Очиститель вафель TEL CELLESTA™ -i MD

Система TEL CELLESTA™ -i MD — это флагманская система очистки 300-мм пластин от Tokyo Electron (TEL) для технологических процессов 10 нм и более совершенных. Она специально разработана для решения ключевых технологических проблем, таких как подверженность микроструктурированных элементов повреждениям во время очистки и сушки в современных технологических процессах, и является ключевым устройством, способствующим повышению выхода годной продукции для высокопроизводительных чипов.

Основные функции: Техническая поддержка и информационная поддержка.

Для более наглядного понимания ниже приведено краткое описание его основных технических характеристик:

Основные характеристики, показатели производительности и технические детали

Технологическое позиционирование, ориентированное на технологические узлы 10 нм и более совершенные, специализируется на неразрушающей очистке и удалении частиц с поверхностей пластин с рисунком.

Основные технологии: Очистка и сушка. Обеспечивает сушку без разрушения рисунка за счет контроля атмосферы в камере и оптимизации работы сопла с изопропиловым спиртом (IPA); может использовать химические растворы, такие как SC-1 и DHF, для влажного травления; и может интегрировать функции физической очистки, такие как щетка и распыление двух жидкостей.

Высокая производительность и модульность: возможность конфигурации до 20 камер очистки, обеспечивающая производительность до 1000 пластин в час (WPH), а также поддержка гибкого расширения блоков очистки фасок.

Низкая себестоимость эксплуатации: встроенная система рециркуляции химических реагентов значительно снижает эксплуатационные расходы и эффективно экономит потребление серной кислоты.

Надежность: Транспортная система прошла 750 миллионов циклов обработки пластин без обнаружения ошибок, что обеспечивает чрезвычайно высокую стабильность массового производства.

Области применения: Благодаря передовым технологиям и стабильной работе, CELLESTA™-i MD широко используется в производстве современных полупроводниковых приборов, играя незаменимую роль в следующих областях:

Логические микросхемы: Обеспечивают чистые поверхности кремниевых пластин для производства высокопроизводительных логических микросхем, таких как центральные процессоры (CPU), графические процессоры (GPU) и процессоры искусственного интеллекта (AI).

Микросхемы памяти: Используются в производстве микросхем памяти, таких как DRAM и 3D NAND Flash, обеспечивая точность и надежность ячеек памяти.

Передовые технологии упаковки: широко используются на этапах очистки в передовых процессах упаковки, таких как BSI (с обратной подсветкой), 3D-стекирование, упаковка с обратной подачей питания и SoIC (система на кристалле).

Оценка отрасли и рыночное положение

Модель -i MD, являясь высококлассной версией серии CELLESTA, представляет собой топовый уровень TEL в области очистки отдельных кремниевых пластин. Благодаря превосходным характеристикам очистки и признанной высокой надежности, эта серия платформ, наряду с SCREEN, прочно занимает лидирующие позиции на мировом рынке оборудования для очистки полупроводников, являясь незаменимым элементом оборудования, поддерживающего массовое производство передовых микросхем.