DISCO高精度UVレーザー修復

DISCO（日本ディスコ）ORIGAMI XPシリーズは、半導体パッケージ、FPCフレキシブル回路基板、LEDウェーハなどの脆性材料の加工用に特別に設計された高精度UVレーザー切断システムです。主な利点は次のとおりです。

波長: 355nm (紫外線)、コールドプロセス

位置決め精度: ±1μm (CCD視覚位置決め)

切断速度: 最大 500mm/s (材料の厚さによって異なります)

インテリジェントな除塵：N2吹き付けと静電吸着システムを統合

II. 一般的な障害診断と解決策

1. レーザー出力の低下/不安定性

考えられる原因:

紫外線レーザー結晶（Nd:YVO₄）の経年劣化（寿命約8,000～10,000時間）

周波数倍増結晶（LBO）の表面汚染

光学アライメントのオフセット（振動による）

メンテナンス手順:

スペクトル検出:

パワーメーターを使用して355nmの出力を測定します。減衰が15%を超える場合は光路の校正が必要です。

クリスタルのメンテナンス:

LBO結晶を無水エタノールとほこりのない綿棒で清掃します（コーティング面に触れないでください）

光路キャリブレーション:

DISCO専用治具を使用してリフレクターの角度を調整します（認証パスワードが必要です）

2. 切削位置のずれ（精度異常）

主なチェックポイント:

CCDカメラのフォーカス:

レンズを清掃し、「オートフォーカス」の調整を再度実行します

モーションプラットフォームガイドレール:

リニアモーターエンコーダのフィードバックをチェックします（ERR 205アラームが一般的です）

材質固定真空吸着：

真空度は80kPa以上である必要があります（多孔質セラミック吸盤を清潔にしてください）

クイック検証方法:

標準グリッドパターンを切り取り、設計図と実際のパスの偏差を比較します

3. システムアラームコード処理

アラームコード 意味 緊急処理

ALM 102 レーザーヘッドの温度が高すぎます。水冷却器の流量を確認してください（>2L/分である必要があります）

ALM 303 安全インターロックが作動しました 保護ドアセンサーの状態を確認してください

ALM 408 除塵システムの圧力が不十分です HEPAフィルターを交換してください（500時間ごと）

III. 予防保守計画

1. 日常のメンテナンス

処理エリア内の残留ゴミを清掃します（静電吸着による光学窓の汚染を防ぐため）

レーザー出力データを記録する（変動は±3%未満である必要があります）

2. 月次メンテナンス

冷却水を交換する（導電率<5μS/cm）

X/Y軸レールに潤滑剤を塗布します（DISCO指定のグリースを使用）

3. 年間の徹底的なメンテナンス

UVレーザー光路の完全検査（オリジナルの校正装置が必要）

真空ポンプオイル交換とシール点検

IV. メンテナンスコスト最適化戦略

1. レーザーモジュールのコスト削減計画

構成要素 当初の交換費用 代替プラン 節約率

Nd:YVO₄クリスタル 180,000円 サードパーティ再生クリスタル 80,000円 55%

フォーカスレンズ群 65,000円 国産石英レンズ 15,000円 77%

モーションコントロールカード 120,000円 チップレベルメンテナンス 25,000円 79%

2. 重要なスキル

レーザー結晶の寿命を延ばす：

動作温度を25℃から20℃に下げると寿命が40%延びる

家庭用消耗品の認証：

HEPAフィルター、真空チャック等はDISCO適合テストに合格しています

V. 成功事例

半導体パッケージング工場（ORIGAMI XP 5 台）

問題：

年間メンテナンス費用は主にUVクリスタルの頻繁な交換により120万円を超える

私たちの解決策:

水晶温度閉ループ制御モジュールをインストールする

クリスタルの交換ではなくレーザー研磨による修復を使用する

結果：

クリスタルの交換周期が8か月から3年に延長

年間総費用を40万円に削減

VI. 技術サポート

スペアパーツ在庫: UV 光学モジュール、モーションコントロールボードなど。

リモート診断: DISCO Connectプラットフォームを通じて機器のログを分析

カスタマイズされたメンテナンスソリューションを入手する

当社のレーザーメンテナンス専門家に無料でお問い合わせください:

「ORIGAMI XP アラームコード クイックリファレンスマニュアル」

機器の健全性評価レポート

精密切削装置の効率的かつ安定した運用を保証するために、日本のプロセス基準に基づいたローカライズされたサービスを実践します。

—— アジア太平洋地域のDISCOレーザー機器メンテナンスサービスプロバイダー