Panasonic PSX307 प्लाज्मा सफाई मशीन

पैनासोनिक PSX307 एकः स्वचालितः इनलाइन प्लाज्मा सफाई प्रणाली अस्ति यत् सबस्ट्रेट् तथा वेफर इत्येतयोः कृते डिजाइनं कृतम् अस्ति, यत् विशेषतया आधुनिक अर्धचालकनिर्माणस्य उच्च-थ्रूपुट-माङ्गं पूरयितुं अभियंता अस्ति अत्याधुनिक समानान्तर-प्लेट-इलेक्ट्रोड-प्रौद्योगिक्याः लाभं गृहीत्वा, एषा प्रणाली उत्पादनदक्षतां १.५ गुणान् वर्धयति, तथैव प्रक्रियायाः गुणवत्तां सुनिश्चितं करोति; उन्नतपैकेजिंगक्षेत्रे सम्मुखीभूतानां अधिकाधिकजटिलपृष्ठचिकित्साचुनौत्यं सम्बोधयितुं विनिर्मितं उच्चप्रदर्शनसमाधानं प्रदाति।

**सञ्चालन सिद्धान्त** २.

PSX307 समानान्तर-प्लेट-विद्युत्-विन्यासस्य माध्यमेन एकरूपं प्लाज्मा-क्षेत्रं जनयितुं 13.56 मेगाहर्ट्ज-रेडियो-आवृत्ति-(RF)-शक्ति-स्रोतस्य उपयोगं करोति । यदा प्रक्रियावायुः-आर्गोन इत्यादयः-आयनीकृताः भवन्ति तदा परिणामी उच्च-ऊर्जा-कणाः भौतिक-बम-प्रहारस्य रासायनिक-विक्रियाणां च समन्वयात्मक-अन्तर्क्रियायाः माध्यमेन नैनो-परिमाणस्य सफाईं पृष्ठसक्रियीकरणं च प्राप्नुवन्ति दक्षतायाः एकरूपतायाः च दृष्ट्या एतत् डिजाइनं पारम्परिकबैच-प्रकारस्य प्लाज्मा-प्रणालीनां अपेक्षया मौलिकलाभान् प्रदाति । **मुख्यप्रतिरूपाः उत्पादस्थापनं च**

PSX307 श्रृङ्खलायां मॉडल्-परिधिः अस्ति, यत् विविध-उत्पादन-रेखानां विविध-आवश्यकतानां पूर्तये डिजाइनं कृतम् अस्ति । प्रत्येकस्य प्रतिरूपस्य मूलविशेषतानां तुलना अधः प्रदत्ता अस्ति ।

**विशेषता** | **S-प्रकार** | **म-प्रकार** | **PSX307A** 10।

**उपकरण स्थापन** | लघुतः मध्यमपर्यन्तं उपधातुनां कृते उपयुक्तम् | मध्यमतः बृहत्पर्यन्तं उपधातुषु उपयुक्तम् | वेफर-स्तरस्य पैकेजिंग् (WLP) कृते उपयुक्तम्

**प्रसंस्करण लक्ष्य** | उपधातु (उदा., पीसीबी) | उपधातु (उदा., पीसीबी) | ३०० मि.मी.पर्यन्तं वेफराः (चतुष्कोणयुक्ताः वा विना वा)

**सबस्ट्रेट आकार परिधि** | L 50 x W 20 to L 250 x W 75 mm | L 50 x W 20 to L 330 x W 120 mm | ७७.५ मि.मी.विस्तारयुक्तानां चतुर्णां उपस्तरानाम् एकत्रैव संसाधनं कर्तुं समर्थः

**बाह्य आयाम (वाहक सहित)** | प 2113 × घ 1100 × एच 1450 मिमी | प 2266 × घ 1100 × एच 1450 मिमी | विस्तरेण कृपया तकनीकीविनिर्देशपत्रं पश्यन्तु

**उपकरणभार** | लगभग 1000। ८५० किलो | लगभग 1000। ७२५ किग्रा | - ९.

**सबस्ट्रेट मोटाई** | ०.५ मि.मी.तः २.० मि.मी.पर्यन्तं (केवलं सन्दर्भार्थम्) | ०.५ मि.मी.तः २.० मि.मी.पर्यन्तं | - ९.

**विस्तृत विनिर्देश (PSX307 आधार मॉडल)**

**पैरामीटर श्रेणी** | **विस्तृत विनिर्देशः**

**उपकरण मॉडल** | एनएम-ईएफपी1ए

**सफाई विधि** | समानांतर-प्लेट आर एफ बैक-स्पटरिंग

**निर्वाह गैस** | आर्गन (Ar) [आक्सीजन (O2) वैकल्पिक]।

**बाह्य आयाम (मुख्य इकाई)** | प 930 × घ 1100 × एच 1450 मि.मी

**उपकरण वजन (मुख्य इकाई)** | लगभग 1000। ५५५ कि.ग्रा

**विद्युत् आपूर्ति विनिर्देश** | एकचरणीय एसी २०० वी, २.०० केवीए (शिखर ५.०० केवीए) २.

**गैस आपूर्ति आवश्यकताएँ** | ०.४९ एमपीए ...अथवा अधिकं; ६.५ एल/मिनिट् (एएनआर) २.

**कोर कार्याणि तथा तकनीकी विशेषताः**

उच्चस्तरीयस्वचालनस्य बुद्धिमत्तायाः च विशेषतां विद्यमानं PSX307 मुख्यतया निम्नलिखितपक्षेषु स्वस्य तकनीकीश्रेष्ठतां प्रदर्शयति ।

**कक्षस्य डिजाइनस्य संतुलनं एकरूपता तथा एच् दर:** सुनिश्चितं करोति यत् प्रत्येकं प्रसंस्करणबैचः अत्यन्तं सुसंगतं एचिंग् परिणामं ददाति-प्रक्रियास्थिरतायाः उपजस्य च कृते एकः महत्त्वपूर्णः कारकः।

**पैनासोनिकस्य स्वामित्वयुक्तं प्लाज्मानिरीक्षणकार्यम्:** विद्युतस्थैतिकनिर्वाहस्य (ESD) क्षतिं निवारयितुं प्लाज्मानिर्वाहविसंगततानां वास्तविकसमयनिरीक्षणं दमनं च, येन उत्पादानाम् "क्षतिरहितप्रसंस्करणं" सुनिश्चितं भवति।

**अनुसन्धानक्षमता कार्यम्:** अर्धचालकनिर्माणक्षेत्रस्य कठोरगुणवत्तानियन्त्रणआवश्यकतानां पूर्तिं कृत्वा उत्पादनप्रक्रियायाः कृते व्यापकदत्तांशनिरीक्षणक्षमतां प्रदाति।

**इन्-लाइन तथा स्वचालित परिवहन:** लोडर/अनलोडर विन्यासानां तथा इन-लाइन विनिर्देशानां समर्थनं करोति, यत् मैनुअल् हस्तक्षेपस्य आवश्यकतां विना स्वचालित-उत्पादन-रेखासु प्रत्यक्ष-एकीकरणस्य अनुमतिं ददाति।

**मूल लाभाः अनुप्रयोगक्षेत्राणि च**

पूर्वोक्तकोरप्रौद्योगिकीनां लाभं गृहीत्वा PSX307 उत्पादनस्य गुणवत्तां वर्धयितुं व्ययस्य न्यूनीकरणे च महत्त्वपूर्णलाभान् प्रदर्शयति, विशेषतया निम्नलिखितक्षेत्रेषु:

**ब्रेकथ्रू लागत-प्रभावशीलता:** सतह-निकेल-यौगिकं दूरीकर्तुं Argon (Ar) प्लाज्मा-प्रसंस्करण-प्रौद्योगिक्याः उपयोगेन, एतत् न्यून-लाभस्य "Flash Gold"-प्लेटिंग-प्रक्रियायाः स्वीकरणं सक्षमं करोति तत्सङ्गमेन, एतत् प्रभावीरूपेण डिलेमिनेशन, शून्यता, दरार इत्यादीनां विषयाणां न्यूनीकरणं करोति ये पैकेजिंग् प्रक्रियायाः समये उत्पद्यन्ते । **महत्त्वपूर्णदक्षतासुधारः:** स्वचालितपरिवहनप्रणाल्या सह संयुक्तस्य लाइन-अन्तर्गत-निर्माणस्य धन्यवादेन, उपकरणं प्रतिघण्टां 360 सबस्ट्रेट्/पट्टीपर्यन्तं प्रसंस्करणवेगं प्राप्नोति-पारम्परिक-उपकरणानाम् तुलने दक्षतायां 50% वृद्धिं प्रतिनिधियति।

विविधप्रक्रियाआवश्यकतानां पूर्तये पृष्ठीयसंशोधनम् : १.

**धातुबन्धनक्षमतायां सुधारः:** तारबन्धनात् अथवा फ्लिप-चिपसङ्घटनात् पूर्वं कार्बनिकदूषकाणां निष्कासनेन कतरनीशक्तिः बन्धनविश्वसनीयतां च महत्त्वपूर्णतया वर्धते।

**बढ़ा राल आसंजन:** आक्सीजन प्लाज्मा (O2) इत्यस्य उपयोगेन सतहसंशोधनेन इपोक्सी मोल्डिंग यौगिकस्य आसंजनशक्तिः दुगुणा भवति तथा च अण्डरफिल सामग्रीः, प्रभावीरूपेण विच्छेदनं निवारयति।

**अनुकूलित-अण्डरफिल-प्रक्रियाः:** केशिका-प्रवाह-लक्षणं सुधारयति, अण्डरफिल-समयं 40% अधिकं न्यूनीकरोति-एषः लाभः बृहत्-स्वरूपस्य चिप्-इत्यस्य उच्च-I/O-घनत्वयुक्तानां च कृते विशेषतया मूल्यवान् अस्ति

**मुख्य अनुप्रयोगक्षेत्राणि**

उच्च-प्रदर्शन-क्षमतायाः कारणात् PSX307 इत्यस्य उच्च-अन्त-अर्धचालक-निर्माण-प्रक्रियासु व्यापकरूपेण उपयोगः भवति:

**वेफर-स्तर पैकेजिंग:** मर बंधन से पूर्व वेफर सतह परिवर्तन; फ्लिप्-चिप्-बन्धनात् पूर्वं सोल्डर-बम्प्स्-सफाई; तथा TSV (Through-Silicon Via) संरचनानां अन्तः अवशेषनिष्कासनं (desmearing) ।

**उन्नत पैकेजिंग:** तार बन्धन, अण्डरफिलिंग, तथा मोल्डिंग प्रक्रियाभ्यः पूर्वं पीसीबी सब्सट्रेटस्य सफाई तथा पृष्ठसक्रियः।

**विशिष्टप्रक्रियाः सामग्रीः च:** वेफरसोल्डरबम्प्स् तः राल अवशेषाणां निष्कासनम्; अल्पलाभस्य सुवर्णलेपनस्तरस्य सोल्डरक्षमतायां सुधारः; तथा तत्सदृशाः अनुप्रयोगाः।

**पूरक उपकरण**

पैनासोनिकस्य अर्धचालकसमाधानविभागस्य अभिन्नभागत्वेन, PSX307 सामान्यतया पैनासोनिकस्य उच्च-सटीक-एमडी-पी-श्रृङ्खला-फ्लिप-चिप्-बॉण्डर्-सहितं कार्यं करोति इदं तालमेलं सफाईतः स्थापनपर्यन्तं निर्विघ्नं संक्रमणं सुनिश्चितं करोति, यस्य परिणामेण समग्रं उत्पादविश्वसनीयतायां पर्याप्तं सुधारः भवति ।

**संक्षेपः**

निष्कर्षतः, Panasonic PSX307 एकः प्रौद्योगिकी उन्नतः प्लाज्मा सफाई प्रणाली अस्ति यत् विशेषतया सामूहिक-उत्पादन-वातावरणानां कृते अभियंता अस्ति । अभिनव समानान्तर-प्लेट-प्रौद्योगिक्याः एकीकरणस्य माध्यमेन तथा च स्वामित्व-निरीक्षण-प्रणाल्याः माध्यमेन, एतत् उत्पादनदक्षतायां महत्त्वपूर्णं लाभं प्राप्नोति तथा च निर्माण-व्ययस्य प्रभावी-कमीकरणं करोति, एतत् सर्वं असाधारण-एकरूपतायाः सह अविनाशकारी-प्रक्रियाम् सुनिश्चितं करोति बृहत्-स्वरूपस्य सब्सट्रेट्स् अथवा 300mm वेफर्स् सम्मिलितानाम् अनुप्रयोगानाम् कृते-तथा च यत्र तारबन्धनम्, अण्डरफिलिंग् इत्यादीनां महत्त्वपूर्णप्रक्रियाणां विश्वसनीयतायाः उच्चतमस्तरस्य आवश्यकता भवति-PSX307 गम्भीरविचारणीयसमाधानरूपेण उत्तिष्ठति।