Nordson plazminis valytuvas MARCH AP-600

„Nordson MARCH AP-600“ yra klasikinė stacionari vakuuminė plazminio apdorojimo sistema. Ši sistema, žinoma dėl išskirtinio patikimumo ir naudojimo paprastumo, atlieka svarbų vaidmenį daugelyje sektorių, įskaitant puslaidininkių gamybą, mikroelektroniką ir medicinos prietaisų gamybą.

**Pagrindinės techninės specifikacijos**

Toliau pateikiamos pagrindinės AP-600 techninės specifikacijos, skirtos suteikti jums greitą pagrindinių funkcijų ir našumo apžvalgą.

**Specifikacijos elementas** | **Konkretus parametras**

**Įrangos tipas** | Stalinė, visiškai automatizuota partijų vakuuminė plazminio apdorojimo sistema

Matmenys (P × G × A) | 569 × 869 × 704 mm

**Grynasis svoris** | 221 kg (487 svarai)

**Kameros medžiaga** | Aukštos kokybės aliuminis ir aliuminio armatūra

**Kameros tūris** | 50,4 litro

**RF maitinimo šaltinis** | Standartinis: 600 W esant 13,56 MHz dažniui (su automatiniu impedanso suderinimo tinklu)

**Elektrodų konfigūracija** | Palaiko iki 7 nuimamų, reguliuojamos padėties elektrodų dėklų (palaiko tiesioginį ir žemesnio srauto plazmos režimus)

**Dujų valdymas** | Standartinis: 2 kanalai; Galima konfigūruoti iki 4 masės srauto valdiklių (MFC)

**Valdymo sistema** | PLC valdymas + jutiklinis žmogaus ir mašinos sąsajos ekranas (HMI); Palaiko procesų stebėjimą realiuoju laiku ir duomenų atsekamumą

**Pagrindinės savybės ir privalumai**

Išskirtinis AP-600 veikimas kyla iš šių pagrindinių savybių:

**Puikus apdorojimo vienodumas:** Pagrindinis AP-600 projektavimo tikslas – pasiekti „itin vienodus“ plazminio valymo ir apdorojimo rezultatus. Šis tikslas pasiekiamas sklandžiai integruojant 13,56 MHz radijo dažnių maitinimo šaltinį ir automatinį impedanso derinimo tinklą, užtikrinant labai pasikartojančius rezultatus kiekvieno proceso metu.

**Lankstūs ir universalūs apdorojimo režimai:** Sistemos lankstus dėklo dizainas palaiko tris skirtingus elektrodų konfigūravimo režimus: „Powered-to-Ground“, „Ground-to-Power“ ir „Powered-to-Power“. **Tiesioginės plazmos režimas:** Naudoja didelės energijos jonus, kad vienu metu atliktų fizinį bombardavimą ir chemines reakcijas mėginio paviršiuje; idealus pasirinkimas paviršiaus aktyvavimui ir giluminiam valymui. **Downstream (nuotolinis) plazmos režimas:** Mėginys dedamas tam tikru atstumu nuo plazmos šaltinio, veikiamas jį tik ilgaamžiais laisvaisiais radikalais. Valymo procesas šiuo režimu yra švelnesnis, todėl jis ypač tinka apdorojant tikslius įrenginius, kurie yra jautrūs jonų bombardavimui arba jautrūs elektrostatinės iškrovos (ESD) pažeidimams. **Paprastas ir saugus valdymas:** Turi PLC valdomą jutiklinį ekraną, kuris yra intuityvus ir patogus naudoti, teikiantis proceso parametrų ir būsenos informacijos rodymą realiuoju laiku. Integruotos blokavimo saugos durelės ir nuimamas skydelio dizainas užtikrina eksploatavimo saugą, kartu supaprastinant įprastinę priežiūrą ir vidines eksploatavimo procedūras.

**Platus technologinių dujų suderinamumas:** Palaiko platų technologinių dujų spektrą, įskaitant argoną (Ar), deguonį (O₂), vandenilį (H₂), helį (He) ir fluoro turinčias dujas (pvz., CF₄).

**Patogios komunalinių paslaugų jungtys:** Suteikia lengvai prieinamas komunalinių paslaugų sąsajas, kad būtų galima atlikti įvairius pagalbinius reikalavimus, pvz., periodinį kalibravimą ir patvirtinimą.

**Išsamios taikymo sritys**

Remiantis minėtomis savybėmis, AP-600 sistema yra plačiai taikoma įvairiose srityse:

**Taikymo sritis** | **Konkretūs taikymo pavyzdžiai**

**Puslaidininkių ir mikroelektronikos gamyba** | - **Štampų tvirtinimo išankstinis apdorojimas:** Pagerina kristalų sukibimą.

- **Vielų sujungimo išankstinis apdorojimas:** Pagerina sujungimo stiprumą.

- **Liejimo išankstinis apdorojimas:** Sumažina pakuotės atsisluoksniavimą.

- **„Flip-Chip“ užpildo išankstinis apdorojimas:** Pagerina užpildo tekėjimo greitį, sumažina tuštumų susidarymą ir pagerina sukibimą.

- **Fotorezistų šalinimas / Descum:** Pašalina ėsdinimo proceso metu likusius likučius.

- **Įvairių teršalų šalinimas:** pvz., organinių teršalų, riebalų, dulkių, oksidų ir nanodalelių likučių. **Medicinos ir gyvybės mokslai** | - Medicinos prietaisų, tokių kaip stentai ir kateteriai, valymo ir klijavimo išankstinis apdorojimas; galimybė sujungti skirtingas medžiagas, kurias kitaip sunku sujungti; liejimo būdu pagamintų silikoninių komponentų paviršiaus lipnumo mažinimas.

- Biolustų ir mikrofluidinių prietaisų paviršiaus apdorojimas.

**Kiti pažangios gamybos sektoriai** | - **PCB gamyba:** Paviršiaus likučių pašalinimas ir paviršiaus aktyvinimas, siekiant padidinti vėlesnių dengimo procesų patikimumą.

- **Optoelektronika ir pažangus pakavimas:** Pagerinamas paviršiaus drėkinamumas prieš įvairius pakavimo etapus, taip padidinant užpildymo ir užpildymo operacijų efektyvumą.

**Veikimo principas**

Plazminis valymas daugiausia apima dviejų tipų mechanizmus: fizinį ir cheminį.

**Fizinė reakcija:** Didelės energijos jonai iš inertinių dujų, tokių kaip argonas (Ar), naudojami paviršiui „bombarduoti“, efektyviai pašalinant prilipusius teršalus.

**Cheminė reakcija:** Į plazmą įvedamas deguonis (O₂) arba fluoro turinčios dujos; susidariusioje plazmoje esantys laisvieji radikalai reaguoja su paviršiuje esančiomis organinėmis medžiagomis ir sudaro dujinius šalutinius produktus, kurie vėliau išsiurbiami vakuuminiu siurbliu.

Du AP-600 veikimo režimai sukurti taip, kad būtų pasiekta šių dviejų mechanizmų pusiausvyra, specialiai pritaikyta konkretaus proceso reikalavimams.

**Bendradarbiaujanti ekosistema**

Visoje gamybos linijoje AP-600 dažnai veikia kartu su aplinkine įranga:

**Su kita „Nordson“ įranga:** SMT arba pakavimo linijose AP-600 gali sinergiškai veikti su „Nordson“ ASYMTEK dozavimo / dengimo sistemomis arba EFD didelio tikslumo dozavimo vožtuvais. Procesas prasideda plazminiu valymu, siekiant aktyvuoti paviršių ir padidinti paviršiaus energiją, po kurio seka tikslus dozavimas, kad galiausiai būtų pasiekti aukštos kokybės sukibimo arba dengimo rezultatai.

**Su kita technologine įranga:** Integruotų grandinių gamybos procesuose AP-600 dažnai naudojamas kartu su tokia įranga kaip litografijos sistemos, jonų implantatoriai, plazmos ėsdinimo įrenginiai, skenuojantys elektroniniai mikroskopai (SEM) ir įrenginių bandymo sistemos, užtikrinant nepriekaištingą paviršiaus aplinką svarbiausiuose proceso etapuose.

**Santrauka**

Apibendrinant, „Nordson MARCH AP-600“ yra moksliniams tyrimams skirta stalinė plazminio apdorojimo sistema, kurioje derinamas didelis tikslumas, išskirtinis lankstumas ir išskirtinis ekonomiškumas. Ji efektyviai atitinka griežtus paviršiaus švaros ir sukibimo reikalavimus, keliamus tokiose srityse kaip puslaidininkiai, mikroelektronika ir medicinos prietaisai, todėl tai idealus pasirinkimas procesų tyrimams ir plėtrai arba mažų partijų gamybai.