ເຄື່ອງເຮັດຄວາມສະອາດພລາສມາ Panasonic PSX307

Panasonic PSX307 ເປັນລະບົບເຮັດຄວາມສະອາດພລາສມາແບບອັດຕະໂນມັດທີ່ອອກແບບມາສຳລັບວັດສະດຸພື້ນຖານ ແລະ ເວເຟີ, ເຊິ່ງຖືກອອກແບບມາເປັນພິເສດເພື່ອຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການດ້ານຜົນຜະລິດສູງຂອງການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ທັນສະໄໝ. ໂດຍນຳໃຊ້ເຕັກໂນໂລຊີເອເລັກໂຕຣດແຜ່ນຂະໜານທີ່ທັນສະໄໝ, ລະບົບນີ້ຊ່ວຍເພີ່ມປະສິດທິພາບການຜະລິດໄດ້ 1.5 ເທົ່າ ໃນຂະນະດຽວກັນກໍຮັບປະກັນຄຸນນະພາບຂອງຂະບວນການ; ມັນສະໜອງວິທີແກ້ໄຂທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງທີ່ອອກແບບມາເພື່ອແກ້ໄຂບັນຫາການປິ່ນປົວພື້ນຜິວທີ່ສັບສົນເພີ່ມຂຶ້ນເລື້ອຍໆທີ່ພົບໃນຂົງເຂດການຫຸ້ມຫໍ່ທີ່ກ້າວໜ້າ.

**ຫຼັກການດໍາເນີນງານ**

PSX307 ໃຊ້ແຫຼ່ງພະລັງງານຄວາມຖີ່ວິທະຍຸ (RF) 13.56 MHz ເພື່ອສ້າງສະໜາມພລາສມາທີ່ເປັນເອກະພາບຜ່ານການຕັ້ງຄ່າເອເລັກໂຕຣດແຜ່ນຂະໜານ. ເມື່ອອາຍແກັສໃນຂະບວນການ - ເຊັ່ນ: ອາກອນ - ຖືກໄອອອນ, ອະນຸພາກພະລັງງານສູງທີ່ໄດ້ຮັບຈະບັນລຸການເຮັດຄວາມສະອາດລະດັບນາໂນ ແລະ ການກະຕຸ້ນພື້ນຜິວຜ່ານການພົວພັນກັນຂອງການລະເບີດທາງກາຍະພາບ ແລະ ປະຕິກິລິຍາເຄມີ. ໃນດ້ານທັງປະສິດທິພາບ ແລະ ຄວາມເປັນເອກະພາບ, ການອອກແບບນີ້ສະເໜີຂໍ້ໄດ້ປຽບພື້ນຖານຫຼາຍກວ່າລະບົບພລາສມາແບບ batch ແບບດັ້ງເດີມ. **ຮູບແບບຫຼັກ ແລະ ການວາງຕຳແໜ່ງຜະລິດຕະພັນ**

ຊຸດ PSX307 ປະກອບດ້ວຍຫຼາກຫຼາຍຮູບແບບ, ຖືກອອກແບບມາເພື່ອຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ຫຼາກຫຼາຍຂອງສາຍການຜະລິດຕ່າງໆ. ການປຽບທຽບຄຸນສົມບັດຫຼັກສຳລັບແຕ່ລະຮູບແບບແມ່ນໄດ້ສະໜອງໃຫ້ຂ້າງລຸ່ມນີ້:

**ຄຸນສົມບັດ** | **ປະເພດ S** | **ປະເພດ M** | **PSX307A**

**ການວາງຕຳແໜ່ງອຸປະກອນ** | ເໝາະສຳລັບວັດສະດຸຂະໜາດນ້ອຍຫາຂະໜາດກາງ | ເໝາະສຳລັບວັດສະດຸຂະໜາດກາງຫາຂະໜາດໃຫຍ່ | ເໝາະສຳລັບການຫຸ້ມຫໍ່ລະດັບແຜ່ນເວເຟີ (WLP)

**ເປົ້າໝາຍການປະມວນຜົນ** | ຊັ້ນວາງ (ເຊັ່ນ: PCBs) | ຊັ້ນວາງ (ເຊັ່ນ: PCBs) | ແຜ່ນເວເຟີສູງເຖິງ 300 ມມ (ມີ ຫຼື ບໍ່ມີກອບ)

**ຂະໜາດຂອງພື້ນຜິວ** | ຍາວ 50 x ກວ້າງ 20 ຫາ ຍາວ 250 x ກວ້າງ 75 ມມ | ຍາວ 50 x ກວ້າງ 20 ຫາ ຍາວ 330 x ກວ້າງ 120 ມມ | ສາມາດປະມວນຜົນພື້ນຜິວສີ່ຊັ້ນທີ່ມີຄວາມກວ້າງ 77.5 ມມ ໄດ້ພ້ອມໆກັນ

**ຂະໜາດພາຍນອກ (ລວມທັງສາຍພານລຳລຽງ)** | ກວ້າງ 2113 × ເລິກ 1100 × ສູງ 1450 ມມ | ກວ້າງ 2266 × ເລິກ 1100 × ສູງ 1450 ມມ | ກະລຸນາອ້າງອີງໃສ່ເອກະສານສະເພາະດ້ານເຕັກນິກສຳລັບລາຍລະອຽດເພີ່ມເຕີມ

**ນ້ຳໜັກອຸປະກອນ** | ປະມານ 850 ກິໂລກຣາມ | ປະມານ 725 ກິໂລກຣາມ | -

**ຄວາມໜາຂອງພື້ນຜິວ** | 0.5 ມມ ຫາ 2.0 ມມ (ສຳລັບການອ້າງອີງເທົ່ານັ້ນ) | 0.5 ມມ ຫາ 2.0 ມມ | -

**ລາຍລະອຽດສະເພາະ (ຮຸ່ນພື້ນຖານ PSX307)**

**ໝວດໝູ່ພາລາມິເຕີ** | **ລາຍລະອຽດສະເພາະ**

**ຮຸ່ນອຸປະກອນ** | NM-EFP1A

**ວິທີການທຳຄວາມສະອາດ** | ການສີດພົ່ນ RF ແບບແຜ່ນຂະໜານ

**ອາຍແກັສລະບາຍອອກ** | ອາກອນ (Ar) [ອົກຊີເຈນ (O₂) ເປັນທາງເລືອກ]

**ຂະໜາດພາຍນອກ (ໜ່ວຍຫຼັກ)** | ກວ້າງ 930 × ເລິກ 1100 × ສູງ 1450 ມມ

**ນ້ຳໜັກອຸປະກອນ (ໜ່ວຍຫຼັກ)** | ປະມານ 555 ກິໂລກຣາມ

**ຂໍ້ມູນສະເພາະຂອງການສະໜອງພະລັງງານ** | AC ເຟສດຽວ 200 V, 2.00 kVA (ສູງສຸດ 5.00 kVA)

**ຄວາມຕ້ອງການການສະໜອງອາຍແກັສ** | 0.49 MPa ...ຫຼືສູງກວ່າ; 6.5 ລິດ/ນາທີ (ANR)

**ໜ້າທີ່ຫຼັກ ແລະ ຄຸນສົມບັດດ້ານເຕັກນິກ**

PSX307 ມີລັກສະນະໂດດເດັ່ນດ້ວຍລະບົບອັດຕະໂນມັດ ແລະ ຄວາມສະຫຼາດໃນລະດັບສູງ, ສະແດງໃຫ້ເຫັນເຖິງຄວາມເໜືອກວ່າທາງດ້ານເຕັກນິກຂອງມັນໂດຍຜ່ານລັກສະນະຕ່າງໆຕໍ່ໄປນີ້:

**ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງການອອກແບບຫ້ອງ ແລະ ອັດຕາການກັດກ່ອນ:** ຮັບປະກັນວ່າທຸກໆຊຸດການປະມວນຜົນຈະໃຫ້ຜົນໄດ້ຮັບຈາກການກັດກ່ອນທີ່ມີຄວາມສອດຄ່ອງສູງ - ເຊິ່ງເປັນປັດໄຈສຳຄັນຕໍ່ຄວາມໝັ້ນຄົງ ແລະ ຜົນຜະລິດຂອງຂະບວນການ.

**ໜ້າທີ່ຕິດຕາມກວດກາພລາສມາທີ່ເປັນກຳມະສິດຂອງ Panasonic:** ຕິດຕາມກວດກາ ແລະ ສະກັດກັ້ນຄວາມຜິດປົກກະຕິຂອງການປ່ອຍພລາສມາແບບເວລາຈິງ ເພື່ອປ້ອງກັນຄວາມເສຍຫາຍຈາກການປ່ອຍໄຟຟ້າສະຖິດ (ESD), ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງຮັບປະກັນ "ການປະມວນຜົນທີ່ບໍ່ມີຄວາມເສຍຫາຍ" ຂອງຜະລິດຕະພັນ.

**ໜ້າທີ່ຕິດຕາມ:** ໃຫ້ຄວາມສາມາດໃນການຕິດຕາມຂໍ້ມູນທີ່ສົມບູນແບບສຳລັບຂະບວນການຜະລິດ, ຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບທີ່ເຂັ້ມງວດຂອງຂະແໜງການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ.

**ການຂົນສົ່ງໃນສາຍການຜະລິດ ແລະ ການຂົນສົ່ງແບບອັດຕະໂນມັດ:** ຮອງຮັບການຕັ້ງຄ່າເຄື່ອງໂຫຼດ/ເຄື່ອງຍົກ ແລະ ລາຍລະອຽດໃນສາຍການຜະລິດ, ຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດເຊື່ອມໂຍງໂດຍກົງກັບສາຍການຜະລິດແບບອັດຕະໂນມັດໂດຍບໍ່ຕ້ອງມີການແຊກແຊງດ້ວຍມື.

**ຂໍ້ໄດ້ປຽບຫຼັກ ແລະ ຂົງເຂດການນຳໃຊ້**

ໂດຍການນຳໃຊ້ເຕັກໂນໂລຊີຫຼັກທີ່ໄດ້ກ່າວມາຂ້າງເທິງ, PSX307 ສະແດງໃຫ້ເຫັນຂໍ້ໄດ້ປຽບທີ່ສຳຄັນໃນການປັບປຸງຄຸນນະພາບການຜະລິດ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນຕົ້ນທຶນ, ໂດຍສະເພາະໃນຂົງເຂດຕໍ່ໄປນີ້:

**ປະສິດທິພາບດ້ານຕົ້ນທຶນທີ່ກ້າວໜ້າ:** ໂດຍການນຳໃຊ້ເຕັກໂນໂລຊີການປະມວນຜົນພລາສມາອາກອນ (Ar) ເພື່ອກຳຈັດສານປະກອບນິກເກີນພື້ນຜິວ, ມັນຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດນຳໃຊ້ຂະບວນການຊຸບ "Flash Gold" ທີ່ມີລາຄາຖືກໄດ້. ໃນຂະນະດຽວກັນ, ມັນຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນບັນຫາຕ່າງໆເຊັ່ນ: ການແຕກ, ຮູ, ແລະ ຮອຍແຕກທີ່ອາດເກີດຂຶ້ນໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຫຸ້ມຫໍ່ໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ. **ການປັບປຸງປະສິດທິພາບທີ່ສຳຄັນ:** ຍ້ອນການອອກແບບໃນສາຍການຜະລິດລວມກັບລະບົບການຂົນສົ່ງອັດຕະໂນມັດ, ອຸປະກອນດັ່ງກ່າວບັນລຸຄວາມໄວໃນການປະມວນຜົນສູງເຖິງ 360 ຊັ້ນ/ແຖບຕໍ່ຊົ່ວໂມງ—ເຊິ່ງເປັນຕົວແທນການເພີ່ມປະສິດທິພາບເພີ່ມຂຶ້ນ 50% ເມື່ອທຽບກັບອຸປະກອນທົ່ວໄປ.

ການດັດແປງພື້ນຜິວເພື່ອຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການຂອງຂະບວນການທີ່ຫຼາກຫຼາຍ:

**ປັບປຸງຄວາມສາມາດໃນການຍຶດຕິດໂລຫະ:** ກ່ອນການຍຶດຕິດລວດ ຫຼື ການປະກອບແບບ flip-chip, ການກຳຈັດສິ່ງປົນເປື້ອນອິນຊີຈະຊ່ວຍເພີ່ມຄວາມແຂງແຮງຂອງແຮງຕັດ ແລະ ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືໃນການຍຶດຕິດໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.

**ການຍຶດຕິດຂອງເຣຊິນທີ່ດີຂຶ້ນ:** ການດັດແປງພື້ນຜິວໂດຍໃຊ້ປລາສມາອົກຊີເຈນ (O₂) ເພີ່ມຄວາມແຮງໃນການຍຶດຕິດຂອງສານປະກອບແມ່ພິມອີພອກຊີ ແລະ ວັດສະດຸຕື່ມພື້ນຜິວເປັນສອງເທົ່າ, ເຊິ່ງປ້ອງກັນການແຕກອອກເປັນຕ່ອນໆໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ.

**ຂະບວນການເຕີມເຕັມທີ່ໄດ້ຮັບການປັບປຸງໃຫ້ດີທີ່ສຸດ:** ປັບປຸງລັກສະນະການໄຫຼຂອງເສັ້ນເລືອດຝອຍ, ຫຼຸດຜ່ອນເວລາເຕີມເຕັມລົງຫຼາຍກວ່າ 40%—ຜົນປະໂຫຍດທີ່ມີຄຸນຄ່າໂດຍສະເພາະສຳລັບຊິບຂະໜາດໃຫຍ່ ແລະ ຊິບທີ່ມີຄວາມໜາແໜ້ນຂອງ I/O ສູງ.

**ຂົງເຂດການນຳໃຊ້ຫຼັກ**

ຍ້ອນຄວາມສາມາດດ້ານປະສິດທິພາບສູງຂອງມັນ, PSX307 ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຂະບວນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນໍາລະດັບສູງ:

**ການຫຸ້ມຫໍ່ລະດັບແຜ່ນເວເຟີ:** ການດັດແປງໜ້າຜິວແຜ່ນເວເຟີກ່ອນການເຊື່ອມໂລຫະ; ການທຳຄວາມສະອາດຕຸ່ມຂອງສານເຊື່ອມກ່ອນການເຊື່ອມໂລຫະແບບ flip-chip; ແລະ ການກຳຈັດສິ່ງເສດເຫຼືອ (ການລະລາຍຮອຍເປື້ອນ) ພາຍໃນໂຄງສ້າງ TSV (Through-Silicon Via).

**ການຫຸ້ມຫໍ່ຂັ້ນສູງ:** ການທຳຄວາມສະອາດ ແລະ ການກະຕຸ້ນພື້ນຜິວຂອງຊັ້ນຮອງ PCB ກ່ອນຂະບວນການຕິດລວດ, ການອຸດຕັນ, ແລະ ການຫລໍ່.

**ຂະບວນການ ແລະ ວັດສະດຸສະເພາະ:** ການກຳຈັດສິ່ງເສດເຫຼືອຂອງຢາງອອກຈາກຕຸ່ມເຊື່ອມແຜ່ນເວເຟີ; ການປັບປຸງຄວາມສາມາດໃນການເຊື່ອມຂອງຊັ້ນຊຸບຄຳລາຄາຖືກ; ແລະ ການນຳໃຊ້ທີ່ຄ້າຍຄືກັນ.

**ອຸປະກອນເສີມ**

ໃນຖານະເປັນສ່ວນໜຶ່ງທີ່ສຳຄັນຂອງຜະລິດຕະພັນໂຊລູຊັ່ນເຄິ່ງຕົວນຳຂອງ Panasonic, PSX307 ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວຈະເຮັດວຽກຄຽງຄູ່ກັບຕົວເຊື່ອມຕໍ່ຊິບ flip-chip ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງຂອງ Panasonic ຊຸດ MD-P. ການຮ່ວມມືກັນນີ້ຮັບປະກັນການຫັນປ່ຽນທີ່ລຽບງ່າຍຈາກການທຳຄວາມສະອາດໄປສູ່ການຈັດວາງ, ເຊິ່ງສົ່ງຜົນໃຫ້ການປັບປຸງຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືຂອງຜະລິດຕະພັນໂດຍລວມດີຂຶ້ນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.

**ສະຫຼຸບ**

ສະຫຼຸບແລ້ວ, Panasonic PSX307 ເປັນລະບົບເຮັດຄວາມສະອາດພລາສມາທີ່ມີເຕັກໂນໂລຢີກ້າວໜ້າທາງເທັກໂນໂລຢີທີ່ຖືກອອກແບບມາເປັນພິເສດສຳລັບສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດຈຳນວນຫຼາຍ. ຜ່ານການເຊື່ອມໂຍງເທັກໂນໂລຢີແຜ່ນຂະໜານທີ່ມີນະວັດຕະກໍາ ແລະ ລະບົບຕິດຕາມກວດກາທີ່ເປັນເຈົ້າຂອງ, ມັນບັນລຸຜົນໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍໃນປະສິດທິພາບການຜະລິດ ແລະ ການຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການຜະລິດຢ່າງມີປະສິດທິພາບ, ທັງໝົດໃນຂະນະທີ່ຮັບປະກັນຂະບວນການທີ່ບໍ່ທຳລາຍດ້ວຍຄວາມເປັນເອກະພາບທີ່ໂດດເດັ່ນ. ສຳລັບການນຳໃຊ້ທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບວັດສະດຸຂະໜາດໃຫຍ່ ຫຼື ເວເຟີ 300 ມມ — ແລະ ບ່ອນທີ່ຂະບວນການທີ່ສຳຄັນເຊັ່ນ: ການເຊື່ອມສາຍ ແລະ ການຕື່ມເຕັມຄວາມຕ້ອງການຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືໃນລະດັບສູງສຸດ — PSX307 ໂດດເດັ່ນເປັນວິທີແກ້ໄຂທີ່ຄຸ້ມຄ່າທີ່ຈະພິຈາລະນາຢ່າງຈິງຈັງ.