Środek czyszczący do płytek SEMES BLUEICE PRIME

BLUEICE PRIME firmy SEMES to w pełni zautomatyzowany system czyszczenia pojedynczych płytek o średnicy 300 mm, przeznaczony do produkcji układów logicznych i pamięci w technologii zaawansowanych procesów (LPT). Opracowany i wyprodukowany przez SEMES, głównego dostawcę sprzętu dla Samsung Electronics, jest kluczowym elementem zwiększającym wydajność masowej produkcji w najnowocześniejszych procesach, takich jak 2 nm.

Wydajność podstawowa: równoważenie zaawansowanych procesów i wydajności

Wyższa wydajność procesu: Możliwość usuwania cząsteczek o wielkości 19 nm, co znacznie poprawia jednorodność trawienia o ponad 40%.

Konstrukcja o wysokiej wydajności: System czyszczący pojedyncze płytki o średnicy 300 mm obsługuje ponad 500 płytek na godzinę (WPH), skutecznie spełniając wymogi masowej produkcji.

Cechy techniczne: Wiele niezależnie opracowanych innowacyjnych projektów

Innowacyjny proces wysokotemperaturowego kwasu fosforowego: Jego główny proces wykorzystuje wysokotemperaturowy kwas fosforowy do trawienia i usuwania powłok. Precyzyjna kontrola natrysku i temperatury skutecznie zmniejsza dyspersję procesu i liczbę defektów, znacząco poprawiając wydajność układów scalonych 2 nm.

**Niezależnie opracowany uchwyt wysokotemperaturowy:** Technologia ta poprawia równomierność temperatury podczas nagrzewania płytek, znacząco redukuje błędy procesu i eliminuje ograniczenia tradycyjnych metod czyszczenia na mokro.

**Kompleksowa kontrola zanieczyszczeń:** Komora NIC (Non-Interaction Clean) skutecznie zapobiega krzyżowemu zanieczyszczeniu, a w połączeniu z technologią SF-Aerosol (szybka/jednolita kropla) umożliwia czyszczenie fizyczne.

**Wysoce zintegrowany inteligentny system:** Wyposażony w APAC, AIS (system automatycznego wykrywania) i SEAS (system inteligentnej analizy sprzętu), zapewnia precyzyjną kontrolę przepływu i inteligentną analizę stanu sprzętu.

**Obszar zastosowania:** Siedziba firmy Samsung, obsługa największych globalnych klientów.

BLUEICE PRIME jest skierowany przede wszystkim do czołowych światowych odlewni układów scalonych i producentów pamięci. Wykorzystując status spółki macierzystej SEMES jako spółki zależnej Grupy Samsung, sprzęt ten jest głęboko zintegrowany z najnowocześniejszymi liniami produkcyjnymi wafli krzemowych Samsunga. Rozwiązanie do czyszczenia na mokro tworzy kompletny ekosystem z innymi kluczowymi urządzeniami front-end, takimi jak litografia (seria OMEGA) i trawienie (seria MICHELAN). Warto zauważyć, że SEMES rozszerzył zakres swojej działalności na cały sektor produkcji pamięci HBM (High Bandwidth Memory), z powodzeniem opracowując i wprowadzając na rynek masową produkcję maszyny do klejenia termicznego (TC Bonder) do układania układów HBM.

Podsumowując, BLUEICE PRIME dowodzi głębokiej siły technologicznej SEMES w dziedzinie urządzeń półprzewodnikowych. Jest to kluczowy element wysiłków Samsung Group zmierzających do umocnienia pozycji światowego lidera w zaawansowanych technologiach procesowych i kluczowego narzędzia wspierającego najnowocześniejszą produkcję w procesie poniżej 2 nm.