Монтажник полупроводниковых пластин Nitto DR3000III

Это подробное описание системы NEL SYSTEM™ DR3000III от Nitto Denko. Это полностью автоматизированная машина для нанесения защитной ленты на кремниевые пластины, играющая ключевую роль в полупроводниковом производстве.

Основная конфигурация и технические характеристики

Основные технические характеристики DR3000III следующие:

Технические характеристики/параметры изделия

Тип оборудования: Полностью автоматизированный аппликатор защитной ленты для пластин диаметром 300 мм.

Подходящий размер пластины: 300 мм (12 дюймов) / 200 мм (8 дюймов)

Допустимая толщина пластины: 400 мкм или более.

Производительность: 68 пластин в час

Технология нанесения ленты: Встроенный механизм контроля нанесения без натяжения.

Соответствует стандартам: маркировке CE и спецификациям SEMI S2/S8.

Обратите внимание: указанные выше характеристики могут изменяться в зависимости от типа пластины, ленты и других условий, а также могут включать дополнительные функции.

Основные характеристики и преимущества

Мощные характеристики DR3000III выделяют его в области высокоточной обработки материалов:

Технология нанесения без натяжения: это одно из ее основных технологических преимуществ. Минимизация натяжения ленты перед ламинированием эффективно контролирует деформацию пластины после шлифовки обратной стороны, что имеет решающее значение для работы с крупногабаритными, сверхтонкими пластинами.

Контроль ламинирования с низким уровнем напряжения: оборудование обеспечивает склеивание с низким натяжением и контроль напряжения в клеевом слое, что значительно снижает риск повреждения рисунка пластины во время ламинирования.

Совместимость с пластинами: Хотя устройство разработано для 300-мм пластин, оно обратно совместимо с 200-мм пластинами и поддерживает специальные процессы с дополнительными функциями, такими как нагреваемый зажимной стол (макс. 100°C) и нагреваемые ролики (макс. 60°C). Кроме того, оно эффективно обрабатывает пластины с неровностями и пластины с определенной степенью деформации.

Высокий уровень автоматизации и интеллектуальности: Оборудование оснащено следующими компонентами:

Автоматизированная обработка материалов: поддерживает кассеты с пластинами, открывающиеся спереди (FOUP) / открытые кассеты, со встроенным роботизированным манипулятором для полностью автоматизированной загрузки и разгрузки.

Точная юстировка: Используется бесконтактная система юстировки с ПЗС-матрицей для обеспечения точности ламинирования.

Интеллектуальный мониторинг: оснащен функцией ведения журнала для отслеживания данных; обнаружение провисания ленты предотвращает сбои в работе. Дополнительный сканер для картирования пластин обеспечивает автоматическую проверку поступающих материалов.

Соответствие высоким отраслевым стандартам: Оборудование соответствует стандартам безопасности и охраны окружающей среды SEMI S2/S8 и может быть оснащено дополнительными коммуникационными протоколами SECS/GEM для бесшовной интеграции в современные системы автоматизации производства полупроводников.

Удобное управление: Большой сенсорный экран в сочетании с функцией создания рецептов делает управление простым и интуитивно понятным. Пользователям достаточно вызвать рецепт для соответствующего продукта, чтобы автоматически выполнить все настройки параметров.

Принцип работы: Перед процессом шлифовки обратной стороны пластины, DR3000III точно приклеивает защитную ленту к стороне пластины с рисунком, используя метод без натяжения, чтобы предотвратить механические повреждения или химическое загрязнение лицевой стороны пластины во время последующей высокоскоростной шлифовки.

Области применения: DR3000III в основном используется в следующих ключевых областях:

Производство полупроводников: логические микросхемы и микросхемы памяти (DRAM, NAND Flash и т. д.): защита хрупкой структуры схемы на лицевой стороне пластины в передовых технологических процессах. Передовая упаковка: обеспечивает защиту пластины в процессе все более крупных 300-мм пленок (Fan-In WLP, Fan-Out WLP и т. д.).

MEMS и датчики: Защищает микромеханические структуры и области датчиков в процессе утонения обратной стороны.

Силовые полупроводниковые приборы: Обработка кремниевых пластин для силовых приборов, таких как IGBT и MOSFET, снижение сопротивления в открытом состоянии и улучшение теплоотвода за счет уменьшения толщины.

Взаимодействие с другим оборудованием: На линиях упаковки полупроводников DR3000III обычно работает совместно со следующим оборудованием:

Взаимодействие с оборудованием для нанесения пленки: Работает совместно с оборудованием для удаления ленты Nitto NEL-MA3000-III до и после процесса истончения. DR3000III сначала наносит защитную ленту, чтобы защитить пластину от повреждений во время истончения; после истончения NEL-MA3000-III точно удаляет защитную ленту, обеспечивая целостность и безопасность сверхтонкой пластины на протяжении всего процесса.

Взаимодействие с полировальным оборудованием: Тесное взаимодействие с полировальными станками в качестве защитного этапа. После нанесения защитных пленок на пластины с помощью DR3000III, они подаются в шлифовальный станок для утонения обратной стороны, что надежно обеспечивает безопасность и стабильность процесса шлифовки.

В целом, Nitto DR3000III — это высокоспециализированная, автоматизированная и высокопроизводительная система защиты кремниевых пластин. Благодаря технологии ламинирования пленок без натяжения, она эффективно решает распространенные проблемы деформации и сколов, возникающие при обработке крупногабаритных пластин в процессе истончения обратной стороны. Она играет ключевую роль в полупроводниковой промышленности, являясь важнейшим оборудованием для обеспечения выхода годной продукции и надежности при производстве современных микросхем. Для получения коммерческого предложения или технических вопросов, пожалуйста, свяжитесь напрямую с официальными представителями Nitto или авторизованными дистрибьюторами в Китае.