Stazione di sonda ACCRETECH UF3000EX

ACCRETECH Probe Station UF3000EX è un dispositivo di rilevamento del segnale elettrico per ogni chip su ogni wafer, progettato per garantire la qualità dei prodotti semiconduttori. Il dispositivo utilizza una tecnologia di nuova generazione, che migliora significativamente la capacità di produzione attraverso nuovi algoritmi e tecnologia di gestione dei wafer. Le sue piattaforme ad alta velocità e basso rumore degli assi X e Y traggono vantaggio dal nuovo sistema di azionamento, mentre l'asse Z garantisce una capacità di carico di livello mondiale e un'elevata precisione. La struttura di progettazione del dispositivo elimina in modo affidabile la forza sul piano attraverso la buona combinazione di progettazione strutturale ottimale e topologia. Inoltre, l'avanzato sistema di elaborazione della posizione OTS e il sistema di allineamento delle immagini dei wafer a colori, nonché la piccola funzione di ingrandimento massimo equipaggiata, rendono UF3000EX un dispositivo ad alta precisione e utilizzabile nel settore.

Caratteristiche principali

Alta velocità e bassa rumorosità: il nuovo sistema di azionamento consente alle piattaforme degli assi X e Y di funzionare in modo efficiente e silenzioso.

Elevata precisione: l'asse Z garantisce una capacità di carico di livello mondiale e un'elevata precisione.

Ottimizzazione strutturale: la forza sul piano viene eliminata attraverso la buona combinazione di progettazione strutturale ottimale e topologia.

Sistema di posizionamento avanzato: dotato di un sistema avanzato di elaborazione della posizione OTS e di un sistema di allineamento delle immagini wafer a colori, con funzione di ingrandimento massimo ridotto.

Compatibilità: Adatto per wafer di grande diametro (φ300 mm, fino a 12 pollici), con sistema operativo automatico, rilevamento ad alta precisione, elevata produttività, basse vibrazioni, ecc.

Campo di applicazione

La stazione di sonda UF3000EX è ampiamente utilizzata nei test dei wafer nel processo di produzione dei semiconduttori, in particolare nelle linee di produzione di LSI e VLSI, che possono fornire un rilevamento efficiente e accurato del segnale elettrico per garantire la qualità del prodotto e l'efficienza della produzione