້ານໜ້າຂອງແຜ່ນເວເຟີໃນຂະບວນການຂັ້ນສູງ. ການຫຸ້ມຫໍ່ຂັ້ນສູງ: ໃຫ້ການປົກປ້ອງແຜ່ນເວເຟີໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຫຸ້ມຫໍ່ລະດັບແຜ່ນເວເຟີ 300 ມມ ທີ່ໃຫຍ່ຂຶ້ນເລື້ອຍໆ (Fan-In WLP, Fan-Out WLP, ແລະອື່ນໆ).

ເມມສ໌ ແລະ ເຊັນເຊີ: ປົກປ້ອງໂຄງສ້າງກົນຈັກຂະໜາດນ້ອຍ ແລະ ພື້ນທີ່ເຊັນເຊີໃນລະຫວ່າງຂະບວນການບາງລົງດ້ານຫຼັງ.

ອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳໄຟຟ້າ: ປະມວນຜົນແຜ່ນເວເຟີສຳລັບອຸປະກອນພະລັງງານເຊັ່ນ: IGBTs ແລະ MOSFETs, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ອິນ ແລະ ປັບປຸງການກະຈາຍຄວາມຮ້ອນໂດຍຜ່ານການບາງລົງ.

ການຮ່ວມມືກັບອຸປະກອນອື່ນໆ: ໃນສາຍການຫຸ້ມຫໍ່ເຄິ່ງຕົວນຳ, DR3000III ໂດຍປົກກະຕິແລ້ວຈະເຮັດວຽກຮ່ວມກັບອຸປະກອນຕໍ່ໄປນີ້:

ການຮ່ວມມືກັບອຸປະກອນຕິດຕັ້ງຟິມ: ເຮັດວຽກຮ່ວມກັບອຸປະກອນຖອດເທບ Nitto NEL-MA3000-III ກ່ອນ ແລະ ຫຼັງຂະບວນການບາງລົງ. DR3000III ຈະຕິດເທບປ້ອງກັນກ່ອນເພື່ອປົກປ້ອງແຜ່ນເວເຟີຈາກຄວາມເສຍຫາຍໃນລະຫວ່າງການບາງລົງ; ຫຼັງຈາກການບາງລົງ, NEL-MA3000-III ຈະຖອດເທບປ້ອງກັນອອກຢ່າງແນ່ນອນ, ຮັບປະກັນຄວາມສົມບູນ ແລະ ຄວາມປອດໄພຂອງແຜ່ນເວເຟີບາງພິເສດຕະຫຼອດຂະບວນການ.

ການຮ່ວມມືກັບອຸປະກອນຂັດເງົາ: ເຮັດວຽກຢ່າງໃກ້ຊິດກັບເຄື່ອງຈັກຂັດເງົາເປັນຂັ້ນຕອນປ້ອງກັນ. ຫຼັງຈາກແຜ່ນເວເຟີຖືກເຄືອບດ້ວຍຟິມປ້ອງກັນໂດຍ DR3000III ແລ້ວ, ພວກມັນຈະຖືກປ້ອນເຂົ້າໄປໃນເຄື່ອງບົດເພື່ອການບາງລົງດ້ານຫຼັງ, ເຊິ່ງຮັບປະກັນຄວາມປອດໄພ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການບົດໄດ້ຢ່າງໜ້າເຊື່ອຖື.

ໂດຍລວມແລ້ວ, Nitto DR3000III ເປັນລະບົບປ້ອງກັນແຜ່ນເວເຟີທີ່ມີຄວາມຊ່ຽວຊານສູງ, ອັດຕະໂນມັດ, ແລະ ມີປະສິດທິພາບສູງ. ຜ່ານເທັກໂນໂລຢີການເຄືອບຟິມທີ່ບໍ່ມີຄວາມກົດດັນ, ມັນແກ້ໄຂບັນຫາທົ່ວໄປຂອງການບິດງໍ ແລະ ການແຕກຫັກທີ່ພົບກັບແຜ່ນເວເຟີຂະໜາດໃຫຍ່ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການບາງລົງດ້ານຫຼັງໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ. ມັນມີບົດບາດສຳຄັນໃນອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳ, ເປັນອຸປະກອນທີ່ສຳຄັນໃນການຮັບປະກັນຜົນຜະລິດ ແລະ ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືຂອງການຜະລິດຊິບຂັ້ນສູງ. ສຳລັບໃບສະເໜີລາຄາ ຫຼື ການສອບຖາມດ້ານເຕັກນິກ, ກະລຸນາຕິດຕໍ່ຕົວແທນທາງການ ຫຼື ຜູ້ຈຳໜ່າຍທີ່ໄດ້ຮັບອະນຸຍາດຂອງ Nitto ໃນປະເທດຈີນໂດຍກົງ.