SEMES Waferreiniger BLUEICE PRIME

De BLUEICE PRIME vu SEMES ass e vollautomatiséiert 300 mm grousst Eenzelwafer-Reinigungssystem, dat fir d'Produktioun vun der fortgeschrattener Prozesstechnologie (LPT) Logik a Speicherchips entwéckelt gouf. Entwéckelt a produzéiert vu SEMES, engem Haaptausrüstungsliwwerant vun Samsung Electronics, ass et e Schlësselstéck fir d'Verbesserung vun der Masseproduktiounserträg vu modernen Prozesser wéi 2nm.

Kärleistung: Gläichgewiicht tëscht fortgeschrattene Prozesser a Kapazitéit

Iwwerleeën Prozessleistung: Fäeg fir Partikelen op der 19nm-Niveau ze entfernen, wat d'Ätzuniformitéit ëm iwwer 40% däitlech verbessert.

Héicheffizient Kapazitéitsdesign: Als 300mm Eenzelwafer-Reinigungssystem handhabt et iwwer 500 Waferen pro Stonn (WPH) a gerecht effektiv den Ufuerderunge vun der grousser Masseproduktioun.

Technesch Eegeschaften: Verschidde onofhängeg entwéckelt innovativ Designen

Innovativen Héichtemperaturphosphorsäureprozess: Säin Haaptprozess benotzt Héichtemperaturphosphorsäure fir d'Waferätzen an -strippen. Eng präzis Kontroll vum Sprëtzen an der Temperatur reduzéiert effektiv d'Prozessverdeelung an d'Defektraten, wouduerch d'2nm-Chip-Ausbezuelung däitlech verbessert gëtt.

**Onofhängeg entwéckelt Héichtemperatur-Chuck:** Dës Technologie verbessert d'Temperaturuniformitéit beim Wafererhëtzen, reduzéiert Prozessdefekter däitlech an iwwerwënnt d'Limiten vun traditionelle Naassreinigungsmethoden.

**Ëmfangräich Kontaminatiounskontroll:** D'NIC (Non-Interaction Clean) Kammer verhënnert effektiv Kräizkontaminatioun, kombinéiert mat der SF-Aerosol (High-Speed/Uniform Droplet) Technologie fir kierperlech Reinigung.

**Héich integréiert intelligent System:** Ausgestatt mat APAC, AIS (Automatic Detection System) a SEAS (Smart Equipment Analysis System), erreecht et eng präzis Flowkontroll an intelligent Analyse vum Ausrüstungsstatus.

**Uwendungsgebidder:** Baséiert bei Samsung, a betreit Top-Clienten weltwäit.

BLUEICE PRIME zielt haaptsächlech op déi féierend global Logikchip-Gießereien a Speicherhersteller. Duerch de Status vun der Mammegesellschaft SEMES als Duechtergesellschaft vun der Samsung Group ass dës Ausrüstung déif an déi fortgeschrattst Wafer-Fab-Produktiounslinne vu Samsung integréiert. Seng Naassreinigungsléisung bildt e komplette Ökosystem mat anere Kär-Front-End-Ausrüstung wéi Lithographie (OMEGA Serie) an Ätzung (MICHELAN Serie). Et ass derwäert ze bemierken, datt SEMES säi Geschäftsberäich op de ganze HBM (High Bandwidth Memory) Produktiounsberäich erweidert huet, andeems se erfollegräich eng Thermobonding-Maschinn (TC Bonder) fir HBM Chip Stacking entwéckelt a masseproduzéiert huet.

Zesummegefaasst weist BLUEICE PRIME déi grouss technologesch Stäerkt vu SEMES am Beräich vun den Hallefleederausrüstung. Et ass e wichtegen Deel vun de Beméiunge vun der Samsung Group, seng Positioun als weltwäite Leader an fortgeschrattene Prozesstechnologien ze stäerken an e Schlësselinstrument, dat modern Produktioun ënner 2nm ënnerstëtzt.