Зондавая станцыя ACCRETECH UF3000EX

Зондавая станцыя ACCRETECH UF3000EX — гэта прылада выяўлення электрычных сігналаў для кожнага чыпа на кожнай пласціне, прызначаная для забеспячэння якасці паўправадніковай прадукцыі. Прылада выкарыстоўвае тэхналогіі наступнага пакалення, якія значна паляпшаюць вытворчыя магутнасці дзякуючы новым алгарытмам і тэхналогіі апрацоўкі пласцін. Яе высакахуткасныя, нізкашумныя платформы восяў X і Y маюць перавагі новай сістэмы прывада, у той час як вось Z забяспечвае грузападымальнасць сусветнага класа і высокую дакладнасць. Канструкцыя прылады надзейна ліквідуе сілу на плоскасці дзякуючы добраму спалучэнню аптымальнага структурнага дызайну і тапалогіі. Акрамя таго, перадавая сістэма апрацоўкі пазіцыі OTS і сістэма выраўноўвання каляровых малюнкаў пласцін, а таксама функцыя невялікага максімальнага павелічэння робяць UF3000EX высокадакладнай і працаздольнай прыладай у галіны.

Асноўныя характарыстыкі

Высокая хуткасць і нізкі ўзровень шуму: новая сістэма прывада дазваляе платформам па восях X і Y працаваць эфектыўна і ціха.

Высокая дакладнасць: вось Z забяспечвае грузападымальнасць сусветнага класа і высокую дакладнасць.

Структурная аптымізацыя: сіла на плоскасці ліквідуецца дзякуючы добраму спалучэнню аптымальнага структурнага праектавання і тапалогіі.

Палепшаная сістэма пазіцыянавання: абсталявана палепшанай сістэмай апрацоўкі пазіцыі OTS і сістэмай выраўноўвання каляровых малюнкаў пласцін з функцыяй невялікага максімальнага павелічэння.

Сумяшчальнасць: падыходзіць для пласцін вялікага дыяметра (φ300 мм, да 12 цаляў), з аўтаматычнай аперацыйнай сістэмай, высокадакладным выяўленнем, высокай прапускной здольнасцю, нізкай вібрацыяй і г.д.

Сфера прымянення

Зондавая станцыя UF3000EX шырока выкарыстоўваецца для тэставання пласцін у працэсе вытворчасці паўправаднікоў, асабліва на вытворчых лініях LSI і VLSI, што дазваляе эфектыўна і дакладна выяўляць электрычныя сігналы для забеспячэння якасці прадукцыі і эфектыўнасці вытворчасці.