Ремонт высокоточного УФ-лазера DISCO

Серия DISCO (Япония) ORIGAMI XP — это высокоточная система лазерной резки УФ-излучением, разработанная специально для обработки хрупких материалов, таких как корпуса полупроводников, гибкие печатные платы FPC, светодиодные пластины и т. д. Ее основными преимуществами являются:

Длина волны: 355 нм (ультрафиолет), холодная обработка

Точность позиционирования: ±1 мкм (с визуальным позиционированием ПЗС)

Скорость резки: до 500 мм/с (в зависимости от толщины материала)

Интеллектуальное удаление пыли: интегрированная система продувки азотом и электростатической адсорбции

II. Диагностика и устранение общих неисправностей

1. Снижение/нестабильность мощности лазера

Возможные причины:

Старение кристалла ультрафиолетового лазера (Nd:YVO₄) (срок службы около 8000–10000 часов)

Поверхностное загрязнение кристалла-удвоителя частоты (LBO)

Смещение оптического выравнивания (вызванное вибрацией)

Этапы обслуживания:

Спектральное обнаружение:

Используйте измеритель мощности для измерения выходного сигнала 355 нм, затухание >15% требует калибровки оптического пути.

Уход за кристаллами:

Очистите кристалл LBO безводным этанолом + ватным тампоном без пыли (не касайтесь поверхности покрытия)

Калибровка оптического пути:

Используйте специальное приспособление DISCO для регулировки угла наклона отражателя (требуется пароль авторизации)

2. Дрейф позиции реза (ненормальная точность)

Ключевые контрольные точки:

Фокус ПЗС-камеры:

Очистите объектив и повторно выполните калибровку «Автофокуса».

Направляющая подвижной платформы:

Проверьте обратную связь линейного энкодера двигателя (часто возникает сигнал тревоги ERR 205)

Материал, фиксированный вакуумной адсорбцией:

Степень вакуума должна быть >80 кПа (чистая пористая керамическая присоска)

Быстрый метод проверки:

Вырежьте стандартный шаблон сетки и сравните отклонение между проектным чертежом и фактическим путем.

3. Обработка кода системной тревоги

Код тревоги Значение Аварийная обработка

ALM 102 Температура лазерной головки слишком высокая. Проверьте поток воды в охладителе (должен быть >2 л/мин).

ALM 303 Сработала защитная блокировка. Подтвердите состояние датчика защитной двери.

ALM 408 Недостаточное давление в системе удаления пыли. Замените фильтр HEPA (каждые 500 часов).

III. План профилактического обслуживания

1. Ежедневное обслуживание

Очистите зону обработки от остатков мусора (чтобы предотвратить загрязнение оптического окна электростатической адсорбцией)

Запишите данные о мощности лазера (колебания должны быть <±3%)

2. Ежемесячное обслуживание

Заменить охлаждающую воду (проводимость <5 мкСм/см)

Смажьте направляющие осей X/Y (используйте рекомендованную смазку DISCO)

3. Ежегодное комплексное обслуживание

Полная проверка оптического пути УФ-лазера (требуется оригинальное калибровочное оборудование)

Замена масла вакуумного насоса и проверка уплотнений

IV.Стратегия оптимизации затрат на техническое обслуживание

1. План снижения стоимости лазерного модуля

Компонент Первоначальная стоимость замены Альтернативный план Коэффициент экономии

Кристалл Nd:YVO₄ 180 000 йен Регенерированный кристалл стороннего производителя 80 000 йен 55%

Группа фокусирующих линз 65 000 иен Линза из отечественного плавленого кварца 15 000 иен 77%

Карта управления движением 120 000 иен Техническое обслуживание на уровне чипа 25 000 иен 79%

2. Ключевые навыки

Продление срока службы лазерных кристаллов:

Снижение рабочей температуры с 25℃ до 20℃ может увеличить срок службы на 40%.

Сертификация бытовых расходных материалов:

Фильтры HEPA, вакуумные патроны и т. д. прошли тест на совместимость с DISCO.

V. Успешные случаи

Завод по упаковке полупроводников (5 ORIGAMI XP)

Проблема:

Ежегодные расходы на техническое обслуживание превышают 1 200 000 иен, в основном из-за частой замены УФ-кристаллов.

Наше решение:

Установить модуль замкнутого контура управления температурой кристалла

Используйте лазерную полировку вместо замены кристалла

Результаты:

Цикл замены кристаллов продлен с 8 месяцев до 3 лет

Ежегодная комплексная стоимость снижена до 400 000 иен

6. Техническая поддержка

Ассортимент запасных частей: УФ-оптические модули, платы управления движением и т. д.

Удаленная диагностика: анализ журналов оборудования через платформу DISCO Connect

Получите индивидуальные решения по техническому обслуживанию

Свяжитесь с нашими специалистами по обслуживанию лазеров бесплатно:

«Краткое руководство по кодам сигнализации ORIGAMI XP»

Отчет об оценке состояния вашего оборудования

Практика локализованных услуг с использованием японских технологических стандартов для обеспечения эффективной и стабильной работы оборудования для прецизионной резки.

—— Поставщик услуг по техническому обслуживанию лазерного оборудования DISCO в Азиатско-Тихоокеанском регионе