SCHIERM Waferreiniger SU-3200

De SCREEN SU-3200 ass e wichtegt 300mm Single-Wafer-Reinigungssystem an der Hallefleederindustrie. Mat sengem iwwerleeënen Duerchgank an der féierender Rengheetstechnologie huet en laang Zäit als Haaptmodell vu SCREEN gedéngt, andeems en d'Produktioun vu Logik- a Speicherchips vun 32nm bis 7nm an nach méi fortgeschrattene Knuet ënnerstëtzt huet, an eng entscheedend Roll um Maart fir Reinigungsausrüstung gespillt huet.

Kärpositionéierung an Technologie-Iwwersiicht: D'Kärpositionéierung vum SU-3200 ass et, den Duerchgank vun der Eenzelwaferreinigung däitlech ze erhéijen, wärend eng extrem héich Rengheet bäibehale gëtt an doduerch den extremen Effizienzufuerderunge vun fortgeschrattene Prozesser gerecht gëtt.

Héichdurchsatz-Design: Duerch eng innovativ véierschichteg gestapelte Architektur kann en eenzegt System mat bis zu 12 onofhängege Prozesskammeren konfiguréiert ginn, wouduerch eng Veraarbechtungskapazitéit vu bis zu 800 Waferen pro Stonn (WPH) erreecht gëtt, wat zu där Zäit weltféierend ënner den Eenzelwafer-Reinigungssystemer war.

Ultra-propper Prozessëmfeld: Fir déi streng Ufuerderunge vun 22nm a méi fortgeschrattene Knuet ze erfëllen, ass de SU-3200 mat der proprietärer APAC-Technologie (Advanced Process Atmosphere Control) vu SCREEN ausgestatt. Duerch d'Optimiséierung vun der Kammerëmfeld iwwer verschidde Dimensiounen garantéiert et déi ultimativ Rengheet vum Botzprozess.

Schlëssel technesch Detailer: Fir déi duebel Ziler vun Duerchgank a Rengheet z'erreechen, benotzt den SU-3200 eng Serie vun innovativen Designen, déi an der Tabell hei ënnendrënner detailléiert sinn:

Technologiedimensioun | Technologienumm | Kärfunktioun a Method vun der Ëmsetzung

Duerchbroch an der Kapazitéitsverbesserung | Kompakt Kammer | Reduzéiert de Volumen vun enger eenzeger Prozesskammer op d'Halschent vum Volume vu sengem Virgänger, wouduerch et méiglech ass, méi Kammeren am selwechte Raum opzestellen, wouduerch den Duerchgank pro Flächeneenheet erhéicht gëtt.

High-Speed-Transfersystem | Optimiséiert d'Transferlogik an d'Geschwindegkeet vu Waferen tëscht de Kammeren, eng Schlësselënnerstëtzung fir en héijen Duerchgank vun 800 Waferen/Stonn (WPH) z'erreechen.

Rengheetssécherung | APAC Technologie | Ultra-propper Kammertechnologie ass e Sammelbegrëff fir eng Serie vun Technologien. Zu senge Kär-Ënnertechnologien gehéieren:

AMC Mikrokammer: Reduktioun vum bannenzege Volumen vun der Kammer op en Drëttel vun hirem Virgänger, wat e méi schnelle Gaswiessel erméiglecht an d'Ëmweltreinheet effektiv verbessert.

ABG Loftstroumausgläichschützel: Gëtt benotzt fir de proppere Loftstroum auszegläichen, deen vum ieweschten Héicheffiziente-Partikelfilter (FFU) erofgeblosen gëtt, fir Wirbelen oder dout Zonen an der Kammer ze vermeiden an eng effektiv Entfernung vu Partikelen ze garantéieren.

ASP Advanced Spritzschutz: Duerch präzis Design gëtt Chemikaliesprëtzer beim Chemikaliensprëtzen miniméiert an eng propper Waferveraarbechtungsëmfeld garantéiert.

APN Loftschutzdüse: Benotzt e "Loftvirhang" während der Trocknungsphase fir d'Waferuewerfläch ze schützen a Waasserflecken ze vermeiden, déi duerch Flëssegkeetsverdampfungsreschter verursaacht ginn.

Flexibel Chemikalienversuergung: Chemikalienquelle kënne flexibel arrangéiert ginn. Souwuel dynamesch Direktinjektiounssystemer (DDI) wéi och Schranksystemer si verfügbar, sou datt de Clienten flexibel no spezifesche Prozessufuerderunge wielen kënnen.

Einfach Ënnerhalt: Auszéibar Struktur: D'Prozesskammer kann wéi eng Tirang erausgezunn ginn fir einfach Botzen, Komponentenwiessel an aner Ënnerhaltsaarbechten, wat d'Ausfallzäit vun der Ausrüstung effektiv reduzéiert. Uwendungsberäicher: Vun modernster Fuerschung an Entwécklung bis zur reifer Produktioun

De SU-3200 huet eng breet Palette vun Uwendungen, déi verschidde Schlësselphasen vun der Hallefleederproduktioun ofdeckt.

Fortgeschratt Logik- a Speicherchips: De SU-3200 gëtt an der Fuerschung an Entwécklung a Produktioun vu Chips benotzt, dorënner 7nm a méi fortgeschratt Noden, souwuel a Frontend- (FEOL) wéi och a Backend- (BEOL) Prozesser.

Schlëssel Hallefleitermaterialien a Prozesser: Zu de ville Prozesser, déi et ënnerstëtzt, gehéiert d'Reinigung vun Hallefleitermaterialien vun der drëtter Generatioun wéi SiC (Siliziumkarbid) a GaN (Galliumnitrid).

Spitzenfuerschung a Kooperatioun am Ökosystem: Déi staark Leeschtung vum SU-3200 mécht en zur Wiel vu féierende Fuerschungs- an Entwécklungsinstituter weltwäit. Zum Beispill huet IBM den SU-3200 a sengem Fuerschungszentrum fir Hallefleeder zu Albany, New York, implementéiert. Ausserdeem huet SCREEN sech mat Applied Materials zesummegedoen an den SU-3200 a sengem META Center fir d'Entwécklung vu méi fortgeschrattene Chipprozesser installéiert.

Maartpositioun a historesch Bäiträg

Den SU-3200 ass net nëmmen e erfollegräicht Produkt, mä och e Schlësselfaktor fir d'Maartführungspositioun vu SCREEN ze etabléieren.

Maartdominanz: Nom Erfolleg vum SU-3200 huet SCREEN seng féierend Positioun am Beräich vun de Botzmëttelen weider verstäerkt. No offiziellen Donnéeën vu SCREEN haten seng kumulativ Liwwerunge vun Hallefleederreinigungsapparater am Juli 2025 iwwer 15.000 Eenheeten, an huet domat den éischte weltwäite Maartundeel a verschiddene Segmenter, dorënner Eenzelwaferreinigung, Batchreinigung a Spinreinigung, gehalen.

Akommespilier: Laang Zäit war de SU-3200 de Starprodukt vu SCREEN, an d'Recetten aus dem Botzgeschäft waren staark vun dësem Modell ofhängeg.