திங்க்லேசர் சிக்மாடிஎஸ்சி வேஃபர் லேசர் குறியிடும் இயந்திரம்

திங்க்லேசர் சிக்மாடிஎஸ்சியின் முக்கிய அம்சம், குறிப்பாக 100 மிமீ முதல் 200 மிமீ (4 முதல் 8 அங்குலம்) வரையிலான வேஃபர்களுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு முழுமையான தானியங்கி "ஹார்ட் மார்க்கிங்" லேசர் குறியிடும் அமைப்பாகும். இது வகுப்பு 1 (ISO வகுப்பு 3) தூய்மை அறைத் தரநிலைகளை முழுமையாகப் பூர்த்தி செய்கிறது.

நிரல்படுத்தக்கூடிய ஆழக் கட்டுப்பாட்டுடன் கூடிய லேசர் தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தி, வேஃபர்களில் நிரந்தரமான, மிகத் தெளிவாகப் படிக்கக்கூடிய அடையாளக் குறியீடுகளை உருவாக்குவதே இதன் முக்கிய மதிப்பாகும். இந்தக் குறியீடுகள், பின்புற மெலிதாக்குதல், உயர் வெப்பநிலை சிகிச்சைகள் மற்றும் இரசாயன சுத்திகரிப்பு போன்ற அடுத்தடுத்த தீவிர உற்பத்தி செயல்முறைகளின் கடுமைகளைத் தாங்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. இதன்மூலம், ஒரு பொருளின் முழு ஆயுட்காலம் முழுவதும் அதன் துல்லியமான தடமறிதலை உறுதி செய்கிறது.

**அடிப்படைக் கோட்பாடுகள்**

சிக்மாடிஎஸ்சியின் தொழில்நுட்ப மையம் 'ஹார்ட் மார்க்கிங்' என்பதைச் சுற்றி இயங்குகிறது:

**டாட்-மேட்ரிக்ஸ் வெப்பக் குறியிடல்:** இந்த நுட்பம், வேஃபர் மேற்பரப்பில் உள்ள குறிப்பிட்ட இடங்களை நோக்கி ஒருமுகப்படுத்தப்பட்ட, அதிக ஆற்றல் அடர்த்தி கொண்ட லேசர் கற்றையைப் பயன்படுத்துகிறது. இதனால், அந்தப் பொருள் உடனடியாகவும் அந்தந்தப் பகுதிகளிலும் உருகுகிறது அல்லது ஆவியாகிறது. இதன் விளைவாக, ஒரு குறிப்பிட்ட ஆழத்தில் (110 மைக்ரான் வரை) பௌதீகப் பள்ளங்கள் (குழிகள்) உருவாகின்றன.

**அதி தீவிர துடிப்பு நிலைத்தன்மை:** சீரான, கடினமான குறியிடலை அடைவதற்கான திறவுகோல், லேசர் மூலத்தின் விதிவிலக்கான துடிப்புக்குத் துடிப்பு நிலைத்தன்மையில் அடங்கியுள்ளது. ThinkLaser-இன் காப்புரிமை பெற்ற டையோடு-பம்ப்டு திட-நிலை லேசர், 1 kHz அதிர்வெண்ணில் துடிப்பு நிலைத்தன்மையை <0.5% என்ற அளவிற்கு கட்டுப்படுத்துகிறது. இது ஒவ்வொரு புள்ளியின் ஆழம் மற்றும் வட்டத்தன்மையில் உயர் அளவிலான நிலைத்தன்மையை உறுதிசெய்கிறது—இது <1.1 என்ற தோற்ற விகிதத்தை (முக்கிய-துணை அச்சு விகிதம்) உறுதி செய்வதற்கும், சிறந்த வாசிப்புத்திறனை உறுதி செய்வதற்கும் அடித்தளமாக அமைகிறது.

**டூயல்-ஸ்பாட் ஆப்டிக்ஸ்™:** மேம்பட்ட நெகிழ்வுத்தன்மையை வழங்கும் ஒரு முக்கிய வடிவமைப்பு அம்சமான இந்தத் தொழில்நுட்பம், பயனர்கள் ஒரே அமைப்பிற்குள் மென்பொருள் கட்டுப்பாட்டின் மூலம் 50µm முதல் 110µm வரையிலான இரண்டு வெவ்வேறு புள்ளி அளவுகளுக்கு இடையில் மாற அனுமதிக்கிறது. இதன்மூலம், பல்வேறு குறியிடும் பொருட்கள் மற்றும் பயன்பாட்டுத் தேவைகளுக்கு இது இடமளிக்கிறது.

**முக்கிய நன்மைகள் மற்றும் விவரக்குறிப்புகள்**

சிக்மாடிஎஸ்சி ஆனது, சிலிக்கான், சிலிக்கான் கார்பைடு, காலியம் ஆர்சனைடு, காலியம் நைட்ரைடு, கண்ணாடி, பீங்கான்கள் போன்ற பலதரப்பட்ட அடி மூலக்கூறுப் பொருட்களைக் கையாளவும், குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் சவாலான சூழல்களைத் தாங்கவும் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. அதன் முக்கிய செயல்திறன் அளவுருக்கள் தெளிவாக வரையறுக்கப்பட்டுள்ளன:

**அம்ச வகை** | **விரிவான விளக்கம் / குறிப்பிட்ட விவரக்குறிப்புகள்**

**கடினமான குறியிடும் திறன்** | **நிரல்படுத்தக்கூடிய ஆழக் கட்டுப்பாடு:** குறியிடும் ஆழத்தை 110 µm வரை தானாகவே சரிசெய்கிறது.

ஆழத் துல்லியம்: ±10%.

**செயல்திறன்:** ஒரு மணி நேரத்திற்கு 250 வேஃபர்கள் வரை. துல்லியம் மற்றும் இணக்கத்தன்மை | இணக்கத்தன்மை மற்றும் செயல்முறை: 100மிமீ முதல் 200மிமீ வரையிலான வேஃபர்கள் மற்றும் 300மிமீ/310மிமீ பேனல்களுடன் இணக்கமானது.

குறியிடும் துல்லியம்: வேஃபர் சீரமைப்பிற்குப் பிறகு 50x50 மிமீ பரப்பளவிற்குள், மீண்டும் மீண்டும் செய்யும் துல்லியத்தன்மை ±0.125 மிமீ ஆகும்.

பரந்த பயன்பாடு: சிலிக்கான் (Si), சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC), காலியம் ஆர்சனைடு (GaAs), காலியம் நைட்ரைடு (GaN) மற்றும் பிற பொருட்கள் உட்பட பலதரப்பட்ட பொருட்களுக்கு ஏற்றது.

தானியக்கம் மற்றும் தகவல் தொடர்பு | முழுமையான தானியக்கச் செயல்பாடு: மனிதத் தலையீட்டைக் குறைத்து, ஓப்பன் கேசட் கையாளுதலை ஆதரிக்கிறது.

தொழிற்சாலை தானியக்க இடைமுகம்: தொழிற்சாலை MES அமைப்புகளில் தடையற்ற ஒருங்கிணைப்பிற்காக SECS II/GEM நெறிமுறைகளை ஆதரிக்கிறது.

விரிவான அமைப்பு கண்காணிப்பு: அனைத்து லேசர் செயல்திறன் தரவுகளையும் SPC (புள்ளிவிவர செயல்முறைக் கட்டுப்பாடு) நிலை வரை துல்லியமாகப் பதிவு செய்கிறது.

வன்பொருள் விவரக்குறிப்புகள் | லேசர் வகை: Nd:YLF டையோடு-பம்ப்டு திட-நிலை லேசர்.

லேசர் அலைநீளம்: 1053 நானோமீட்டர்.

குறியிடும் இடம்: வேஃபர் விளிம்பிலிருந்து 25 மிமீ வளையப் பட்டைக்குள், பல குறியீட்டுக் குழுக்களை எந்தத் திசையிலும் அமைக்க அனுமதிக்கிறது.

இயக்க முறைமை: விண்டோஸ் 7 ப்ரோ SP1 (32-பிட்).

தொழிற்துறை தரநிலைகள் | SEMI தரநிலைகள்: T7, M12, மற்றும் M13 போன்ற குறியிடும் விவரக்குறிப்புகளை ஆதரித்து, SEMI தரநிலைகளுடன் முழுமையாக இணக்கமானது.

சர்வதேச சான்றிதழ்கள்: CE, SEMI S2, S8 மற்றும் S14 உள்ளிட்ட பாதுகாப்பு மற்றும் சுற்றுச்சூழல் தரநிலைகளுக்கு இணக்கமானது.

முக்கிய செயல்பாடுகள் மற்றும் பயன்பாடுகள்

தயாரிப்பின் முழு ஆயுள் சுழற்சி முழுவதும் உயர் தடமறியும் தன்மையைப் பேணுவது இன்றியமையாததாக உள்ள குறைக்கடத்தி உற்பத்திச் சூழல்களில் சிக்மாடிஎஸ்சி முதன்மையாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது:

குறைக்கடத்தி முன்முனை சிலிக்கான் தகடு உற்பத்தி: தூய்மை அறைக்குள் நுழைந்த உடனேயே, சிலிக்கான் தகட்டின் மீது ஒரு தனித்துவமான, நிரந்தரமான அடையாள எண் பொறிக்கப்படுகிறது. இந்த அடையாள எண், (பின்புற மெலிதாக்குதல் போன்ற) அடுத்தடுத்த கடுமையான செயலாக்கப் படிநிலைகளின் கடுமைகளைத் தாங்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. சிலிக்கான் தகடு உற்பத்தி, வார்ப்பகங்கள் மற்றும் ஒருங்கிணைந்த சாதன உற்பத்தியாளர்கள் (IDM-கள்) ஆகியவற்றை உள்ளடக்கிய முழு உற்பத்திப் பணிப்பாய்வு முழுவதும், தரக் கண்டறிதல் மற்றும் புள்ளியியல் செயல்முறைக் கட்டுப்பாட்டு (SPC) தரவுகளுக்கு இது உயிர்நாடியாகச் செயல்படுகிறது.

மேம்பட்ட பேக்கேஜிங்: ஃபேன்-அவுட் வேஃபர்-லெவல் பேக்கேஜிங் (ஃபேன்-அவுட் WLP) செயல்முறைகளுக்குள், மறுசீரமைக்கப்பட்ட வேஃபர்கள் அல்லது பேனல்களுக்கு நம்பகமான அடையாளக் குறியீட்டை வழங்குகிறது.

துணை உபகரணங்கள் மற்றும் தயாரிப்பு வரிசைகளின் ஒப்பீடு

திங்க்லேசரின் விரிவான வேஃபர் அடையாளத் தீர்வில் சிக்மாடிஎஸ்சி ஒரு முக்கிய அங்கமாக விளங்குகிறது. நீங்கள் குறிப்பிட்ட சிக்மாக்ளீன் அமைப்பு அதற்கு ஒரு தனித்துவமான துணையாகச் செயல்படுகிறது:

**சிறப்பம்சங்கள்** | **சிக்மாடிஎஸ்சி (கடினமான குறியிடல்)** | **சிக்மாக்ளீன் (மென்மையான குறியிடல்)**

**முக்கிய செயல்முறை** | நேரடி மதிப்பிடுதல் | நேரடி மதிப்பிடுதல்

**முக்கிய நன்மைகள்** | அடையாளங்கள் இயற்பியல் ஆழத்தைக் கொண்டுள்ளன; இயந்திர அரைத்தல் போன்ற மிகவும் கடுமையான பிந்தைய செயலாக்கப் படிகளைத் தாங்கும் திறன் கொண்டவை. | குப்பைகள் அற்றது மற்றும் மிக உயர்ந்த தூய்மையுடன் உள்ளது; மிகக் கடுமையான தூய்மை அறைத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறது.

**வழக்கமான பயன்பாட்டுச் சூழல்கள்** | பின்புறம் மெலிதாக்குதல் போன்ற "கடினமான" செயல்முறைகளுக்கு உட்படும் வேஃபர்களுக்கு, நிரந்தரமான தடமறியும் தன்மையை வழங்குவதற்காகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. | மேற்பரப்புச் சேதமின்மை மற்றும் மிக உயர்ந்த தூய்மை ஆகியவை முதன்மையானதாக உள்ள முன்-முனை வேஃபர் உற்பத்திச் சூழல்களில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

**சுருக்கம்**

திங்க்லேசர் சிக்மாடிஎஸ்சி (ThinkLaser SigmaDSC) என்பது 200 மிமீ வேஃபர்களுக்கு மிகவும் நீடித்த "கடினமான குறியிடலை" வழங்குவதற்காக அர்ப்பணிக்கப்பட்ட ஒரு முழுமையான தானியங்கி லேசர் குறியிடும் அமைப்பாகும். இதன் முக்கிய தொழில்நுட்ப நன்மைகள், நிரல்படுத்தக்கூடிய ஆழக் கட்டுப்பாடு, டூயல்-ஸ்பாட் ஆப்டிக்ஸ்™ (Dual-Spot Optics™) தொழில்நுட்பம் மற்றும் முழுமையான தானியக்கத்திற்கான எஸ்இசிஎஸ்/ஜிஇஎம் (SECS/GEM) இடைமுகம் ஆகியவற்றில் அடங்கியுள்ளன. ஒரு நிலையான லேசர் அமைப்பு, மூடிய-சுற்று கட்டுப்பாடு மற்றும் மேம்பட்ட தானியக்க அம்சங்களைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், இது பல்வேறு வகையான அடி மூலக்கூறு பொருட்களில் விதிவிலக்கான குறியீட்டு ஆழச் சீரான தன்மையையும் வட்ட வடிவத்தையும் உறுதி செய்கிறது. சுத்தம் செய்தல் அல்லது பொருத்துதல் பணிகளைச் செய்வதற்குப் பதிலாக, இது வேஃபர்களுக்கான உலகளாவிய அடையாளச் சரிபார்ப்பை வழங்கும் முக்கியப் பணியைச் செய்கிறது.