ACCRETECH Probe Station UF3000EX on iga kiibi ja iga vahvli elektrisignaali tuvastamise seade, mis on loodud pooljuhttoodete kvaliteedi tagamiseks. Seade kasutab järgmise põlvkonna tehnoloogiat, mis parandab oluliselt tootmisvõimsust uute algoritmide ja vahvli käsitsemise tehnoloogia abil. Selle kiired ja madala müratasemega X- ja Y-telje platvormid saavad kasu uuest ajamisüsteemist, samas kui Z-telg tagab maailmatasemel kandevõime ja suure täpsuse. Seadme disain kõrvaldab usaldusväärselt tasapinnale mõjuva jõu optimaalse konstruktsiooni ja topoloogia hea kombinatsiooni abil. Lisaks muudavad täiustatud OTS-positsiooni töötlemise süsteem ja värviliste vahvlipiltide joondussüsteem, samuti väikese maksimaalse suurenduse funktsioon UF3000EX-i tööstuses ülitäpseks ja töökindlaks seadmeks.
Peamised omadused
Suur kiirus ja madal müratase: Uus ajamisüsteem muudab X- ja Y-telje platvormid tõhusaks ja vaikseks tööks.
Suur täpsus: Z-telg tagab maailmatasemel kandevõime ja suure täpsuse.
Struktuuri optimeerimine: tasapinnale mõjuv jõud kõrvaldatakse optimaalse konstruktsiooni ja topoloogia hea kombinatsiooni abil.
Täiustatud positsioneerimissüsteem: Varustatud täiustatud OTS-positsioneerimissüsteemiga ja värvilise vahvli kujutise joondussüsteemiga, millel on väike maksimaalse suurenduse suurendusfunktsioon.
Ühilduvus: Sobib suure läbimõõduga vahvlitele (φ300 mm, kuni 12 tolli), automaatse operatsioonisüsteemiga, suure täpsusega tuvastusega, suure läbilaskevõimega, madala vibratsiooniga jne.
Rakendusvaldkond
UF3000EX sondijaama kasutatakse laialdaselt pooljuhtide tootmisprotsessis vahvlite testimisel, eriti LSI ja VLSI tootmisliinidel, mis suudavad pakkuda tõhusat ja täpset elektrisignaali tuvastamist, et tagada toote kvaliteet ja tootmise efektiivsus.