திங்க்லேசர் சிக்மாக்ளீன் வேஃபர் லேசர் குறியிடும் இயந்திரம்

திங்க்லேசர் சிக்மாக்ளீன் என்பது 100 மிமீ முதல் 200 மிமீ வரையிலான வேஃபர்களுக்காக பிரத்யேகமாக வடிவமைக்கப்பட்ட, வகுப்பு 1 தூய்மை அறைத் தரநிலைகளுக்கு முழுமையாக இணக்கமான ஒரு முழுமையான தானியங்கி "மென்-குறியிடும்" லேசர் குறியிடும் அமைப்பாகும். இதன் முக்கிய நோக்கம், காப்புரிமை பெற்ற லேசர் தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தி, துகள் மாசுபாட்டை உருவாக்காமல், குறைக்கடத்தி வேஃபர்களுக்குத் திறமையான, நீடித்த மற்றும் மிகவும் தெளிவாகப் படிக்கக்கூடிய குறியீடுகளை வழங்குவதாகும். இதன் மூலம், வேஃபரின் முழு ஆயுட்காலம் முழுவதும் தானியங்கி தடமறிதலை இது சாத்தியமாக்குகிறது.

தொழில்நுட்பக் கோட்பாடுகள்

சிக்மாக்ளீனின் முக்கிய பலங்கள், அதன் மூல-கட்டுப்பாட்டு சுத்திகரிப்பு தொழில்நுட்பத்திலும், நிலையான மற்றும் துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்ட வன்பொருள் வடிவமைப்பிலும் அடங்கியுள்ளன.

**காப்புரிமை பெற்ற சூப்பர்சாஃப்ட்மார்க்® தொழில்நுட்பம்:** இதுவே சிக்மாக்ளீனை மற்ற உபகரணங்களிலிருந்து வேறுபடுத்திக் காட்டும் முக்கிய அம்சமாகும். லேசர் ஆற்றலைத் துல்லியமாகக் கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம், இது உண்மையான "குப்பைகளற்ற" குறியிடுதலைச் சாத்தியமாக்குகிறது. இந்த அம்சம் துகள் மாசுபாட்டின் அபாயத்தை அடியோடு நீக்குகிறது. இதனால், தூய்மைக்கான தேவைகள் மிகவும் கடுமையாக உள்ள உற்பத்தி வரிசையின் முன்பகுதி (FEOL) சூழல்களில் இந்த அமைப்பைப் பாதுகாப்பாகப் பயன்படுத்த முடிகிறது.

**மிகவும் நிலையான டையோடு-பம்ப்டு திட-நிலை லேசர்:** இந்த அமைப்பு, துடிப்புக்குத் துடிப்பு விதிவிலக்கான நிலைத்தன்மையைக் கொண்ட ஒரு காப்புரிமை பெற்ற டையோடு-பம்ப்டு திட-நிலை லேசரைப் பயன்படுத்துகிறது. இது குறிக்கப்பட்ட ஒவ்வொரு புள்ளியின் ஆழம் மற்றும் வட்ட வடிவத்தில் உயர் அளவிலான நிலைத்தன்மையை உறுதிசெய்கிறது, இதன் மூலம் குறிக்கும் தரத்தின் நிலைத்தன்மை மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் செய்யும் தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

**வலுவான ஒளியியல் மற்றும் தானியங்கு அமைப்புகள்:** இந்த முழு இயந்திரமும் முற்றிலும் தானியங்கு வடிவமைப்பைக் கொண்டுள்ளது, SECS II/GEM தொழிற்சாலை தானியங்குத் தொடர்பு நெறிமுறைகளை ஆதரிக்கிறது, மேலும் SMIF (தரநிலை இயந்திர இடைமுகம்) வேஃபர் பாட்கள் போன்ற பிரதான தானியங்கு வேஃபர் கையாளும் அமைப்புகளுடன் தடையின்றி ஒருங்கிணைக்கிறது.

**முக்கிய நன்மைகள் மற்றும் அம்சங்கள்**

சிக்மாக்ளீனின் நன்மைகள், அதன் மேம்பட்ட குறியிடும் திறன்களையும் தாண்டி, அது வேஃபர் உற்பத்தி ஆலைகளுக்கு வழங்கும் உறுதியான மதிப்பு வரையிலும் நீள்கின்றன.

**ஒப்பிடமுடியாத தூய்மை:** வகுப்பு 1 (சர்வதேச தரநிலை ISO வகுப்பு 3) தூய்மை அறை இணக்கத் தேவைகளுக்கு இணங்குவதால், மிகவும் கடுமையான தூய்மையான சுற்றுச்சூழல் தரநிலைகளைக் கொண்ட முன்-முனை வேஃபர் உற்பத்தி ஆலைகளுக்கு (Fabs) இது விரும்பத்தக்க தேர்வாக அமைகிறது.

**அதிக உற்பத்தித்திறன் மற்றும் செலவுத் திறன்:** தூய்மையான அறைச் சூழல்களில் மெருகூட்டப்பட்ட வேஃபர்களில் குறியிடுவதற்காகப் பிரத்யேகமாக உருவாக்கப்பட்டு, தற்போது ஒரு தொழில்துறைத் தரநிலையாக உள்ள மென்-குறியிடும் செயல்முறையானது, மிகவும் செலவுத் திறன்மிக்க ஒரு தீர்வை வழங்குவதற்காக இந்த அமைப்பில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

**சீரான குறியிடும் தரம் மற்றும் தடமறியும் தன்மை:** லேசரின் சிறப்பான துடிப்பு நிலைத்தன்மையே, சீரான புள்ளி ஆழத்தையும் வட்ட வடிவத்தையும் அடைவதற்கான திறவுகோலாகும். இது, அடுத்தடுத்த இயந்திரப் பார்வை அமைப்புகளின் (ஒளியியல் எழுத்துணரி, OCR) அங்கீகார விகிதங்களை அதிகரிப்பதில் ஒரு முக்கிய காரணியாக விளங்குகிறது. அதே சமயம், இந்த அமைப்பு நிரந்தரமான, தெளிவாகப் படிக்கக்கூடிய குறியீடுகளை உருவாக்குகிறது. இது உற்பத்தியின் ஒவ்வொரு கட்டத்திலும் தடமறியும் தன்மையை வழங்குகிறது.

விரிவான பயன்பாட்டு நெகிழ்வுத்தன்மை: பல குறியீட்டுக் குழுக்களை வேஃபர் மேற்பரப்பில் எந்தத் திசையிலும் வைக்கலாம், மேலும் குறியிடும் இடங்கள் வேஃபர் விளிம்பிலிருந்து 25 மிமீ தொலைவிற்குள் உள்ள ஒரு வளைய வடிவப் பகுதிக்குள் கட்டுப்படுத்தப்பட்டுள்ளன.

விவரக்குறிப்புகள் மற்றும் செயல்பாடு/பராமரிப்பு

விவரக்குறிப்பு வகை | விரிவான அளவுருக்கள் மற்றும் விளக்கம்

உபகரண வகைப்பாடு | முழு தானியங்கி, ISO 3 / வகுப்பு 1 தூய்மை அறைக்கு ஏற்ற, 100–200 மிமீ வேஃபர் மென் குறியிடும் அமைப்பு

வேஃபர் அளவு | 100 மிமீ – 200 மிமீ (4–8 அங்குலம்) வரையிலான நிலையான ஆதரவு

லேசர் வகை | சிக்மா100 அகச்சிவப்பு டையோடு-இயக்க திட நிலை லேசர்

குறியிடும் தொழில்நுட்பம் | காப்புரிமை பெற்ற சூப்பர்சாஃப்ட்மார்க்® (குப்பைகள் இல்லாத மென்மையான குறியிடல்)

குறியிடும் இடம் | வேஃபர் விளிம்பில் உள்ள 25 மிமீ வளையப் பகுதிக்குள் எந்த திசையமைப்பும்

தொடர்பு இடைமுகம் | SECS II/GEM, அரைத் தரநிலை ஹோஸ்ட் இடைமுகம்

டிரான்ஸ்போர்ட்/கேசட் | 3 திறந்த கேசட் ஸ்டேஷன்கள்; விருப்பத்தேர்வான 200 மிமீ SMIF பாட் அடாப்டர்

விருப்ப அம்சங்கள் | OCR/பார்கோடு படித்தல் மற்றும் மறு குறியிடுதல்

மென்பொருள் அமைப்பு | விண்டோஸ்® அடிப்படையிலான பயனர் இடைமுகம்

இணக்கம் மற்றும் சான்றிதழ் | SEMI S2/S8, CE மற்றும் பிற தரநிலைகளுடன் இணக்கமானது

மின்சாரம் மற்றும் காற்று வழங்கல் | தரமான தொழில்துறை ஒற்றை-கட்ட 220V மின்சாரம் மற்றும் சுத்தமான அழுத்தப்பட்ட காற்று

எளிதான பராமரிப்பைக் கருத்தில் கொண்டும் சிக்மாக்ளீன் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது:

**பராமரிப்பு எளிமை:** இந்த அமைப்பின் வடிவமைப்பு, எளிமையான தினசரிப் பராமரிப்பிற்கு வழிவகுக்கிறது; லென்ஸைச் சுத்தம் செய்தல் போன்ற வழக்கமான சோதனைகளைச் சுமார் 5 நிமிடங்களில் செய்து முடிக்கலாம். மேலும், இந்த உபகரணத்தில் தானியங்கி தினசரி சுய-கண்டறியும் திறன்கள் உள்ளன, அத்துடன் கோளாறு ஏற்படும் பட்சத்தில் தெளிவான பராமரிப்பு நெறிமுறை வழிகாட்டுதலையும் வழங்குகிறது. இதன்மூலம், பயனரே திட்டமிட்டு மேற்கொள்ளும் பராமரிப்பை இது எளிதாக்குகிறது.

பாதுகாப்பு மற்றும் தூய்மை: இயந்திரத்தின் ஒட்டுமொத்த வடிவமைப்பு சர்வதேச பாதுகாப்புத் தரநிலைகளுக்கு (எ.கா., SEMI S2/S8, CE, போன்றவை) இணங்குகிறது. மேலும், இது ஒரு ஒருங்கிணைந்த தூசி அகற்றும் அமைப்பைக் கொண்டிருப்பதால், உற்பத்திச் சூழலின் பாதுகாப்பையும் சுகாதாரத்தையும் மேலும் உறுதி செய்கிறது.

முக்கிய செயல்பாடுகள் மற்றும் பயன்பாட்டுச் சூழல்கள்

**முன்-முனை வேஃபர் உற்பத்தி:** சிலிக்கான், SiC, மற்றும் GaAs போன்ற பொருட்களால் செய்யப்பட்ட, 100 மிமீ முதல் 200 மிமீ வரையிலான அளவிலான வேஃபர்களுக்கு ஏற்றது. உற்பத்தியின் ஆரம்ப கட்டங்களில் ஒரு தனித்துவமான அடையாளக்குறியைப் பொறிப்பதன் மூலம், இந்த அமைப்பு முழுமையான தரக் கண்டறிதல் மற்றும் புள்ளியியல் செயல்முறைக் கட்டுப்பாட்டை (SPC) செயல்படுத்துகிறது.

மேம்பட்ட பேக்கேஜிங்: வேஃபர்-லெவல் பேக்கேஜிங் (WLP) அல்லது மறுசீரமைக்கப்பட்ட வேஃபர் செயல்முறைகளில் முக்கியமான தடமறியும் அடையாளங்காட்டிகளை வழங்குகிறது.

ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாடு மற்றும் சிறு-தொகுதி உற்பத்தி: இதன் நெகிழ்வான, தானியங்கு வடிவமைப்பு, அதிகக் கலவை மற்றும் குறைந்த அளவு உற்பத்தி கொண்ட ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாடு மற்றும் முன்னோட்ட உற்பத்திச் சூழல்களுக்கு இதை மிகவும் பொருத்தமானதாக ஆக்குகிறது.

சுருக்கம் மற்றும் ஒப்பீடு

சுருக்கமாக, திங்க்லேசர் சிக்மாக்ளீன் என்பது தூய்மை, நிலைத்தன்மை மற்றும் தானியக்கம் ஆகியவற்றில் தொழில்துறையில் முன்னணித் தரங்களை அடையும் ஒரு கருவியாகும். அதன் காப்புரிமை பெற்ற சூப்பர்சாஃப்ட்மார்க்® தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், பாரம்பரிய குறியிடும் முறைகளுடன் அடிக்கடி தொடர்புடைய முக்கியப் பிரச்சனையான துகள் மாசுபாட்டை இது திறம்படத் தீர்க்கிறது. இதன் மூலம், 4 முதல் 8 அங்குல வேஃபர்களுக்கான "மென் குறியிடுதல்" துறையில் இது ஒரு தர அளவுகோலாகத் தன்னை நிலைநிறுத்துகிறது. தயாரிப்பு வரிசையில் அதன் நிலையை இன்னும் ஆழமாகப் புரிந்துகொள்ள, மற்றொரு மென் குறியிடும் சாதனமான SC300 உடனான பின்வரும் ஒப்பீட்டைப் பார்க்கவும்:

**சிறப்பம்சம்** | **சிக்மா கிளீன்** | **SC300**

**முதன்மை நிலைப்படுத்தல்** | 100–200 மிமீ (4–8 அங்குல) வேஃபர்களுக்கான முழுமையாகத் தானியங்கு மென்-குறியிடும் அமைப்பு | 300 மிமீ (12 அங்குல) வேஃபர்களுக்கான முழுமையாகத் தானியங்கு மென்-குறியிடும் அமைப்பு

**சந்தை பயன்பாடு** | 8-அங்குலம் மற்றும் அதற்கும் சிறிய வேஃபர்களைக் கையாளும் குறைக்கடத்தி வேஃபர் உற்பத்தி ஆலைகள் மற்றும் பேக்கேஜிங் ஆலைகளை இலக்காகக் கொண்டது; இந்த சந்தைப் பிரிவில் ஒரு முன்னணி தீர்வாக விளங்குகிறது | அனைத்து 300மிமீ ஒருங்கிணைந்த சாதன உற்பத்தியாளர்கள் (IDMகள்) மற்றும் வேஃபர் வார்ப்பகங்களால் பரவலாக ஏற்றுக்கொள்ளப்பட்டுள்ளது

**தொழில்நுட்ப அம்சங்கள்** | வகுப்பு 1 தூய்மை அறைக்கு இணக்கமானது; குப்பைகள் இல்லாத குறியிடுதலை அடைய, காப்புரிமை பெற்ற சூப்பர்சாஃப்ட்மார்க்® தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துகிறது | மேலும், மென்-குறியிடும் தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துவதால், 300மிமீ பெருமளவு உற்பத்திக்குத் தேவையான இணக்கத்தன்மை, தூய்மை, குறியிடும் தரம் மற்றும் நம்பகத்தன்மை ஆகியவற்றை வழங்குகிறது.

**போக்குவரத்து அமைப்பு** | பொதுவாக 3 திறந்த கேசட் நிலையங்களுடன் கட்டமைக்கப்படும்; SMIF பாட்கள் ஒரு விருப்பத் தேர்வாகக் கிடைக்கின்றன | பொதுவாக முன்புறம் திறக்கும் ஒருங்கிணைந்த பாட்களுடன் (FOUPs) இணக்கமானது; OHT (மேல்நிலைத் தூக்கிப் போக்குவரத்து) அமைப்புகளை ஆதரிக்கிறது

**தொழில்துறை அந்தஸ்து** | 4–8 அங்குல வேஃபர் மென் குறியிடுதலுக்கான தொழில்துறையில் முன்னணித் தீர்வு | 300 மிமீ வேஃபர் ஃபேப்களில் மென் குறியிடுதலுக்கான தொழில்துறைத் தரநிலை, மிகப்பெரிய நிறுவப்பட்ட தளத்தைக் (140க்கும் மேற்பட்ட அலகுகள்) கொண்டுள்ளது.