Kisafishaji cha wafer cha skrini SU-3200

SCREEN SU-3200 ni mfumo muhimu wa kusafisha wafer moja wa 300mm katika tasnia ya utengenezaji wa nusu-semiconductor. Kwa utendakazi wake bora na teknolojia inayoongoza ya usafi, ilitumika kama mfumo mkuu wa SCREEN kwa muda mrefu, ikisaidia utengenezaji wa chipu za mantiki na kumbukumbu kutoka 32nm hadi 7nm na nodi za hali ya juu zaidi, ikichukua jukumu muhimu katika soko la vifaa vya kusafisha.

Muhtasari wa Uwekaji wa Kiini na Teknolojia: Uwekaji wa kiini cha SU-3200 ni kuongeza kwa kiasi kikubwa uwezo wa kusafisha kwa kaki moja huku ukidumisha usafi wa hali ya juu sana, kukidhi mahitaji ya ufanisi mkubwa wa michakato ya hali ya juu.

Ubunifu wa Utendaji wa Juu: Kupitia usanifu bunifu wa safu nne zilizopangwa, mfumo mmoja unaweza kusanidiwa na hadi vyumba 12 vya mchakato huru, na kufikia uwezo wa usindikaji wa hadi wafer 800 kwa saa (WPH), ambao ulikuwa unaongoza duniani miongoni mwa mifumo ya kusafisha wafer moja wakati huo.

Mazingira ya Mchakato Safi Sana: Ili kukidhi mahitaji magumu ya nodi za 22nm na za hali ya juu zaidi, SU-3200 ina teknolojia ya SCREEN ya APAC (Advanced Process Atmosphere Control). Kwa kuboresha mazingira ya chumba katika vipimo vingi, inahakikisha usafi wa hali ya juu wa mchakato wa kusafisha.

Maelezo Muhimu ya Kiufundi: Ili kufikia malengo mawili ya utendaji na usafi, SU-3200 hutumia mfululizo wa miundo bunifu, iliyoelezwa katika jedwali hapa chini:

Kipimo cha Teknolojia | Jina la Teknolojia | Kazi Kuu na Mbinu ya Utekelezaji

Uboreshaji wa Uwezo wa Ufanisi | Chumba Kidogo | Hupunguza ujazo wa chumba kimoja cha mchakato hadi nusu ya kile kilichotangulia, na hivyo kuwezesha kusambaza vyumba zaidi ndani ya nafasi moja, na hivyo kuongeza upitishaji kwa kila eneo la kitengo.

Mfumo wa Uhamisho wa Kasi ya Juu | Huboresha mantiki ya uhamisho na kasi ya wafers kati ya vyumba, msaada muhimu wa kufikia kiwango cha juu cha wafers 800 kwa saa (WPH).

Uhakikisho wa Usafi | Teknolojia ya APAC | Teknolojia ya chumba safi sana ni neno la pamoja la mfululizo wa teknolojia. Teknolojia zake ndogo ndogo ni pamoja na:

Chumba Kidogo cha AMC: Kupunguza ujazo wa ndani wa chumba hadi theluthi moja ya mtangulizi wake, kuwezesha uingizwaji wa gesi haraka na kuboresha usafi wa mazingira kwa ufanisi.

Kizuizi cha Kusawazisha Mtiririko wa Hewa cha ABG: Hutumika kusawazisha mtiririko safi wa hewa unaopeperushwa na kichujio cha chembe chembe chenye ufanisi wa hali ya juu (FFU), kuzuia miendo au maeneo yaliyokufa ndani ya chumba na kuhakikisha kuondolewa kwa chembe chembe kwa ufanisi.

Ulinzi wa Kina wa ASP wa Kunyunyizia: Kupitia muundo sahihi, kupunguza unyunyiziaji wa kemikali wakati wa kunyunyizia kemikali, kuhakikisha mazingira safi ya usindikaji wa wafer.

Kifaa cha Kuzuia Hewa cha APN: Kutumia "pazia la hewa" wakati wa hatua ya kukausha ili kulinda uso wa wafer na kuzuia madoa ya maji yanayosababishwa na mabaki ya uvukizi wa kioevu.

Ugavi wa Kemikali Unaonyumbulika: Vyanzo vya kemikali vinaweza kupangwa kwa njia inayonyumbulika. Mifumo yote miwili ya Dynamic Direct Injection (DDI) na aina ya kabati inapatikana, hivyo kuruhusu wateja kuchagua kwa njia inayonyumbulika kulingana na mahitaji maalum ya mchakato.

Urahisi wa Matengenezo: Muundo wa kuvuta nje: Chumba cha mchakato kinaweza kutolewa kama droo kwa ajili ya kusafisha kwa urahisi, kubadilisha vipengele, na kazi zingine za matengenezo, na hivyo kupunguza kwa ufanisi muda wa kutofanya kazi kwa vifaa. Maeneo ya Matumizi: Kuanzia Utafiti na Maendeleo ya Kisasa hadi Uzalishaji Mzima

SU-3200 ina matumizi mbalimbali, ikijumuisha hatua nyingi muhimu za utengenezaji wa nusu-semiconductor.

Chipu za Mantiki na Kumbukumbu za Kina: SU-3200 hutumika katika utafiti na maendeleo na utengenezaji wa chipu, ikiwa ni pamoja na 7nm na nodi za kipana zaidi, katika michakato ya mbele (FEOL) na nyuma (BEOL).

Nyenzo na Michakato Muhimu ya Semiconductor: Miongoni mwa michakato mingi inayounga mkono ni kusafisha vifaa vya semiconductor vya kizazi cha tatu kama vile SiC (Silicon Carbide) na GaN (Gallium Nitride).

Utafiti wa Kina na Ushirikiano wa Mfumo Ekolojia: Utendaji mzuri wa SU-3200 unaifanya kuwa chaguo la taasisi zinazoongoza za utafiti na maendeleo duniani kote. Kwa mfano, IBM imetekeleza SU-3200 katika kituo chake cha utafiti cha nusu-semiconductor huko Albany, New York. Zaidi ya hayo, SCREEN imeshirikiana na Applied Materials, ikisakinisha SU-3200 katika Kituo chake cha META kwa ajili ya kutengeneza michakato ya hali ya juu zaidi ya chipu.

Nafasi ya Soko na Michango ya Kihistoria

SU-3200 si bidhaa iliyofanikiwa tu bali pia ni jambo muhimu katika kuanzisha nafasi ya uongozi wa soko la SCREEN.

Utawala wa Soko: Kufuatia mafanikio ya SU-3200, SCREEN iliimarisha zaidi nafasi yake ya kuongoza katika uwanja wa vifaa vya kusafisha. Kulingana na data rasmi ya SCREEN, kufikia Julai 2025, usafirishaji wake wa jumla wa vifaa vya kusafisha vya nusu-semiconductor ulizidi vitengo 15,000, ukishikilia nambari moja ya soko la kimataifa katika sehemu nyingi ikijumuisha kusafisha kwa kaki moja, kusafisha kwa kundi, na kusafisha kwa mzunguko.

Nguzo ya Mapato: Kwa muda mrefu, SU-3200 ilikuwa bidhaa bora ya SCREEN, na mapato ya biashara ya vifaa vya kusafisha yalitegemea sana modeli hii.