ACCRETECH rannsakastöð UF3000EX

ACCRETECH könnunarstöðin UF3000EX er tæki til að greina rafmagnsmerki fyrir hverja flís á hverri skífu, hönnuð til að tryggja gæði hálfleiðaraafurða. Tækið notar næstu kynslóð tækni sem bætir framleiðslugetu verulega með nýjum reikniritum og skífumeðhöndlunartækni. Hraðvirkar og lág-hljóða X- og Y-ásarpallar þess njóta góðs af nýja drifkerfinu, en Z-ásinn tryggir fyrsta flokks burðargetu og mikla nákvæmni. Hönnunarbygging tækisins útrýmir áreiðanlega kraftinum á fletinum með góðri samsetningu af bestu byggingarhönnun og rúmfræði. Að auki gerir háþróaða OTS staðsetningarvinnslukerfið og litskífumyndastillingarkerfið, sem og lítil hámarksstækkunaraðgerð, UF3000EX að mjög nákvæmu og nothæfu tæki í greininni.

Helstu eiginleikar

Mikill hraði og lítill hávaði: Nýja drifkerfið gerir það að verkum að X- og Y-ásarpallarnir ganga skilvirkt og hljóðlega.

Mikil nákvæmni: Z-ásinn tryggir fyrsta flokks burðargetu og mikla nákvæmni.

Burðarvirkishagræðing: Krafturinn á fletinum er útrýmt með góðri samsetningu af bestu mögulegu burðarvirkishönnun og rúmfræði.

Ítarlegt staðsetningarkerfi: Útbúið með háþróaðri OTS staðsetningarvinnslukerfi og litaskífumyndastillingarkerfi, með litlum hámarksstækkunaraðgerð.

Samhæfni: Hentar fyrir stóra skífur (φ300 mm, allt að 12 tommur), með sjálfvirku stýrikerfi, nákvæmri greiningu, mikilli afköstum, litlum titringi o.s.frv.

Umsóknarsvið

UF3000EX mælistöðin er mikið notuð í skífuprófunum í framleiðsluferli hálfleiðara, sérstaklega í framleiðslulínum LSI og VLSI, sem getur veitt skilvirka og nákvæma rafmagnsmerkjagreiningu til að tryggja gæði vöru og framleiðsluhagkvæmni.