پاک کننده ویفر SEMES مدل BLUEICE PRIME

BLUEICE PRIME شرکت SEMES یک سیستم تمیزکننده تک ویفر کاملاً خودکار ۳۰۰ میلی‌متری است که برای تولید تراشه‌های منطقی و حافظه با فناوری فرآیند پیشرفته (LPT) طراحی شده است. این سیستم که توسط SEMES، یکی از تأمین‌کنندگان اصلی تجهیزات تحت نظارت سامسونگ الکترونیکس، توسعه و تولید شده است، قطعه‌ای کلیدی برای بهبود بازده تولید انبوه فرآیندهای پیشرفته‌ای مانند ۲ نانومتر است.

عملکرد اصلی: ایجاد تعادل بین فرآیندهای پیشرفته و ظرفیت

عملکرد برتر فرآیند: قادر به حذف ذرات در سطح ۱۹ نانومتر، که به طور قابل توجهی یکنواختی اچینگ را بیش از ۴۰٪ بهبود می‌بخشد.

طراحی ظرفیت با راندمان بالا: به عنوان یک سیستم تمیز کردن تک ویفر 300 میلی‌متری، بیش از 500 ویفر در ساعت (WPH) را پردازش می‌کند و به طور مؤثر نیازهای تولید انبوه در مقیاس بزرگ را برآورده می‌کند.

ویژگی‌های فنی: چندین طرح نوآورانه که به طور مستقل توسعه یافته‌اند

فرآیند نوآورانه اسید فسفریک با دمای بالا: فرآیند اصلی آن از اسید فسفریک با دمای بالا برای حکاکی و لایه‌برداری ویفر استفاده می‌کند. کنترل دقیق پاشش و دما به طور موثری پراکندگی فرآیند و میزان نقص را کاهش می‌دهد و به طور قابل توجهی بازده تراشه‌های ۲ نانومتری را بهبود می‌بخشد.

**سه نظام دما بالای توسعه‌یافته مستقل:** این فناوری یکنواختی دما را در حین گرمایش ویفر بهبود می‌بخشد، نقص‌های فرآیند را به میزان قابل توجهی کاهش می‌دهد و بر محدودیت‌های روش‌های سنتی تمیزکاری مرطوب غلبه می‌کند.

**کنترل جامع آلودگی:** محفظه NIC (تمیزکننده بدون تداخل) به طور موثری از آلودگی متقاطع جلوگیری می‌کند، همراه با فناوری SF-Aerosol (قطرات پرسرعت/یکنواخت) برای تمیز کردن فیزیکی.

**سیستم هوشمند بسیار یکپارچه:** مجهز به APAC، AIS (سیستم تشخیص خودکار) و SEAS (سیستم تجزیه و تحلیل تجهیزات هوشمند)، کنترل دقیق جریان و تجزیه و تحلیل هوشمند وضعیت تجهیزات را محقق می‌کند.

**زمینه‌های کاربرد:** مستقر در سامسونگ، ارائه خدمات به مشتریان برتر جهانی.

BLUEICE PRIME در درجه اول تولیدکنندگان برتر تراشه‌های منطقی و حافظه در جهان را هدف قرار می‌دهد. این تجهیزات با بهره‌گیری از جایگاه شرکت مادر خود، SEMES، به عنوان یکی از شرکت‌های تابعه گروه سامسونگ، عمیقاً در پیشرفته‌ترین خطوط تولید ویفر سامسونگ ادغام شده است. راهکار تمیزکاری مرطوب آن، یک اکوسیستم کامل را با سایر تجهیزات اصلی جلویی مانند لیتوگرافی (سری OMEGA) و اچینگ (سری MICHELAN) تشکیل می‌دهد. شایان ذکر است که SEMES دامنه کسب‌وکار خود را به کل حوزه تولید HBM (حافظه با پهنای باند بالا) گسترش داده و با موفقیت یک دستگاه اتصال حرارتی (TC Bonder) را برای انباشت تراشه‌های HBM توسعه داده و به تولید انبوه رسانده است.

به طور خلاصه، BLUEICE PRIME قدرت تکنولوژیکی عمیق SEMES را در زمینه تجهیزات نیمه‌هادی نشان می‌دهد. این بخش مهمی از تلاش‌های گروه سامسونگ برای تثبیت موقعیت خود به عنوان یک رهبر جهانی در فناوری‌های پیشرفته فرآیند و ابزاری کلیدی برای پشتیبانی از تولید پیشرفته زیر 2 نانومتر است.