திங்க்லேசர் HM300 வேஃபர் லேசர் குறியிடும் இயந்திரம்

திங்க்லேசர் HM300 என்பது ஒரு முழுமையான தானியங்கி "ஹார்ட் மார்க்கிங்" லேசர் குறியிடும் இயந்திரமாகும். இது குறைக்கடத்தி வேஃபர் உற்பத்திச் செயல்முறையில் உள்ளார்ந்ததாக இருக்கும் "ஹார்ட் மார்க்கிங்" எனப்படும் கடுமையான ஆழக் குறியிடும் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதற்காகவே பிரத்யேகமாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இதன் முக்கிய மதிப்பு, நிரல்படுத்தக்கூடிய ஆழக் கட்டுப்பாட்டுச் செயல்பாட்டின் மூலம் வேஃபர்களில் நிரந்தர அடையாளக் குறியீடுகளைப் பொறிக்கும் திறனில் அடங்கியுள்ளது; இந்தக் குறியீடுகள், அதைத் தொடர்ந்து வரும் உயர்-தீவிர உற்பத்திச் செயல்முறைகளால் உருவாக்கப்படும் உராய்வு அழுத்தங்களைத் தாங்கும் அளவுக்கு வலிமையானவை. இதன்மூலம், சிப் உருவாக்கம் மற்றும் பேக்கேஜிங் முதல் இறுதிச் சோதனை வரை அதன் முழு ஆயுட்காலம் முழுவதும் முழுமையான தயாரிப்புத் தடமறிதலை இது உறுதி செய்கிறது.

**முக்கிய தொழில்நுட்பங்கள் மற்றும் முக்கிய விவரக்குறிப்புகள்**

HM300-இன் தொழில்நுட்ப மையமானது ஆழம், துல்லியம் மற்றும் தானியக்கம் ஆகிய மூன்று அடிப்படைக் கூறுகளைச் சுற்றி அமைந்துள்ளது. அதன் குறிப்பிட்ட தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகள் பின்வருமாறு:

பொருள் | விவரக்குறிப்பு / விளக்கம்

**உபகரண வகை** | முழுமையாக தானியங்கி கடின அடையாளமிடும் லேசர் அடையாளமிடும் அமைப்பு

**குறிப்பிட்ட பயன்பாடு** | செமிகண்டக்டர் வேஃபரில் கடினக் குறியிடுவதற்காக பிரத்யேகமாக வடிவமைக்கப்பட்டது, இது SEMI தரநிலைகளின் தொடர்புடைய தேவைகளுக்கு இணங்குகிறது.

**முக்கிய செயல்பாடு** | நிரல்படுத்தக்கூடிய ஆழக் கட்டுப்பாடு: சரிசெய்யக்கூடிய குறியிடும் ஆழம், அதிகபட்சமாக 110 மைக்ரான் (µm) ஆழம் வரை அடையலாம், இதன் ஆழத் துல்லியம் ±10% ஆகும்.

**முக்கிய தொழில்நுட்பம்** | டூயல்-ஸ்பாட் ஆப்டிக்ஸ்™: இது இரட்டைக் கற்றை ஒளியியல் வடிவமைப்பைக் கொண்டுள்ளது. இதன் மூலம், ஒரே அமைப்பிற்குள் இரண்டு வெவ்வேறு லேசர் புள்ளி அளவுகளுக்கு (50 µm முதல் 110 µm வரை) இடையில் மென்பொருள் மூலம் கட்டுப்படுத்தப்படும் வகையில் மாற முடியும்.

**அமைப்பு கண்காணிப்பு** | விரிவான அமைப்பு கண்காணிப்பு: அனைத்து லேசர் செயல்திறன் தரவுகளையும் துல்லியமாகப் பதிவு செய்கிறது.

**தானியங்குமயமாக்கல் இடைமுகம்** | தொழிற்சாலை தானியங்குமயமாக்கல் நிர்வாகத்தை எளிதாக்க SECS II/GEM இடைமுகங்களை ஆதரிக்கிறது

**வேஃபர் இணக்கத்தன்மை** | 100மிமீ முதல் 200மிமீ வரையிலான வேஃபர் அளவுகளை ஆதரிக்கிறது (விருப்பத்திற்கேற்ப 300மிமீ/310மிமீ பேனல்களுக்கான ஆதரவும் உண்டு; இதன் சாத்தியக்கூறு தற்போதுள்ள தரவுகளின் மூலம் உறுதி செய்யப்பட்டுள்ளது)

செயல்பாடுகள், நன்மைகள் மற்றும் அம்சங்கள்

மேம்பட்ட தொழில்நுட்பங்களின் தொகுப்பைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், HM300 ஆனது வேஃபர் குறியிடுதல் துறையில் உள்ள முக்கிய சவால்களைத் திறம்படத் தீர்க்கிறது:

**கடுமையான செயல்முறைகளுக்கான "கடினமான குறியிடும்" திறன்:** "மென்மையான குறியிடுதல்" போலல்லாமல், HM300-இன் "கடினமான குறியிடும்" திறன் போதுமான ஆழமுள்ள குறியீடுகளை உருவாக்குகிறது. இது, உயர்-வெப்பநிலை சிகிச்சை, இரசாயன சுத்தம் செய்தல் மற்றும் இயந்திர அரைத்தல் போன்ற அடுத்தடுத்த உயர்-தீவிர செயல்முறைகளின் போதும், குறியீடுகள் சிதைவு அல்லது தேய்மானம் இல்லாமல் அப்படியே இருப்பதை உறுதிசெய்கிறது, இதன் மூலம் முழுமையான செயல்முறை தடமறிதலைப் பராமரிக்கிறது. **உயர் துல்லியம் மற்றும் நெகிழ்வுத்தன்மை:**

**கட்டுப்படுத்தக்கூடிய ஆழம்:** நிரல்படுத்தக்கூடிய ஆழக் கட்டுப்பாட்டுச் செயல்பாடு (±10% வரையிலான துல்லியம் மற்றும் 110 µm வரையிலான ஆழ வரம்பை வழங்குகிறது) வாடிக்கையாளர்களுக்குக் குறியிடும் ஆழத்தைத் துல்லியமாகச் சரிசெய்ய உதவுகிறது, இதன்மூலம் குறிப்பிட்ட செயல்முறைத் தேவைகளுடன் அது கச்சிதமாகப் பொருந்துவதை உறுதி செய்கிறது. **சரிசெய்யக்கூடிய புள்ளி அளவு:** இதன் காப்புரிமை பெற்ற Dual-Spot Optics™ தொழில்நுட்பமானது, எந்தவொரு வன்பொருள் மாற்றங்களும் தேவையின்றி, இரண்டு லேசர் புள்ளி அளவுகளுக்கு (50 µm மற்றும் 110 µm) இடையில் மென்பொருள் மூலம் கட்டுப்படுத்தப்படும் மாற்றத்தைச் செயல்படுத்துகிறது, இதன்மூலம் பல்வேறு வகையான குறியிடும் பொருட்கள் மற்றும் குறிப்பிட்ட அழகியல் தேவைகளுக்கு இடமளிக்கிறது.

தானியக்கம் மற்றும் அறிவார்ந்த மேலாண்மை:

முழுமையான தானியங்கி செயல்பாடு: இது உபகரணங்களை முழுமையாகத் தானியங்கி முறையில் இயக்கும் திறனை அளிப்பதால், மனிதத் தலையீடு குறைந்து, பிழைகள் ஏற்படுவதற்கான வாய்ப்புகளும் குறைகின்றன.

**SECS/GEM நெறிமுறை ஆதரவு:** தொழில்துறை தரநிலை தானியக்க நெறிமுறைகளை (SECS II/GEM) ஆதரிப்பதால், நவீன குறைக்கடத்தி ஆலைகளின் உற்பத்திச் செயலாக்க அமைப்புகளில் (MES) தடையின்றி ஒருங்கிணைத்து, நிகழ்நேர உபகரண நிலை கண்காணிப்பு மற்றும் செயல்முறை அளவுருக்களின் தொலைநிலை நிர்வாகத்தை செயல்படுத்த முடிகிறது.

**விரிவான தரவுப் பதிவு:** இந்த அமைப்பு அனைத்து லேசர் செயல்திறன் தரவுகளையும் துல்லியமாகப் பதிவுசெய்து, செயல்முறைப் பகுப்பாய்வு மற்றும் தரக் கண்டறிதலுக்கு ஒரு உறுதியான அடித்தளத்தை வழங்குகிறது.

பரந்த பொருள் மற்றும் செயல்முறை இணக்கத்தன்மை:

கூட்டு குறைக்கடத்திகள், மேம்பட்ட செயல்முறை முனைகள் மற்றும் மேம்பட்ட பேக்கேஜிங் ஆகிய துறைகளில் பணிபுரியும் வாடிக்கையாளர்களுக்காக பிரத்யேகமாக வடிவமைக்கப்பட்ட இந்த அமைப்பு, SiC, GaN மற்றும் GaAs போன்ற அடுத்த தலைமுறை குறைக்கடத்திப் பொருட்களுடன் தொடர்புடைய சந்தைப்படுத்தல் சவால்களைத் திறம்பட எதிர்கொள்கிறது.

இதன் வடிவமைப்புத் தத்துவம், அடிப்படை குறியிடும் பணிகளுக்கு அப்பாற்பட்டது; இது குறிப்பிட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதற்காக, தனித்துவமான வேஃபர் பொருட்கள் மற்றும் பரிமாணங்களுக்கு ஏற்ப தனிப்பயனாக்கப்பட்ட மதிப்பீடுகள் மற்றும் மேம்படுத்தல்களை மேற்கொள்ளும் திறன் கொண்ட ஒரு "விரிவான வேஃபர் குறியிடும் தீர்வாக" நிலைநிறுத்தப்பட்டுள்ளது.

**பயன்பாட்டுத் துறைகள்**

HM300 என்பது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி மற்றும் மேம்பட்ட பேக்கேஜிங் ஆகிய துறைகளில் ஒரு முக்கியமான உபகரணமாகும், இது முதன்மையாக பின்வரும் பகுதிகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது:

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி (முன்பகுதி மற்றும் பின்பகுதி): சிலிக்கான், SiC, மற்றும் GaN உள்ளிட்ட அடி மூலக்கூறு தகடுகளுக்கு உயர் நம்பகத்தன்மை கொண்ட நிரந்தர அடையாளங்காட்டிகளை வழங்குகிறது. இதன் மூலம், உற்பத்தி ஆலைகள் (Fabs) மற்றும் ஒருங்கிணைப்பு/சோதனை வசதிகளுக்குள் தானியங்கு வரிசை மேலாண்மை மற்றும் தரக் கண்டறியும் திறனை ஆதரிக்கிறது.

**மேம்பட்ட பேக்கேஜிங்:** வேஃபர்-லெவல் பேக்கேஜிங் (WLP) மற்றும் பேனல்-லெவல் பேக்கேஜிங் (PLP) செயல்முறைகளுக்குள், மறுசீரமைக்கப்பட்ட வேஃபர்கள் அல்லது பேனல்களுக்கு நம்பகமான குறியிடலை வழங்குகிறது.

மற்ற திங்க்லேசர் தயாரிப்புகளுடனான ஒருங்கிணைப்பு

திங்க்லேசர், வேஃபர் குறியிடும் தீர்வுகளின் ஒரு விரிவான தொகுப்பை வழங்குகிறது, அதில் HM300 ஒரு முக்கியப் பங்கை வகிக்கிறது:

**மென் குறியிடும் உபகரணங்களுடன் ஒருங்கிணைந்த செயல்பாடு:** ஒரே உற்பத்தி வரிசையில், HM300 ஆனது ThinkLaser-இன் SC300 (300mm வேஃபர்களுக்கான ஒரு மென் குறியிடும் அமைப்பு) அல்லது SigmaClean (100–200mm வேஃபர்களுக்கான ஒரு மென் குறியிடும் அமைப்பு) உடன் இணைந்து செயல்பட முடியும். உற்பத்தியாளர்கள், குறிப்பிட்ட செயல்முறை முனைகள் அல்லது வாடிக்கையாளர் தேவைகளின் அடிப்படையில் மிகவும் பொருத்தமான குறியிடும் தொழில்நுட்பத்தை நெகிழ்வாகத் தேர்ந்தெடுக்கலாம்.

**சுருக்கம்**

சுருக்கமாக, திங்க்லேசர் HM300 என்பது, மிகவும் கடுமையான தொழில் தரநிலைகளைப் பூர்த்தி செய்யும் வகையில், ஆழம் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட, நிரந்தரமான வேஃபர் குறியிடலை வழங்குவதற்காக அடிப்படையாக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு சிறப்பு வாய்ந்த, தொழில்துறை தர அமைப்பு ஆகும். அதன் நிரல்படுத்தக்கூடிய ஆழக் கட்டுப்பாடு, இரட்டைக் கற்றைத் தொழில்நுட்பம் மற்றும் மேம்பட்ட தானியங்குத் திறன்கள் மூலம், அதிகத் தீவிரம் கொண்ட செயல்முறைச் சங்கிலிகள் முழுவதும் தயாரிப்புத் தடமறிதலைப் பராமரிப்பதில் குறைக்கடத்தித் துறையில் உள்ள முக்கியமான சவாலை இது திறம்படத் தீர்க்கிறது; உயர்தர வேஃபர் உற்பத்தி மற்றும் பேக்கேஜிங் வரிசைகளில் இது ஒரு முக்கிய உபகரணமாகத் திகழ்கிறது. இதை உருவாக்கிய திங்க்லேசர் நிறுவனம், இத்துறையில் 80 ஆண்டுகளுக்கும் மேலான கூட்டுக்குழு அனுபவத்தைக் கொண்டுள்ளதுடன், அமெரிக்காவில் ஏறக்குறைய 80% சந்தைப் பங்கையும் கொண்டுள்ளது.