ACCRETECH Probe Station UF3000EX-ը էլեկտրական ազդանշանի հայտնաբերման սարք է յուրաքանչյուր վաֆլիի վրա գտնվող յուրաքանչյուր չիպի համար, որը նախատեսված է կիսահաղորդչային արտադրանքի որակը ապահովելու համար: Սարքն օգտագործում է նոր սերնդի տեխնոլոգիա, որը զգալիորեն բարելավում է արտադրական հզորությունը նոր ալգորիթմների և վաֆլիների մշակման տեխնոլոգիայի միջոցով: Դրա բարձր արագությամբ, ցածր աղմուկով X և Y առանցքային հարթակները օգտվում են նոր շարժիչ համակարգից, մինչդեռ Z առանցքը ապահովում է համաշխարհային մակարդակի բեռնունակություն և բարձր ճշգրտություն: Սարքի նախագծային կառուցվածքը հուսալիորեն վերացնում է հարթության վրա ուժը՝ օպտիմալ կառուցվածքային նախագծման և տոպոլոգիայի լավ համադրության միջոցով: Բացի այդ, առաջադեմ OTS դիրքի մշակման համակարգը և գունավոր վաֆլի պատկերի հավասարեցման համակարգը, ինչպես նաև փոքր առավելագույն մեծացման ֆունկցիան, UF3000EX-ը դարձնում են բարձր ճշգրտության և շահագործման համար հարմար սարք արդյունաբերության մեջ:
Հիմնական առանձնահատկությունները
Բարձր արագություն և ցածր աղմուկ. Նոր շարժիչ համակարգը X և Y առանցքների հարթակները դարձնում է արդյունավետ և անաղմուկ։
Բարձր ճշգրտություն. Z առանցքը ապահովում է համաշխարհային կարգի բեռնունակություն և բարձր ճշգրտություն:
Կառուցվածքային օպտիմալացում. Հարթության վրա ուժը վերացվում է կառուցվածքային օպտիմալ նախագծման և տոպոլոգիայի լավ համադրության միջոցով։
Առաջադեմ դիրքորոշման համակարգ. Հագեցած է առաջադեմ OTS դիրքորոշման մշակման համակարգով և գունավոր վաֆլի պատկերի հավասարեցման համակարգով, փոքր առավելագույն մեծացման ֆունկցիայով։
Համատեղելիություն՝ Հարմար է մեծ տրամագծով վեֆլիների համար (φ300 մմ, մինչև 12 դյույմ), ավտոմատ կառավարման համակարգով, բարձր ճշգրտության հայտնաբերմամբ, բարձր թողունակությամբ, ցածր թրթռումով և այլն։
Կիրառման դաշտ
UF3000EX զոնդային կայանը լայնորեն օգտագործվում է կիսահաղորդչային արտադրության գործընթացում վաֆլիների փորձարկման համար, մասնավորապես LSI և VLSI արտադրական գծերում, որոնք կարող են ապահովել էլեկտրական ազդանշանի արդյունավետ և ճշգրիտ հայտնաբերում՝ ապահովելու համար արտադրանքի որակը և արտադրության արդյունավետությունը։