TEL CELLESTA™ -i MD வேஃபர் கிளீனர்

TEL CELLESTA™ -i MD என்பது டோக்கியோ எலக்ட்ரானின் (TEL) முதன்மை 300mm ஒற்றை-வேஃபர் சுத்திகரிப்பு அமைப்பாகும், இது 10nm மற்றும் அதற்கும் மேம்பட்ட செயல்முறை முனைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. மேம்பட்ட செயல்முறைகளில், சுத்திகரிப்பு மற்றும் உலர்த்தலின் போது நுண்-வடிவமைக்கப்பட்ட கட்டமைப்புகள் சேதமடைவதற்கான வாய்ப்பு போன்ற முக்கிய செயல்முறை சவால்களை எதிர்கொள்வதற்காக இது பிரத்யேகமாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, மேலும் இது உயர்தர சிப்களின் மேம்பட்ட உற்பத்தியை ஆதரிக்கும் ஒரு முக்கிய சாதனமாகும்.

முக்கிய செயல்திறன்: தொழில்நுட்ப முறிவு மற்றும் தரவு ஆதரவு

மேலும் எளிதாகப் புரிந்துகொள்ளும் வகையில், அதன் முக்கிய தொழில்நுட்ப அம்சங்கள் கீழே சுருக்கமாகத் தரப்பட்டுள்ளன:

முக்கிய அம்சங்கள், செயல்திறன் குறிகாட்டிகள் மற்றும் தொழில்நுட்ப விவரங்கள்

10nm மற்றும் அதற்கும் மேம்பட்ட செயல்முறை முனைகளை இலக்காகக் கொண்டு, வடிவமைக்கப்பட்ட வேஃபர் மேற்பரப்புகளைச் சேதப்படுத்தாமல் சுத்தம் செய்வதிலும் துகள்களை அகற்றுவதிலும் நிபுணத்துவம் பெற்ற செயல்முறை நிலைப்படுத்தல்.

முக்கிய தொழில்நுட்பங்கள்: சுத்தம் செய்தல் மற்றும் உலர்த்துதல். அறைச் சூழல் கட்டுப்பாடு மற்றும் IPA (ஐசோபுரோப்பைல் ஆல்கஹால்) முனை செயல்திறன் மேம்படுத்தல் மூலம், வடிவமைப்பு சிதைவின்றி உலர்த்துவதை உறுதி செய்கிறது; ஈரமான செதுக்கலுக்கு SC-1 மற்றும் DHF போன்ற இரசாயனக் கரைசல்களைப் பயன்படுத்த முடியும்; மேலும், துலக்குதல் மற்றும் இரட்டைத் திரவத் தெளித்தல் போன்ற இயற்பியல் சுத்தப்படுத்தும் செயல்பாடுகளை ஒருங்கிணைக்க முடியும்.

உயர் செயல்திறன் வெளியீடு மற்றும் பாகுபடுத்தும் தன்மை: 20 துப்புரவு அறைகள் வரை உள்ளமைக்கக்கூடியது, மணிக்கு 1000 வேஃபர்கள் (WPH) வரையிலான கொள்ளளவை அடைகிறது, மேலும் சாய்வு துப்புரவு அலகுகளின் நெகிழ்வான விரிவாக்கத்தையும் ஆதரிக்கிறது.

குறைந்த செலவிலான செயல்பாடு: உள்ளமைக்கப்பட்ட இரசாயன மறுசுழற்சி அமைப்பு, இயக்கச் செலவுகளை (CoO) கணிசமாகக் குறைத்து, கந்தக அமிலப் பயன்பாட்டையும் திறம்படச் சேமிக்கிறது.

நம்பகத்தன்மை: இதன் போக்குவரத்து அமைப்பு, பிழையற்ற சரிபார்ப்புடன் 750 மில்லியன் வேஃபர் கையாளும் சுழற்சிகளை வெற்றிகரமாகக் கடந்துள்ளது. இது பெருமளவு உற்பத்தியின் நிலைத்தன்மையை மிக அதிகமாக உறுதி செய்கிறது.

பயன்பாடுகள்: அதன் முன்னணி தொழில்நுட்பம் மற்றும் நிலையான செயல்திறன் காரணமாக, CELLESTA™ -i MD ஆனது மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் உற்பத்தியில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் பின்வரும் துறைகளில் இது ஒரு இன்றியமையாத பங்கை வகிக்கிறது:

லாஜிக் சில்லுகள்: CPU-கள், GPU-கள் மற்றும் AI செயலிகள் போன்ற உயர் செயல்திறன் கொண்ட லாஜிக் சில்லுகளின் உற்பத்திக்கு, தூய்மையான வேஃபர் மேற்பரப்புகளை வழங்குகிறது.

நினைவகச் சில்லுகள்: DRAM மற்றும் 3D NAND Flash போன்ற நினைவகச் சில்லுகளின் உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்பட்டு, நினைவக செல்களின் துல்லியத்தையும் நம்பகத்தன்மையையும் உறுதி செய்கின்றன.

மேம்பட்ட பேக்கேஜிங்: BSI (பின்புற ஒளியூட்டப்பட்ட), 3D ஸ்டாக்கிங், பின்புற ஆற்றல் மற்றும் SoIC (சிஸ்டம்-ஆன்-சிப்) போன்ற மேம்பட்ட பேக்கேஜிங் செயல்முறைகளின் சுத்தப்படுத்தும் படிநிலைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

தொழில்துறை மதிப்பீடு மற்றும் சந்தை நிலை

CELLESTA தொடரில் ஒரு உயர்நிலை மாடலாக, -i MD ஆனது ஒற்றை-வேஃபர் சுத்திகரிப்பில் TEL-இன் உயர்மட்டத்தைக் குறிக்கிறது. அதன் சிறந்த சுத்திகரிப்பு செயல்திறன் மற்றும் அங்கீகரிக்கப்பட்ட உயர் நம்பகத்தன்மையுடன், இந்த பிளாட்ஃபார்ம் தொடரானது, SCREEN உடன் இணைந்து, உலகளாவிய குறைக்கடத்தி சுத்திகரிப்பு உபகரண சந்தையில் ஒரு முன்னணி நிலையை உறுதியாகப் பிடித்துள்ளது. இது அதிநவீன சிப்களின் பெருமளவு உற்பத்திக்கு ஆதரவளிக்கும் ஒரு இன்றியமையாத உபகரணமாக அமைகிறது.