Montér polovodičových doštičiek Nitto DR3000III

Toto je podrobný úvod do systému NEL SYSTEM™ DR3000III od spoločnosti Nitto Denko. Ide o plne automatizovaný stroj na nanášanie ochranných pások na doštičky, ktorý zohráva kľúčovú úlohu vo výrobe polovodičov.

Základná konfigurácia a technické špecifikácie

Hlavné technické špecifikácie DR3000III sú nasledovné:

Špecifikácie/parametre položky

Typ zariadenia: Plne automatizovaný aplikátor ochrannej pásky pre 300 mm doštičky

Použiteľná veľkosť doštičky: 300 mm (12 palcov) / 200 mm (8 palcov)

Použiteľná hrúbka doštičky: 400 μm alebo hrubšia

Priepustnosť: 68 doštičiek/hodinu

Technológia aplikácie pásky: Integrovaný mechanizmus riadenia aplikácie bez napätia

Kompatibilné normy: Spĺňa označenie CE a špecifikácie SEMI S2/S8

Upozornenie: Vyššie uvedené špecifikácie sa môžu zmeniť v závislosti od typu doštičky, pásky a iných podmienok a môžu zahŕňať aj voliteľné funkcie.

Kľúčové vlastnosti a výhody

Výkonné vlastnosti modelu DR3000III ho odlišujú v oblasti presnej výroby:

Technológia aplikácie bez napätia: Toto je jedna z jej hlavných technologických výhod. Minimalizácia napätia pásky pred lamináciou účinne kontroluje deformáciu doštičiek po brúsení zadnej strany, čo je kľúčové pre manipuláciu s veľkými, ultratenkými doštičkami.

Riadenie laminácie s nízkym napätím: Zariadenie sa vyznačuje nízkonapäťovým lepením a reguláciou adhézneho napätia, čo výrazne znižuje riziko poškodenia vzoru doštičky počas laminácie.

Kompatibilita s doštičkami: Hoci je navrhnutý pre 300 mm doštičky, je spätne kompatibilný s 200 mm doštičkami a podporuje špeciálne procesy s voliteľnými funkciami, ako je vyhrievaný upínací stôl (max. 100 °C) a vyhrievané valce (max. 60 °C). Okrem toho efektívne zvláda hrboľaté doštičky a doštičky s určitým stupňom deformácie.

Vysoká automatizácia a inteligencia: Zariadenie je vybavené:

Automatizovaná manipulácia s materiálom: Podporuje kazety s otváraním spredu (FOUP) / otvorené kazety so zabudovaným robotickým ramenom pre plne automatizované nakladanie a vykladanie.

Presné zarovnanie: Používa bezkontaktný systém zarovnania CCD na zabezpečenie presnosti laminácie.

Inteligentné monitorovanie: Vybavené funkciou protokolovania pre sledovanie údajov; detekcia previsnutej pásky zabraňuje poruchám. Voliteľný skener mapovania doštičiek umožňuje automatickú kontrolu prichádzajúceho materiálu.

V súlade s vysokými priemyselnými štandardmi: Zariadenie spĺňa bezpečnostné a environmentálne normy SEMI S2/S8 a je k dispozícii s voliteľnými komunikačnými protokolmi SECS/GEM pre bezproblémovú integráciu do moderných systémov automatizácie výroby polovodičov.

Používateľsky prívetivé ovládanie: Veľká dotyková obrazovka v kombinácii s funkciou receptov robí ovládanie jednoduchým a intuitívnym. Používatelia si musia vyvolať iba recept pre príslušný produkt a automaticky dokončia všetky nastavenia parametrov.

Princíp fungovania: Pred procesom brúsenia na zadnej strane DR3000III presne prilepí ochrannú pásku na vzorovanú stranu doštičky bez napätia, aby sa zabránilo mechanickému poškodeniu alebo chemickej kontaminácii prednej strany doštičky počas následného vysokorýchlostného brúsenia.

Oblasti použitia: DR3000III sa používa predovšetkým v nasledujúcich kľúčových oblastiach:

Výroba polovodičov: Logické čipy a pamäťové čipy (DRAM, NAND Flash atď.): Ochrana jemnej štruktúry obvodov na prednej strane doštičky v pokročilých procesoch. Pokročilé balenie: Poskytuje ochranu doštičky počas čoraz väčších procesov balenia na úrovni doštičky s veľkosťou 300 mm (Fan-In WLP, Fan-Out WLP atď.).

MEMS a senzory: Chráni mikromechanické štruktúry a oblasti senzorov počas procesov stenčovania zadnej strany.

Výkonové polovodičové zariadenia: Spracováva doštičky pre výkonové zariadenia, ako sú IGBT a MOSFET, čím znižuje odpor v zapnutom stave a zlepšuje odvod tepla prostredníctvom stenčovania.

Spolupráca s inými zariadeniami: Na linkách na balenie polovodičov DR3000III zvyčajne pracuje v spojení s nasledujúcimi zariadeniami:

Spolupráca so zariadením na nanášanie fólie: Funguje v spojení so zariadením na odstraňovanie pásky Nitto NEL-MA3000-III pred a po procese riedenia. DR3000III najskôr nanesie ochrannú pásku, aby chránila doštičku pred poškodením počas riedenia; po riedení NEL-MA3000-III presne odstráni ochrannú pásku, čím zabezpečí integritu a bezpečnosť ultratenkej doštičky počas celého procesu.

Spolupráca s leštiacim zariadením: Úzka spolupráca s leštiacimi strojmi ako ochranný krok. Po tom, čo sú doštičky potiahnuté ochrannými filmami zariadením DR3000III, sú následne privádzané do brúsky na stenčovanie zadnej strany, čím sa spoľahlivo zaisťuje bezpečnosť a stabilita procesu brúsenia.

Celkovo je Nitto DR3000III vysoko špecializovaný, automatizovaný a vysoko výkonný systém na ochranu doštičiek. Vďaka technológii laminácie filmu bez napätia efektívne rieši bežné problémy s deformáciou a odštiepením, ktoré sa vyskytujú pri veľkých doštičkách počas procesu stenčovania zadnej strany. Zohráva kľúčovú úlohu v polovodičovom priemysle a slúži ako kritické zariadenie na zabezpečenie výťažnosti a spoľahlivosti pokročilej výroby čipov. Pre cenové ponuky alebo technické otázky kontaktujte priamo oficiálnych zástupcov alebo autorizovaných distribútorov spoločnosti Nitto v Číne.