नोर्डसन प्लाज्मा क्लीनर MARCH AP-600

Nordson MARCH AP-600 इति एकः क्लासिकः बेन्चटॉप् वैक्यूम प्लाज्मा प्रोसेसिंग् प्रणाली अस्ति । असाधारणविश्वसनीयतायाः उपयोगस्य च सुगमतायाः कृते प्रसिद्धा एषा प्रणाली अर्धचालकनिर्माणं, सूक्ष्मविद्युत्विज्ञानं, चिकित्सायन्त्रनिर्माणं च सहितं अनेकक्षेत्रेषु महत्त्वपूर्णां भूमिकां निर्वहति

**मुख्य तकनीकी विनिर्देश**

एपी-६०० इत्यस्य प्रमुखाः तकनीकीविनिर्देशाः निम्नलिखितरूपेण सन्ति, येषां मूलकार्यस्य, कार्यक्षमतायाः च त्वरितं अवलोकनं भवद्भ्यः प्रदातुं विनिर्मितम् अस्ति ।

**विनिर्देश मद** | **विशिष्ट पैरामीटर**

**उपकरण प्रकार** | बेंचटॉप, पूर्णतया स्वचालित बैच वैक्यूम प्लाज्मा प्रसंस्करण प्रणाली

**आयाम (W × D × H)** | ५६९ × ८६९ × ७०४ मि.मी

**शुद्ध वजन** | २२१ किलो (४८७ पाउण्ड्) २.

**कक्ष सामग्री** | उच्चगुणवत्तायुक्ताः एल्युमिनियमः एल्युमिनियमः च स्थापनम्

**कक्ष आयतन** | ५०.४ लीटर

**आर एफ पावर सप्लाई** | मानकः 600W @ 13.56 मेगाहर्ट्ज (स्वचालितप्रतिबाधामेलनजालेन सुसज्जितम्)

**विद्युत् विन्यास** | 7 हटनीयानि, स्थिति-समायोज्य-इलेक्ट्रोड् ट्रे पर्यन्तं समर्थयति (प्रत्यक्षं तथा अधःप्रवाह-प्लाज्मा-मोडं समर्थयति)

**गैस नियन्त्रण** | मानकम् : २ चैनल्स्; ४ पर्यन्तं द्रव्यमानप्रवाहनियन्त्रकैः (MFCs) सह विन्यासयोग्यम् ।

**नियंत्रण प्रणाली** | PLC नियन्त्रण + टचस्क्रीन मानव-मशीन अन्तरफलक (HMI); वास्तविकसमयप्रक्रियानिरीक्षणं तथा च आँकडानिरीक्षणक्षमता समर्थयति

**मुख्यविशेषताः लाभाः च**

एपी-६०० इत्यस्य असाधारणं कार्यक्षमता निम्नलिखितमुख्यविशेषताभ्यः उद्भूतम् अस्ति ।

**सुपीरियर प्रोसेसिंग एकरूपता:** एपी-600 इत्यस्य प्राथमिकं डिजाइन उद्देश्यं "अत्यन्तं एकरूपं" प्लाज्मा सफाई तथा प्रसंस्करण परिणामान् प्राप्तुं भवति। इदं उद्देश्यं तस्य 13.56 मेगाहर्ट्ज आरएफ-विद्युत्-आपूर्तिस्य स्वचालित-प्रतिबाधा-मेलन-जालस्य च निर्बाध-एकीकरणस्य माध्यमेन साकारं भवति, यत् प्रत्येकं प्रक्रिया-सञ्चालनेन सह अत्यन्तं पुनरावृत्ति-परिणामान् सुनिश्चितं करोति

**लचीलाः बहुमुखी च प्रसंस्करणविधाः:** प्रणाल्याः लचीलाः ट्रे डिजाइनः त्रीणि विशिष्टानि इलेक्ट्रोड् विन्यासविधानानि समर्थयति: Powered-to-Ground, Ground-to-Powered, Powered-to-Powered च। **प्रत्यक्ष प्लाज्मा मोड:** नमूनापृष्ठे एकत्रितरूपेण भौतिकबमबारी तथा रासायनिकविक्रियाः कर्तुं उच्च-ऊर्जा-आयनस्य उपयोगं करोति; पृष्ठसक्रियीकरणस्य गहनसफाईप्रयोगस्य च आदर्शः विकल्पः । **डाउनस्ट्रीम (दूरस्थ) प्लाज्मा मोड:** नमूना प्लाज्मा स्रोततः विशिष्टदूरे स्थापयति, केवलं दीर्घायुषः मुक्तकणानां संपर्कं करोति। अस्मिन् मोडे सफाईप्रक्रिया सौम्यतरं भवति, येन आयनबमप्रहाराय संवेदनशीलाः अथवा विद्युत्स्थिरनिर्वाहस्य (ESD) क्षतिं प्रति संवेदनशीलाः सटीकयन्त्राणां संसाधनार्थं विशेषतया उपयुक्ता भवति **सरलं सुरक्षितं च संचालनम्:** PLC-नियन्त्रितं टचस्क्रीन्-अन्तरफलकं दर्शयति यत् सहजं तथा उपयोक्तृ-अनुकूलं भवति, प्रक्रिया-मापदण्डानां तथा स्थिति-सूचनायाः वास्तविक-समय-प्रदर्शनं प्रदाति। अन्तःनिर्मितं इन्टरलॉक सुरक्षाद्वारं तथा हटनीयं पटल डिजाइनं नियमितं अनुरक्षणं आन्तरिकं परिचालनप्रक्रियाश्च सरलीकरोति तथा च परिचालनसुरक्षां सुनिश्चितं करोति।

**व्यापकप्रक्रियागैससंगतता:** प्रक्रियागैसानां विस्तृतश्रेणीं समर्थयति, यत्र आर्गन (Ar), आक्सीजन (O2), हाइड्रोजन (H2), हीलियम (He), तथा च फ्लोरीनयुक्ताः गैसाः (उदाहरणार्थं, CF4) सन्ति

**सुविधाजनकाः उपयोगितासंयोजनानि:** आवधिक-मापनं प्रमाणीकरणं च इत्यादीनां विविध-सहायक-आवश्यकतानां समायोजनाय सुलभतया सुलभ-उपयोगिता-अन्तरफलकान् प्रदाति

**व्यापक अनुप्रयोगक्षेत्राणि**

पूर्वोक्तविशेषतानां आधारेण एपी-६०० प्रणाली अनेकक्षेत्रेषु व्यापकरूपेण प्रयोज्यम् अस्ति:

**अनुप्रयोग क्षेत्र** | **विशिष्टानुप्रयोगोदाहरणानि**

**अर्धचालक एवं सूक्ष्म इलेक्ट्रॉनिक्स निर्माण** | - **Die Attach पूर्व उपचार:** डाई आसंजन वर्धयति।

- **तार बन्धन पूर्व उपचार:** बन्धन शक्ति में सुधार करता है।

- **मोल्डिंग पूर्व-उपचार:** संकुल-विच्छेदनं न्यूनीकरोति।

- **फ्लिप-चिप अण्डरफिल् प्री-ट्रीटमेण्ट्:** अण्डरफिल् फ्लो रेट् सुधरति, शून्यतां न्यूनीकरोति, आसंजनं च वर्धयति।

- **Photoresist Removal / Descum:** एचिंग प्रक्रियाणां अनन्तरं अवशिष्टान् अवशेषान् स्वच्छं करोति।

- **विभिन्न दूषकाणां निष्कासनम् :** यथा कार्बनिकदूषकाः, ग्रीसः, धूलः, आक्साइडः, नैनोकणावशेषाः च। **चिकित्सा एवं जीवन विज्ञान** | - स्टेण्ट्, कैथेटर इत्यादीनां चिकित्सायन्त्राणां सफाई, बन्धनपूर्वचिकित्सा च; अन्यथा कठिनसंयोजनानां विषमसामग्रीणां बन्धनं सक्षमं करणं; इन्जेक्शन-ढालित-सिलिकोन-घटकानाम् पृष्ठीय-चिपचिपाहटं न्यूनीकरोति ।

- बायोचिप्स तथा सूक्ष्मद्रवयुक्तयन्त्राणां पृष्ठीयचिकित्सा।

**अन्य उन्नत विनिर्माण क्षेत्र** | - **PCB Manufacturing:** पृष्ठस्य अवशेषाणां निष्कासनं पृष्ठसक्रियीकरणं च अनन्तरं लेपनप्रक्रियाणां विश्वसनीयतां वर्धयितुं।

- **ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक्स एण्ड एडवांस्ड पैकेजिंग:** विभिन्नपैकेजिंग चरणेभ्यः पूर्वं सतहस्य आर्द्रतायां सुधारः, तस्मात् गमले तथा भरणसञ्चालनस्य प्रभावशीलतां वर्धयति।

**कार्य सिद्धान्त** २.

प्लाज्मासफाई मुख्यतया द्वौ प्रकारौ तन्त्रौ भवतः : भौतिकं रासायनिकं च ।

**भौतिकप्रतिक्रिया:** अक्रियवायुभ्यः उच्च-ऊर्जायुक्तानां आयनानां उपयोगः-यथा आर्गन (Ar)-पृष्ठस्य "बमबारी" कर्तुं भवति, येन प्रभावीरूपेण आलम्बनशीलाः दूषकाः दूरीकृताः भवन्ति

**रासायनिकप्रतिक्रिया:** आक्सीजन (O2) अथवा फ्लोरीनयुक्ताः वायुः प्रविष्टाः भवन्ति; परिणामी प्लाज्मायाः अन्तः मुक्तकणाः पृष्ठभागे कार्बनिकपदार्थैः सह विक्रियां कृत्वा वायुरूपाः उपोत्पादाः निर्मान्ति, ये ततः वैक्यूमपम्पेन निष्कासिताः भवन्ति

एपी-६०० इत्यस्य द्वौ कार्यविधौ एतयोः तन्त्रयोः मध्ये सन्तुलनं स्थापयितुं विनिर्मितम् अस्ति, यत् विशेषतया दत्तप्रक्रियायाः आवश्यकतानां पूर्तये निर्मितम् अस्ति

**सहयोगी पारिस्थितिकी तंत्र**

सम्पूर्णस्य उत्पादनपङ्क्तौ एपी-६०० बहुधा परितः उपकरणैः सह कार्यं करोति:

**अन्यनॉर्डसन-उपकरणैः सह:** एसएमटी अथवा पैकेजिंग-रेखासु, एपी-600 नोर्डसनस्य ASYMTEK-वितरण-/कोटिंग-प्रणालीभिः अथवा EFD-उच्च-सटीक-वितरण-वाल्वैः सह समन्वयात्मकरूपेण कार्यं कर्तुं शक्नोति। प्रक्रिया पृष्ठभागं सक्रियं कर्तुं पृष्ठीयशक्तिं वर्धयितुं च प्लाज्मा-शुद्धिकरणेन आरभ्यते, तदनन्तरं सटीकवितरणेन अन्ते उच्चगुणवत्तायुक्तं बन्धनं वा लेपनं वा परिणामं प्राप्तुं भवति

**अन्यप्रक्रियाउपकरणैः सह:** IC निर्माणकार्यप्रवाहेषु AP-600 इत्यस्य उपयोगः प्रायः लिथोग्राफीप्रणाली, आयनप्रत्यारोपणकर्ता, प्लाज्मा एचर्, स्कैनिङ्ग इलेक्ट्रॉनसूक्ष्मदर्शकः (SEM), उपकरणपरीक्षणप्रणाली इत्यादिभिः उपकरणैः सह संयोजनेन भवति, यत् महत्त्वपूर्णप्रक्रियासन्धिषु प्राचीनपृष्ठवातावरणं प्रदाति

**संक्षेपः**

सारांशेन, Nordson MARCH AP-600 इति शोध-श्रेणीयाः डेस्कटॉप-प्लाज्मा-प्रक्रियाकरण-प्रणाली अस्ति, या उच्च-सटीकतां, असाधारण-लचीलतां, उत्कृष्ट-लाभ-प्रभावशीलतां च संयोजयति इदं प्रभावीरूपेण अर्धचालक, सूक्ष्मइलेक्ट्रॉनिक्स, चिकित्सायन्त्राणि इत्यादिषु क्षेत्रेषु दृश्यमानानां पृष्ठस्य स्वच्छतायाः आसंजनस्य च कठोरआवश्यकतानां सम्बोधनं करोति, येन प्रक्रिया अनुसंधानविकासस्य अथवा लघु-बैच-उत्पादनस्य आदर्शः विकल्पः भवति