Устройство для монтажа полупроводниковых пластин SINTAIKE STK-7080

SINTAIKE STK-7080 позиционируется в первую очередь как бесконтактная вакуумная ламинационная машина, разработанная специально для рынков тонких пластин и составных полупроводников. Ее ключевое преимущество заключается в решении технической проблемы повреждения пластин — распространенной проблемы в процессе ламинирования хрупких пластин — за счет применения инновационной вакуумной технологии без использования роликов.

**Основные характеристики и принципы работы**

Техническую основу STK-7080 можно свести к трем ключевым концепциям: «безроликовый» метод, «бесконтактный» метод и «вакуумное ламинирование». Весь процесс в значительной степени автоматизирован:

**Загрузка и позиционирование:** Оператор вручную помещает пластину или подложку на специальную бесконтактную платформу, где она автоматически позиционируется машиной.

**Автоматизированная подготовка:** Аппарат автоматически выполняет задачи предварительной обработки, включая подачу пленки, сбор разделительной бумаги и удаление отходов пленки.

**Вакуумное ламинирование:** Это наиболее важный этап. Машина создает вакуумную среду, используя разницу давлений воздуха для «прижима» клеевую пленку к поверхности пластины. Поскольку весь процесс не предполагает контакта роликов, он принципиально исключает риск повреждения от физического давления и царапин на поверхности.

**Обрезка и выгрузка:** После завершения ламинирования машина автоматически использует круговой резак для обрезки пленки, удаляет излишки защитной пленки и собирает отходы; наконец, оператор забирает готовое изделие.

**Функции, преимущества и основные характеристики**

Уникальная конструкция STK-7080 обеспечивает значительные преимущества по многим параметрам:

**Характеристика** | **Описание**

**Исключительная производительность процесса** | Выход годных пластин достигает ≥99,9%; качество ламинирования без пузырьков (за исключением пузырьков, вызванных частицами пыли); точность ламинирования составляет ±0,5 мм. Производительность составляет ≥60 пластин в час.

**Уникальная область применения** | Разработанная специально для хрупких пластин, требующих «контакта только по краю», бесконтактная вакуумная технология особенно хорошо подходит для работы с тонкими пластинами, а также с пластинами из сложных полупроводников, таких как арсенид галлия (GaAs) и нитрид галлия (GaN).

**Удобство эксплуатации и обслуживания** | **Высокая степень автоматизации:** Автоматически выполняется вся последовательность действий, включая ламинирование, подачу, резку, снятие пленки и сбор отходов, от оператора требуется лишь первоначальная загрузка и окончательная выгрузка.

**Простое обслуживание:** Среднее время ремонта (MTTR) составляет менее 1 часа, а время простоя остается ниже 3%. Гибкая и универсальная конфигурация: Поддерживает пластины от 4 до 8 дюймов; совместима с синей пленкой или УФ-пленкой (ширина 230–300 мм, длина 100 м); поддерживает несущие кольца стандарта DISCO 6 и 8 дюймов.

Высокая безопасность и чистота: оснащен защитной световой завесой и кнопкой аварийной остановки; использует вентилятор с ионизированным воздухом для контроля статического электричества, что делает его пригодным для использования с чувствительными к статическому электричеству устройствами; использует высоковакуумный насос производства ULVAC (Япония) для обеспечения надежности вакуумной системы. Подробные технические характеристики

Приведенные ниже подробные технические характеристики составлены на основе общедоступной информации:

Категория параметров | Подробные характеристики

Тип оборудования | Напольная, полуавтоматическая, бесконтактная вакуумная машина для ламинирования пластин

Подходящие размеры пластин: от 4 до 8 дюймов (100 мм / 200 мм)

Диапазон толщины пластины | от 100 до 750 микрон (мкм)

Типы кремниевых пластин | Кремний (Si), карбид кремния (SiC), арсенид галлия (GaAs)

Тип пленки | Синяя пленка или УФ-пленка

Ширина пленки | от 230 до 300 мм

Толщина пленки | от 0,05 до 0,2 мм

Точность позиционирования | ±0,5 мм

Совместимость с опорными кольцами | 6 дюймов / 8 дюймов (стандарт DISCO)

Принцип ламинирования | Бесконтактная вакуумная технология ламинирования без использования роликов

Автоматизированные этапы | Автоматическая подача, ламинирование, намотка подложки, нарезка круговым резаком, снятие пленки, намотка отходов пленки

Человеко-машинный интерфейс (HMI) | Управление ПЛК, оснащенное 10-дюймовым сенсорным экраном

Защита от внешних воздействий | Световая завеса, кнопка аварийной остановки

Антистатический контроль | Ионизирующий вентилятор (ионизатор)

Вакуумный насос | ULVAC

Требования к электропитанию | Однофазный переменный ток 220 В, 16 А

Сжатый воздух | 0,45 ~ 0,6 МПа, Расход: 70 л/мин

Габариты (ШхГхВ) | 950 × 1300 × 1800 мм

Вес оборудования нетто | 480 кг

Среднее время безотказной работы (MTBF) | > 500 часов

Среднее время ремонта (MTTR) | < 1 час

Время простоя | < 3%

Основные области применения

Прибор STK-7080 в основном используется в областях, требующих чрезвычайно высокой точности технологических процессов:

Предварительное ламинирование для тонких пластин: используется для защиты сверхтонких пластин, предотвращая их поломку в процессе нарезки.

Производство составных полупроводников: специально разработано для ламинирования защитных пленок из таких материалов, как арсенид галлия (GaAs), нитрид галлия (GaN) и карбид кремния (SiC). Производство MEMS и датчиков: обработка пластин с микромеханическими структурами или чувствительных к давлению.

**Дополнительная информация об оборудовании и закупках**

**Дополнительное оборудование:** Будучи «полуавтоматической» системой, STK-7080 требует ручной загрузки и выгрузки; следовательно, она часто интегрируется с оборудованием для очистки пластин на предыдущем этапе и полностью автоматическими шлифовальными и нарезными машинами на последующем этапе.

**Краткое содержание**

В целом, SINTAIKE STK-7080 — это технологически продвинутый полуавтоматический ламинатор для пластин. Его главное конкурентное преимущество заключается в уникальной бесконтактной вакуумной технологии ламинирования, которая специально решает — и успешно решает — критическую проблему повреждения материала, часто возникающую в процессе ламинирования сверхтонких пластин и сложных полупроводников. Если ваше производство связано с такими дорогостоящими и хрупкими материалами, STK-7080 представляет собой зрелое и надежное решение, заслуживающее вашего внимания.