ເຄື່ອງເຮັດຄວາມສະອາດພລາສມາ Nordson MARK AP-300

Nordson MARCH AP-300 ເປັນລະບົບ plasma ສູນຍາກາດແບບຕັ້ງໂຕະທີ່ມີຂະໜາດກະທັດຮັດ ແລະ ມີປະສິດທິພາບດ້ານຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ. ຈຸດແຂງຫຼັກຂອງມັນແມ່ນຢູ່ໃນການເຊື່ອມໂຍງຂອງແຫຼ່ງພະລັງງານ RF 13.56 MHz ແລະ ເຄືອຂ່າຍການຈັບຄູ່ຄວາມຕ້ານທານອັດຕະໂນມັດ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ມັນສາມາດສົ່ງຜົນໄດ້ຮັບການປະມວນຜົນ plasma ທີ່ດີເລີດ, ໝັ້ນຄົງ ແລະ ເປັນເອກະພາບພາຍໃນພື້ນທີ່ຂະໜາດກະທັດຮັດ.

**ຫຼັກການດໍາເນີນງານ**

AP-300 ເຮັດວຽກໂດຍການໃຊ້ປໍ້າສູນຍາກາດເພື່ອຍ້າຍຫ້ອງໄປສູ່ສະພາບສູນຍາກາດສູງ, ຫຼັງຈາກນັ້ນອາຍແກັສຂະບວນການສະເພາະຈະຖືກນໍາມາໃຊ້. ໂດຍການໃຊ້ພະລັງງານ RF 13.56 MHz, ອາຍແກັສຈະຖືກໄອອອນເພື່ອສ້າງເປັນພລາສມາ. ອະນຸພາກພະລັງງານສູງ ແລະ ຊະນິດທີ່ມີປະຕິກິລິຍາພາຍໃນພລາສມາມີສ່ວນຮ່ວມໃນການລະເບີດທາງກາຍະພາບ ຫຼື ປະຕິກິລິຍາເຄມີກັບພື້ນຜິວຂອງວັດສະດຸ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງບັນລຸການທໍາຄວາມສະອາດພື້ນຜິວ, ການກະຕຸ້ນ, ຫຼື ການແກະສະຫຼັກ.

**ໜ້າທີ່ຫຼັກ ແລະ ການນຳໃຊ້**

ໜ້າທີ່ຫຼັກຂອງ AP-300 ແມ່ນເພື່ອສະໜອງສະພາບແວດລ້ອມ plasma ທີ່ໝັ້ນຄົງ ແລະ ສາມາດຄວບຄຸມໄດ້. ມັນສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນເພີ່ມປະສິດທິພາບຄຸນນະພາບ ແລະ ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືຂອງຜະລິດຕະພັນສຸດທ້າຍໂດຍຜ່ານກົນໄກຫຼັກສາມຢ່າງຄື:

**ໝວດໝູ່ໜ້າທີ່** | **ວິທີການຈັດຕັ້ງປະຕິບັດ ແລະ ຜົນກະທົບ**

**ການເຮັດຄວາມສະອາດພລາສມາ** | ກຳຈັດສິ່ງປົນເປື້ອນອິນຊີ ແລະ ອົກໄຊດ໌ອອກຈາກພື້ນຜິວວັດສະດຸ, ເຮັດໃຫ້ໄດ້ຄວາມສະອາດລະດັບອະຕອມ.

**ການກະຕຸ້ນພື້ນຜິວ** | ແນະນຳກຸ່ມທີ່ມີໜ້າທີ່ເປັນຂົ້ວ — ເຊັ່ນ: ກຸ່ມໄຮດຣອກຊິວ ແລະ ກຸ່ມຄາບອກຊິວ — ລົງໃສ່ພື້ນຜິວຂອງວັດສະດຸ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງເພີ່ມພະລັງງານພື້ນຜິວ ແລະ ຄວາມສາມາດໃນການປຽກເພື່ອເພີ່ມການຍຶດຕິດກັບວັດສະດຸອື່ນໆ.

**ການແກະສະຫຼັກ / ການແຍກສ່ວນປະກອບ** | ນຳໃຊ້ອາຍແກັສໃນຂະບວນການທີ່ມີຟລູອໍຣີນ (ເຊັ່ນ CF₄) ເພື່ອປະຕິບັດການແກະສະຫຼັກແບບ anisotropic ຫຼື isotropic ທີ່ຊັດເຈນໃນລະດັບໄມຄຣອນ ຫຼື ແມ່ນແຕ່ນາໂນແມັດ; ມີຄວາມສາມາດໃນການກຳຈັດສິ່ງເສດເຫຼືອ photoresist ອອກຈາກແຜ່ນເວເຟີ.

**ຂໍ້ດີ ແລະ ຄຸນສົມບັດຫຼັກ**

ການອອກແບບຂອງ AP-300 ມີຄວາມສົມດຸນທີ່ດີເລີດລະຫວ່າງປະສິດທິພາບ ແລະ ຄວາມຍືດຫຍຸ່ນພາຍໃນພື້ນທີ່ກະທັດຮັດ. ຄຸນສົມບັດຫຼັກຂອງມັນແມ່ນໄດ້ລະບຸໄວ້ຂ້າງລຸ່ມນີ້:

**ໝວດໝູ່** | **ຄຸນສົມບັດຫຼັກ** | **ລາຍລະອຽດສະເພາະ**

**ຂໍ້ດີ** | **ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີ ແລະ ຄວາມສາມາດໃນການເຮັດຊ້ຳໄດ້ສູງ** | ເຄື່ອງກຳເນີດໄຟຟ້າ RF 13.56 MHz, ປະສົມປະສານກັບເຄືອຂ່າຍການຈັບຄູ່ຄວາມຕ້ານທານອັດຕະໂນມັດ, ຮັບປະກັນຄວາມສາມາດໃນການເຮັດຊ້ຳຜົນໄດ້ຮັບຂອງຂະບວນການທີ່ບໍ່ມີໃຜທຽບເທົ່າ.

**ການດຳເນີນງານງ່າຍດາຍ ແລະ ໜ້າເຊື່ອຖື** | ມີລະບົບຄວບຄຸມໜ້າຈໍສຳຜັດທີ່ອີງໃສ່ PLC ເຊິ່ງສະເໜີການໂຕ້ຕອບແບບກຣາບຟິກທີ່ເຂົ້າໃຈງ່າຍ ແລະ ການຕິດຕາມກວດກາຂະບວນການໃນເວລາຈິງ; ການກໍ່ສ້າງທີ່ແຂງແຮງ ແລະ ເຮັດດ້ວຍໂລຫະທັງໝົດຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງໃນໄລຍະຍາວ.

**ຄວາມຍືດຫຍຸ່ນ ແລະ ການຂະຫຍາຍໄດ້** | ຮອງຮັບທໍ່ສົ່ງອາຍແກັສໄດ້ສູງສຸດສີ່ທໍ່, ຮອງຮັບຄວາມຕ້ອງການຂອງຂະບວນການສຳລັບອາຍແກັສເຊັ່ນ: O₂, Ar, H₂, He, ແລະ CF₄. **ປະສິດທິພາບດ້ານຕົ້ນທຶນ** | ໃຫ້ປະສິດທິພາບ ແລະ ຄວາມຍືດຫຍຸ່ນທີ່ໂດດເດັ່ນໃນລາຄາຕໍ່າ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນທາງເລືອກທີ່ເໝາະສົມສຳລັບການຄົ້ນຄວ້າ ແລະ ພັດທະນາ ແລະ ການຜະລິດທົດລອງຂະໜາດນ້ອຍ.

**ຄຸນສົມບັດຫຼັກ** | **ການອອກແບບຄອມພິວເຕີຕັ້ງໂຕະຂະໜາດກະທັດຮັດ** | ຄົບຊຸດ; ຕ້ອງການພຽງແຕ່ການເຊື່ອມຕໍ່ປໍ້າສູນຍາກາດພາຍນອກ ແລະ ສາມາດຕິດຕັ້ງໄດ້ງ່າຍເທິງໂຕະຫ້ອງທົດລອງມາດຕະຖານ ຫຼື ໂຕະເຮັດວຽກ.

**ການຕັ້ງຄ່າຫ້ອງທີ່ມີຄວາມຍືດຫຍຸ່ນ** | ຫ້ອງດັ່ງກ່າວຖືກສ້າງຂຶ້ນຈາກອາລູມີນຽມທີ່ທົນທານ ແລະ ຮອງຮັບຖາດເອເລັກໂຕຣດທີ່ສາມາດຖອດອອກໄດ້ ແລະ ປັບໄດ້ເຖິງ 7 ຖາດ.

**ຮອງຮັບຫຼາຍຮູບແບບຂະບວນການ** | ຮອງຮັບທັງຮູບແບບ Direct Plasma (ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນການຖິ້ມລະເບີດທາງກາຍະພາບ) ແລະ Downstream Plasma (ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນອະນຸມູນເຄມີ), ເຊິ່ງສະເໜີຄວາມຍືດຫຍຸ່ນເພື່ອຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການຂອງຂະບວນການທີ່ຫຼາກຫຼາຍ.

**ລາຍລະອຽດສະເພາະ**

**ໝວດໝູ່ພາລາມິເຕີ** | **ສະເປັກສະເພາະ**

**ຂະໜາດໂດຍລວມ (ກxຍxສ)** | 569 × 869 × 704 ມມ

**ນ້ຳໜັກສຸດທິ** | 221 ກິໂລກຣາມ (487 ປອນ)

**ປະລິມານຫ້ອງ** | 33.1 ລິດ

**ຈຳນວນເອເລັກໂຕຣດ** | ສູງສຸດ 7

**ໄລຍະຫ່າງລະຫວ່າງເອເລັກໂຕຣດ** | 25.4 ມມ (1 ນິ້ວ)

**ພະລັງງານ RF ມາດຕະຖານ** | 300 W @ 13.56 MHz

**ການຄວບຄຸມການໄຫຼຂອງອາຍແກັສ (MFC)** | ມີ 2 ອັນເປັນມາດຕະຖານ; ສາມາດຂະຫຍາຍໄດ້ເຖິງ 4 ອັນ

**ອາຍແກັສທີ່ເຂົ້າກັນໄດ້** | Ar, O₂, H₂, He, CF₄, ແລະອື່ນໆ.

**ຂອບເຂດການນຳໃຊ້ທີ່ກວ້າງຂວາງ**

AP-300 ມີການນຳໃຊ້ທີ່ຫຼາກຫຼາຍ, ມີບົດບາດສຳຄັນ - ໂດຍສະເພາະໃນຂະແໜງອຸດສາຫະກຳທີ່ສຳຄັນຕໍ່ໄປນີ້:

**ເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ໄມໂຄຣອີເລັກໂທຣນິກ:** ນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງສຳລັບການທຳຄວາມສະອາດການກະຕຸ້ນກ່ອນການເຊື່ອມໂລຫະແບບແມ່ພິມ, ການເຊື່ອມໂລຫະແບບລວດ, ແລະ ການຕື່ມຊິບຄືນໃໝ່; ເຊັ່ນດຽວກັນກັບການປອກເປືອກຕ້ານທານຫຼັງການພິມດ້ວຍຫີນ ແລະ ການປິ່ນປົວດ້ວຍພລາສມາກ່ອນການຫຸ້ມຫໍ່ລະດັບເວເຟີ.

**ກະດານວົງຈອນພິມ ແລະ ການປະກອບເອເລັກໂຕຣນິກ:** ກຳຈັດສິ່ງປົນເປື້ອນຢ່າງມີປະສິດທິພາບ - ເຊັ່ນ: ນ້ຳຢາທີ່ເຫຼືອ - ແລະ ເພີ່ມຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຂອງພື້ນຜິວກ່ອນຂະບວນການຕ່າງໆເຊັ່ນ: ການເຄືອບ conformal ແລະ ການຕື່ມເຕັມ.

**ວິທະຍາສາດການແພດ ແລະ ຊີວິດ:** ໃຫ້ປະສິດທິພາບການທຳຄວາມສະອາດທີ່ໜ້າເຊື່ອຖືໃນຂະບວນການເຊື່ອມຕໍ່ ແລະ ໃນລະຫວ່າງການຜະລິດໂຄງສ້າງທີ່ສັບສົນ ເຊັ່ນ: ຊິບຈຸນລະພາກ.

**ສະຫຼຸບ**

ສະຫຼຸບແລ້ວ, Nordson MARCH AP-300 ເປັນລະບົບພລາສມາແບບຕັ້ງໂຕະທີ່ລວມເອົາຄວາມແມ່ນຍຳລະດັບການຄົ້ນຄວ້າ, ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືລະດັບອຸດສາຫະກຳ, ແລະ ຄວາມງ່າຍດາຍໃນການດຳເນີນງານທີ່ເປັນມິດກັບຜູ້ໃຊ້ເຂົ້າກັນຢ່າງໜ້າປະທັບໃຈ. ຄຸນຄ່າຫຼັກຂອງມັນແມ່ນຢູ່ໃນການບັນຈຸຄວາມສາມາດທີ່ມີປະສິດທິພາບພາຍໃນພື້ນທີ່ກະທັດຮັດ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນທາງເລືອກທີ່ເໝາະສົມສຳລັບທັງການຄົ້ນຄວ້າ ແລະ ພັດທະນາ ແລະ ການນຳໃຊ້ການຜະລິດຂະໜາດນ້ອຍໃນທົ່ວຂະແໜງເຄິ່ງຕົວນຳ, ໄມໂຄຣເອເລັກໂຕຣນິກ, ແລະ ຂະແໜງການແພດ.