एएसएम इत्यस्य अमिक्रा नानो इति शीर्ष-रेखा, अति-उच्च-सटीकतायुक्तः फ्लिप्-चिप्-बन्धकः अस्ति । वस्तुतः, एतत् केवलं सरलं फ्लिप्-चिप्-बन्धकं न, अपितु एकं यन्त्रं यत् डाई-बन्धन-फ्लिप-चिप्-बन्धन-कार्ययोः संयोजनं करोति, विविध-बन्धन-प्रक्रियाः लचीलेन नियन्त्रयति
AMICRA NANO मूल विशेषताएँ तथा तकनीकी विनिर्देश
विशेषताः विस्तृतं विवरणम्
उपकरण प्रकार: अति-सटीक मरने बन्धक / फ्लिप चिप बन्धक
कोर सटीकता: प्लेसमेंट/संरेखण सटीकता: ±0.2 μm @ 3σ
बन्धनविधयः : संकरबन्धनम्, यूटेक्टिकबन्धन, लेजरबन्धन, थर्मोस्टेटिकबन्धन (TCB), यूवी क्यूरिङ्ग
बन्धन दबावपरिधिः 0.1 N तः 20 N (लगभग 10g तः 2kg)
चिप् आकारः : अत्यन्तं लघु चिप्स् सम्पादयति, यथा, 0.1mm x 0.1mm
सब्सट्रेटस्य आकारः : 300mm x 300mm पर्यन्तं सब्सट्रेटं सम्पादयति
उत्पादन दर (UPH): लगभग। प्रतिघण्टां २००-४०० चिप्स्
प्रचालनतन्त्रम् : विण्डोज इन्टरफेस्
उपकरणस्य परिमाणम् : पदचिह्नमात्रं २.२३ x १.० मी (लगभग ७.३ x ३.३ फीट्)
प्रक्रियावातावरणं HEPA-छिद्रकैः आयनजनरेटरेण च सुसज्जितं, उच्चशुद्धतायुक्तं स्वच्छकक्षवातावरणं सुनिश्चितं करोति ।
अधिकानि तान्त्रिकविवरणानि तथा समानप्रतिमानैः सह तुलना
सिद्धान्त
AMICRA NANO इत्यस्य अत्यन्तं सटीकता तस्य अद्वितीयस्य डिजाइनात् उद्भूतम् अस्ति: चत्वारि उच्च-संकल्प-प्रतिबिम्ब-प्रणाल्याः प्राकृतिक-ग्रेनाइट्-आधारे नियताः सन्ति, अन्ये गति-नियन्त्रण-प्रणाल्याः तु एतेषु नियत-कैमरेषु परितः गच्छन्ति सक्रियकम्पननिरोधः गतिशीलसंरेखणप्रणाल्याः च सह मिलित्वा एतेन सटीकस्थापनं सुनिश्चितं भवति ।
अनुप्रयोग क्षेत्र
अत्यन्तं उच्चसटीकता-आवश्यकताभिः सह उन्नतपैकेजिंग-अनुप्रयोगानाम् कृते डिजाइनं कृतम् अस्ति, विशेषतः सिलिकॉन-फोटॉनिक्स, ऑप्टिकल-उपकरण-पैकेजिंग्, चिप्-टू-वेफर, 2.5D/3D IC एकीकरणे च उत्कृष्टतां प्राप्नोति
प्रक्रिया लाभ
अत्यन्तं उच्चस्थापनसटीकतायाः अतिरिक्तं, AMICRA NANO उच्चगतियुक्तानां AuSn यूटेक्टिकबन्धनप्रक्रियाणां समर्थनं अपि करोति तथा च स्थाने एव यूटेक्टिकबन्धनक्षमताः सन्ति, येन प्रभावीरूपेण थ्रूपुट् तथा संयोजनगुणवत्तायां सुधारः भवति
अन्य व्युत्पन्न प्रतिरूप
NANO इत्यस्य अतिरिक्तं ASMPT AMICRA इति श्रृङ्खलायां निम्नलिखितम् अपि अन्तर्भवन्ति :
NOVA Pro: ±1.0 μm सटीकतायां फ्लिप्-चिप्-बन्धनस्य समर्थनं अपि करोति, येन गतिः सटीकता च मध्ये संतुलनं प्राप्यते ।
एएफसी प्लस्: इदं ±1.5 μm सटीकतायुक्तं सामान्य-उद्देश्य-डाय-बॉण्डर अस्ति, यत् उच्च-अन्त-नानो-श्रृङ्खलायाः पूरकत्वेन डिजाइनं कृतम् अस्ति ।
सारांशेन, ASM AMICRA NANO अत्यन्तं आग्रही पैकेजिंग आवश्यकतानां पूर्तये डिजाइनं कृतम् अस्ति। दक्षतां प्राथमिकताम् अददात् उपकरणानां विपरीतम्, एतत् ±0.2 μm इत्यस्य अत्यन्तं सटीकताम् प्राप्तुं केन्द्रीक्रियते, सिलिकॉन-फोटॉनिक्स्, एआइ-गणना इत्यादिषु अत्याधुनिकक्षेत्रेषु अनुसंधान-विकासस्य उच्च-मिश्रणस्य, न्यून-मात्रायाः उन्नत-उत्पादनस्य च सेवां करोति





