நிட்டோ DR3000III குறைக்கடத்தி வேஃபர் மவுண்டர்

இது நிட்டோ டென்கோவின் நெல் சிஸ்டம்™ DR3000III பற்றிய ஒரு விரிவான அறிமுகமாகும். இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் முக்கியப் பங்கு வகிக்கும் ஒரு முழுமையாகத் தானியங்குபடுத்தப்பட்ட வேஃபர் பாதுகாப்பு நாடா ஒட்டும் இயந்திரமாகும்.

மைய உள்ளமைவு மற்றும் தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகள்

DR3000III-இன் முக்கிய தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகள் பின்வருமாறு:

பொருள் விவரக்குறிப்புகள்/அளவுருக்கள்

உபகரண வகை: 300 மிமீ வேஃபர்களுக்கான முழுமையாகத் தானியங்கி பாதுகாப்பு நாடா ஒட்டும் கருவி

பொருந்தக்கூடிய வேஃபர் அளவு: 300 மிமீ (12 அங்குலம்) / 200 மிமீ (8 அங்குலம்)

பொருந்தக்கூடிய வேஃபர் தடிமன்: 400μm அல்லது அதற்கு மேல்

செயல்திறன்: ஒரு மணி நேரத்திற்கு 68 வேஃபர்கள்

டேப் ஒட்டும் தொழில்நுட்பம்: ஒருங்கிணைந்த இறுக்கமற்ற பயன்பாட்டுக் கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு

இணக்கமான தரநிலைகள்: CE குறியீடு மற்றும் SEMI S2/S8 விவரக்குறிப்புகளைப் பூர்த்தி செய்கிறது.

தயவுசெய்து கவனிக்கவும்: மேற்கண்ட விவரக்குறிப்புகள் வேஃபர், டேப் மற்றும் பிற நிலைமைகளைப் பொறுத்து மாற்றத்திற்கு உட்பட்டவை, மேலும் அவை விருப்பத் தேர்வுக்குரிய அம்சங்களையும் கொண்டிருக்கலாம்.

முக்கிய அம்சங்கள் மற்றும் நன்மைகள்

DR3000III-இன் ஆற்றல்மிக்க அம்சங்கள், துல்லியமான உற்பத்தித் துறையில் அதனைத் தனித்து நிற்கச் செய்கின்றன:

இழுவிசையற்ற பயன்பாட்டுத் தொழில்நுட்பம்: இது இதன் முக்கிய தொழில்நுட்ப நன்மைகளில் ஒன்றாகும். லேமினேஷனுக்கு முன் டேப் இழுவிசையைக் குறைப்பது, பின்புற அரைத்தலுக்குப் பிறகு வேஃபர் வளைவதைத் திறம்படக் கட்டுப்படுத்துகிறது, இது பெரிய அளவிலான, மிக மெல்லிய வேஃபர்களைக் கையாளுவதற்கு இன்றியமையாததாகும்.

குறைந்த அழுத்த லேமினேஷன் கட்டுப்பாடு: இந்த உபகரணம் குறைந்த இழுவிசைப் பிணைப்பு மற்றும் பிசின் அழுத்தக் கட்டுப்பாட்டைக் கொண்டிருப்பதால், லேமினேஷன் செயல்பாட்டின் போது வேஃபர் வடிவமைப்பு சேதமடைவதற்கான அபாயம் கணிசமாகக் குறைக்கப்படுகிறது.

வேஃபர் இணக்கத்தன்மை: இது 300 மிமீ வேஃபர்களுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டிருந்தாலும், 200 மிமீ வேஃபர்களுடனும் பின்னோக்கி இணக்கமானது. மேலும், சூடாக்கப்பட்ட சக் டேபிள் (அதிகபட்சம் 100°C) மற்றும் சூடாக்கப்பட்ட ரோலர்கள் (அதிகபட்சம் 60°C) போன்ற விருப்ப அம்சங்களுடன் கூடிய சிறப்புச் செயல்முறைகளையும் இது ஆதரிக்கிறது. அதுமட்டுமின்றி, இது தட்டப்பட்ட வேஃபர்களையும், குறிப்பிட்ட அளவு வளைவு கொண்ட வேஃபர்களையும் திறம்பட கையாளுகிறது.

உயர் தானியக்கம் மற்றும் நுண்ணறிவு: இந்த உபகரணத்தில் பின்வரும் அம்சங்கள் பொருத்தப்பட்டுள்ளன:

தானியங்கு பொருள் கையாளுதல்: முழுமையாகத் தானியங்கு முறையில் ஏற்றுவதற்கும் இறக்குவதற்கும் உள்ளமைக்கப்பட்ட ரோபோ கையுடன், முன்புறம் திறக்கும் வேஃபர் கேசட்டுகள் (FOUP) / திறந்த கேசட்டுகளை ஆதரிக்கிறது.

துல்லியமான சீரமைப்பு: லேமினேஷன் துல்லியத்தை உறுதிசெய்ய, தொடுதல் இல்லாத CCD சீரமைப்பு அமைப்பைப் பயன்படுத்துகிறது.

நுண்ணறிவு கண்காணிப்பு: தரவுத் தடமறிதலுக்கான பதிவுக் கோப்புச் செயல்பாடு இதில் உள்ளது; டேப் தொய்வைக் கண்டறிதல் செயலிழப்புகளைத் தடுக்கிறது. விருப்பத்தேர்வாக வழங்கப்படும் வேஃபர் மேப்பிங் ஸ்கேனர், உள்வரும் மூலப்பொருட்களைத் தானியங்கி முறையில் ஆய்வு செய்ய உதவுகிறது.

உயர் தொழில் தரநிலைகளுக்கு இணக்கமானது: இந்த உபகரணம் SEMI S2/S8 பாதுகாப்பு மற்றும் சுற்றுச்சூழல் தரநிலைகளுக்கு இணங்குகிறது, மேலும் நவீன குறைக்கடத்தி தொழிற்சாலை தானியங்கு அமைப்புகளில் தடையின்றி ஒருங்கிணைப்பதற்காக, விருப்பத்தேர்வான SECS/GEM தகவல் தொடர்பு நெறிமுறைகளுடன் கிடைக்கிறது.

பயன்படுத்துவதற்கு எளிதான செயல்பாடு: ஒரு பெரிய தொடுதிரை, சமையல் குறிப்புச் செயல்பாட்டுடன் இணைந்து, பயன்பாட்டை எளிமையாகவும் உள்ளுணர்வுடனும் ஆக்குகிறது. பயனர்கள் அந்தந்த தயாரிப்புக்கான சமையல் குறிப்பைத் திறந்தால் மட்டும் போதும், அனைத்து அளவுரு அமைப்புகளும் தானாகவே நிறைவடையும்.

செயல்படும் முறை: பின் அரைத்தல் செயல்முறைக்கு முன்பு, அதைத் தொடர்ந்து நடைபெறும் அதிவேக அரைத்தலின் போது வேஃபரின் முன்பக்கத்திற்கு இயந்திர சேதம் அல்லது இரசாயன மாசுபடுதல் ஏற்படுவதைத் தடுப்பதற்காக, DR3000III கருவியானது, இழுவிசையற்ற ஒரு முறையைப் பயன்படுத்தி, வேஃபரின் வடிவமைக்கப்பட்ட பக்கத்தில் பாதுகாப்பு நாடாவைத் துல்லியமாக ஒட்டுகிறது.

பயன்பாட்டுத் துறைகள்: DR3000III முதன்மையாகப் பின்வரும் முக்கியப் பகுதிகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது:

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி: லாஜிக் சிப்புகள் மற்றும் மெமரி சிப்புகள் (DRAM, NAND Flash, போன்றவை): மேம்பட்ட செயல்முறைகளில் வேஃபரின் முன்பக்கத்தில் உள்ள நுட்பமான மின்சுற்று அமைப்பைப் பாதுகாக்கிறது. மேம்பட்ட பேக்கேஜிங்: பெருகிவரும் பெரிய 300mm வேஃபர்-லெவல் பேக்கேஜிங் செயல்முறைகளின் (Fan-In WLP, Fan-Out WLP, போன்றவை) போது வேஃபர் பாதுகாப்பை வழங்குகிறது.

MEMS மற்றும் சென்சார்கள்: பின்புற மெலிதாக்கும் செயல்முறைகளின் போது நுண் இயந்திரக் கட்டமைப்புகளையும் சென்சார் பகுதிகளையும் பாதுகாக்கிறது.

ஆற்றல் குறைக்கடத்தி சாதனங்கள்: IGBTகள் மற்றும் MOSFETகள் போன்ற ஆற்றல் சாதனங்களுக்கான வேஃபர்களைச் செயலாக்கி, மெல்லியதாக்குவதன் மூலம் ஆன்-ரெசிஸ்டன்ஸைக் குறைத்து, வெப்பச் சிதறலை மேம்படுத்துகிறது.

பிற உபகரணங்களுடனான ஒத்துழைப்பு: குறைக்கடத்தி பேக்கேஜிங் உற்பத்தி வரிசைகளில், DR3000III பொதுவாக பின்வரும் உபகரணங்களுடன் இணைந்து செயல்படுகிறது:

படலப் பயன்பாட்டுக் கருவியுடனான கூட்டுச் செயல்பாடு: மெலிதாக்கும் செயல்முறைக்கு முன்னும் பின்னும் நிட்டோ NEL-MA3000-III நாடா அகற்றும் கருவியுடன் இணைந்து செயல்படுகிறது. மெலிதாக்கும் போது வேஃபரை சேதத்திலிருந்து பாதுகாக்க, DR3000III முதலில் பாதுகாப்பு நாடாவைப் பயன்படுத்துகிறது; மெலிதாக்கிய பிறகு, NEL-MA3000-III அந்தப் பாதுகாப்பு நாடாவைத் துல்லியமாக அகற்றி, செயல்முறை முழுவதும் மிக மெல்லிய வேஃபரின் ஒருமைத்தன்மையையும் பாதுகாப்பையும் உறுதி செய்கிறது.

மெருகூட்டும் உபகரணங்களுடனான ஒத்துழைப்பு: ஒரு பாதுகாப்பு நடவடிக்கையாக மெருகூட்டும் இயந்திரங்களுடன் நெருக்கமாக இணைந்து செயல்படுகிறது. DR3000III மூலம் வேஃபர்களில் பாதுகாப்புப் படலங்கள் பூசப்பட்ட பிறகு, அவை பின்புறத்தை மெல்லியதாக்குவதற்காக அரைக்கும் இயந்திரத்திற்குள் செலுத்தப்படுகின்றன. இது அரைக்கும் செயல்முறையின் பாதுகாப்பையும் நிலைத்தன்மையையும் நம்பகத்தன்மையுடன் உறுதி செய்கிறது.

மொத்தத்தில், நிட்டோ DR3000III என்பது ஒரு மிகவும் சிறப்பு வாய்ந்த, தானியங்கி மற்றும் உயர் செயல்திறன் கொண்ட வேஃபர் பாதுகாப்பு அமைப்பாகும். அதன் இழுவிசையற்ற படல லேமினேஷன் தொழில்நுட்பத்தின் மூலம், பின்புற மெலிதாக்கும் செயல்முறையின் போது பெரிய அளவிலான வேஃபர்களில் ஏற்படும் வளைதல் மற்றும் சிதைதல் போன்ற பொதுவான சிக்கல்களை இது திறம்படத் தீர்க்கிறது. இது குறைக்கடத்தித் துறையில் ஒரு முக்கியப் பங்காற்றுகிறது, மேலும் மேம்பட்ட சிப் உற்பத்தியின் விளைச்சலையும் நம்பகத்தன்மையையும் உறுதி செய்வதற்கான ஒரு முக்கிய உபகரணமாகவும் செயல்படுகிறது. விலைப்புள்ளிகள் அல்லது தொழில்நுட்ப விசாரணைகளுக்கு, சீனாவில் உள்ள நிட்டோவின் அதிகாரப்பூர்வப் பிரதிநிதிகள் அல்லது அங்கீகரிக்கப்பட்ட விநியோகஸ்தர்களை நேரடியாகத் தொடர்பு கொள்ளவும்.