SRM Z208 یک دستگاه تست کاملاً خودکار در سطح قالب است که توسط SRM Integration تولید شده است. این دستگاه به جای کار با تراشههای بستهبندی شده، برای انجام تضمین کیفیت و آزمایش روی قالبهای خالی واقع در ویفرهای نیمههادی طراحی شده است. Z208 با ادغام مجموعهای از وظایف تضمین کیفیت در یک سیستم واحد، فرآیند تولید کارآمدتر و دقیقتری را امکانپذیر میکند.
مشخصات فنی و پارامترها
پارامترهای فنی کلیدی تجهیزات عبارتند از:
نوع تجهیزات: دستگاه تست سطح قالب
حداکثر توان عملیاتی (UPH): تا ۳۶۰۰۰ واحد در ساعت
میانگین زمان بین خرابیها (MTBF): > 200 ساعت
میانگین زمان بین پاس گلها (MTBA): > 60 دقیقه
انواع بستههای سازگار: QFN، MLP، SOIC، SOT23، SC70، SOT89، SOT223
اندازههای پشتیبانیشده برای قالبها: ۱.۴x۱.۴ (TDFN)، ۲x۲ (QFN)، ۲.۵x۳.۲ (QFN) و غیره
روش تغذیه: کاسه یا لوله ارتعاشی
روش خروجی: نوار و قرقره
الزامات تأمین هوا: حداقل ۵ بار (۷۰ PSI)؛ سرعت جریان ۳۰۰ تا ۵۰۰ لیتر در دقیقه
برق مورد نیاز: 208/415 ولت AC، سه فاز
سال تولید: واحدها معمولاً مربوط به سالهای ۲۰۱۳ یا ۲۰۱۵ هستند
اصل عملیات
SRM Z208 از طریق هماهنگی دقیق سختافزار و نرمافزار، آزمایش را انجام میدهد:
موقعیتیابی بصری: دوربینهای با وضوح بالا تصاویری از ویفر قرار داده شده روی سکوی کار را ضبط میکنند.
اندازهگیری دقیق: بر اساس دادههای تصویری، بازوهای رباتیک از اجزای بازرسی تخصصی - مانند پروبها و تیغهها - برای انجام بازرسیها و اندازهگیریهای دقیق ویفر استفاده میکنند.
تحلیل دادهها: یک کامپیوتر داخلی، دادههای اندازهگیری را تحلیل میکند تا مشخص شود که آیا ویفر مطابق با استانداردهای کیفیت است یا خیر.
تشخیص نقص: این تجهیزات، نقصهای سطحی بسیار ریز روی ویفر، مانند حفرهها یا ناهمواریها را تشخیص میدهد.
کل فرآیند از طریق هماهنگی دو نوع نرمافزار کنترل میشود: نرمافزار تضمین کیفیت (برای تشخیص نقص) و نرمافزار اتوماسیون (برای کنترل وظایف بازوی رباتیک). ویژگیها و مزایای کلیدی
دقت و سرعت بالا: به توان عملیاتی تا ۳۶۰۰۰ واحد در ساعت (UPH) دست مییابد و ضمن حفظ کیفیت بازرسی از طریق دوربینهای با وضوح بالا و ابزارهای کالیبراسیون دقیق، بهرهوری بالا را تضمین میکند.
کاملاً خودکار و هوشمند: بینایی، اندازهگیری، تجزیه و تحلیل و مرتبسازی را در یک گردش کار کاملاً خودکار ادغام میکند و مداخله دستی و خطای انسانی را به حداقل میرساند.
هسته کنترل قدرتمند: مجهز به یک کنترلر حرکت ۸ محوره و پشتیبانی از ادغام EtherCAT، امکان کنترل کارآمد کل خط تولید را فراهم میکند.
انعطافپذیری و سازگاری: دارای طراحی انعطافپذیری است که قادر به تطبیق با ارتقاها یا تغییرات آینده است.
پشتیبانی از بستههای چندگانه: قابلیت مدیریت انواع مختلف بستهها، از جمله QFN، MLP، SOIC و SOT23.
گزینههای ورودی/خروجی متنوع: از تغذیه کاسهای یا لولهای ارتعاشی و همچنین خروجی نوار و قرقره پشتیبانی میکند.
سناریوهای کاربردی
SRM Z208 در درجه اول به فرآیند front-end نیمههادی خدمت میکند و ارزش اصلی را در آزمایش سطح ویفر و مدیریت بازده ارائه میدهد:
تولید ویفر: قبل از خرد کردن و بستهبندی، تک تک قالبهای روی ویفر را آزمایش میکند و امکان غربالگری زودهنگام تراشههای معیوب را فراهم میکند.
تضمین کیفیت: به عنوان یک مرحله حیاتی کنترل کیفیت در فرآیند تولید عمل میکند و تضمین میکند که فقط قالبهای واجد شرایط به مراحل بستهبندی پرهزینه بعدی راه پیدا میکنند.
تحقیق و توسعه و اعتبارسنجی: مناسب برای توصیف و اعتبارسنجی محصولات جدید در سطح ویفر.
خلاصه
به طور خلاصه، SRM Z208 یک مرتبساز سطح تراشه با سرعت بالا و کاملاً خودکار است که به طور خاص برای آزمایش سطح ویفر نیمههادی طراحی شده است. با انجام بازرسی دقیق روی قالبها قبل از بستهبندی، این دستگاه به عنوان ابزاری حیاتی برای اطمینان از بازده تراشه و کنترل هزینههای تولید عمل میکند. توان عملیاتی چشمگیر ۳۶۰۰۰ UPH و سازگاری گسترده با انواع بستهبندی، آن را به یک دارایی قدرتمند در فرآیند آزمایش ویفر تبدیل میکند.
