டிஸ்கோ உயர் துல்லிய UV லேசர் பழுதுபார்ப்பு

DISCO (ஜப்பான் DISCO) ORIGAMI XP தொடர் என்பது செமிகண்டக்டர் பேக்கேஜிங், FPC நெகிழ்வான சர்க்யூட் பலகைகள், LED வேஃபர்கள் போன்ற உடையக்கூடிய பொருட்களை செயலாக்குவதற்காக பிரத்யேகமாக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர்-துல்லியமான UV லேசர் வெட்டும் அமைப்பாகும். இதன் முக்கிய நன்மைகள் பின்வருமாறு:

அலைநீளம்: 355nm (புற ஊதா), குளிர் செயலாக்கம்

நிலைப்படுத்தல் துல்லியம்: ±1μm (CCD காட்சி நிலைப்படுத்தலுடன்)

வெட்டும் வேகம்: 500 மிமீ/வி வரை (பொருள் தடிமன் பொறுத்து)

நுண்ணறிவு தூசி நீக்கம்: ஒருங்கிணைந்த N2 ஊதுகுழல் மற்றும் மின்னியல் உறிஞ்சுதல் அமைப்பு

II. பொதுவான தவறு கண்டறிதல் மற்றும் தீர்வுகள்

1. லேசர் சக்தி குறைப்பு/நிலையற்ற தன்மை

சாத்தியமான காரணங்கள்:

புற ஊதா லேசர் படிகத்தின் முதிர்ச்சி (Nd:YVO₄) (சுமார் 8,000-10,000 மணிநேர ஆயுட்காலம்)

அதிர்வெண்-இரட்டிப்பு படிகத்தின் (LBO) மேற்பரப்பு மாசுபாடு

ஒளியியல் சீரமைப்பு ஆஃப்செட் (அதிர்வால் ஏற்படுகிறது)

பராமரிப்பு படிகள்:

நிறமாலை கண்டறிதல்:

355nm வெளியீட்டை அளவிட ஒரு பவர் மீட்டரைப் பயன்படுத்தவும், தணிப்பு>15% ஆப்டிகல் பாதை அளவுத்திருத்தம் தேவைப்படுகிறது

படிக பராமரிப்பு:

நீரற்ற எத்தனால் + தூசி இல்லாத பருத்தி துணியால் LBO படிகத்தை சுத்தம் செய்யவும் (பூச்சு மேற்பரப்பைத் தொடாதே)

ஒளியியல் பாதை அளவுத்திருத்தம்:

பிரதிபலிப்பான் கோணத்தை சரிசெய்ய DISCO சிறப்பு சாதனத்தைப் பயன்படுத்தவும் (அங்கீகார கடவுச்சொல் தேவை)

2. வெட்டு நிலை சறுக்கல் (அசாதாரண துல்லியம்)

முக்கிய சோதனைச் சாவடிகள்:

CCD கேமரா ஃபோகஸ்:

லென்ஸை சுத்தம் செய்து "ஆட்டோ-ஃபோகஸ்" அளவுத்திருத்தத்தை மீண்டும் செய்யவும்.

இயக்க தள வழிகாட்டி ரயில்:

லீனியர் மோட்டார் என்கோடர் பின்னூட்டத்தைச் சரிபார்க்கவும் (ERR 205 அலாரம் பொதுவானது)

பொருள் நிலையான வெற்றிட உறிஞ்சுதல்:

வெற்றிட அளவு >80kPa (சுத்தமான நுண்துளை பீங்கான் உறிஞ்சும் கோப்பை) ஆக இருக்க வேண்டும்.

விரைவான சரிபார்ப்பு முறை:

நிலையான கட்ட அமைப்பை வெட்டி, வடிவமைப்பு வரைபடத்திற்கும் உண்மையான பாதைக்கும் இடையிலான விலகலை ஒப்பிடுக.

3. கணினி அலாரம் குறியீடு செயலாக்கம்

அலாரம் குறியீடு என்றால் அவசர செயலாக்கம்

ALM 102 லேசர் தலை வெப்பநிலை மிக அதிகமாக உள்ளது நீர் குளிரூட்டியின் ஓட்டத்தைச் சரிபார்க்கவும் (2L/நிமிடத்திற்கு மேல் இருக்க வேண்டும்)

ALM 303 பாதுகாப்பு பூட்டு தூண்டப்பட்டது பாதுகாப்பு கதவு சென்சாரின் நிலையை உறுதிப்படுத்தவும்.

ALM 408 தூசி அகற்றும் அமைப்பின் அழுத்தம் போதுமானதாக இல்லை HEPA வடிகட்டியை மாற்றவும் (ஒவ்வொரு 500 மணி நேரத்திற்கும்)

III. தடுப்பு பராமரிப்பு திட்டம்

1. தினசரி பராமரிப்பு

செயலாக்கப் பகுதியில் எஞ்சியிருக்கும் குப்பைகளை சுத்தம் செய்யவும் (மின்னியல் உறிஞ்சுதல் ஒளியியல் சாளரத்தை மாசுபடுத்துவதைத் தடுக்க)

லேசர் சக்தி தரவைப் பதிவு செய்யவும் (ஏற்ற இறக்கம் <±3% ஆக இருக்க வேண்டும்)

2. மாதாந்திர பராமரிப்பு

குளிரூட்டும் நீரை மாற்றவும் (கடத்துத்திறன் <5μS/செ.மீ)

X/Y அச்சு தண்டவாளங்களை உயவூட்டுங்கள் (DISCO குறிப்பிட்ட கிரீஸைப் பயன்படுத்தவும்)

3. வருடாந்திர ஆழமான பராமரிப்பு

UV லேசர் ஆப்டிகல் பாதையின் முழு ஆய்வு (அசல் அளவுத்திருத்த உபகரணங்கள் தேவை)

வெற்றிட பம்ப் எண்ணெய் மாற்றுதல் மற்றும் சீல் ஆய்வு

IV. பராமரிப்பு செலவு மேம்படுத்தல் உத்தி

1. லேசர் தொகுதி செலவு குறைப்பு திட்டம்

கூறு அசல் மாற்று செலவு மாற்று திட்டம் சேமிப்பு விகிதம்

Nd:YVO₄ படிகம் ¥180,000 மூன்றாம் தரப்பு மீளுருவாக்கம் செய்யப்பட்ட படிகம் ¥80,000 55%

ஃபோகசிங் லென்ஸ் குழு ¥65,000 உள்நாட்டு இணைக்கப்பட்ட குவார்ட்ஸ் லென்ஸ் ¥15,000 77%

இயக்கக் கட்டுப்பாட்டு அட்டை ¥120,000 சிப்-நிலை பராமரிப்பு ¥25,000 79%

2. முக்கிய திறன்கள்

லேசர் படிகங்களின் ஆயுளை நீட்டித்தல்:

இயக்க வெப்பநிலையை 25℃ இலிருந்து 20℃ ஆகக் குறைப்பதன் மூலம் ஆயுளை 40% அதிகரிக்கலாம்.

உள்நாட்டு நுகர்பொருட்களின் சான்றிதழ்:

HEPA வடிகட்டிகள், வெற்றிட சக்குகள் போன்றவை DISCO இணக்கத்தன்மை சோதனையில் தேர்ச்சி பெற்றுள்ளன.

V. வெற்றிகரமான வழக்குகள்

ஒரு குறைக்கடத்தி பேக்கேஜிங் ஆலை (5 ORIGAMI XPகள்)

பிரச்சனை:

வருடாந்திர பராமரிப்பு செலவுகள் ¥1,200,000 ஐ விட அதிகமாகும், முக்கியமாக UV படிகங்களை அடிக்கடி மாற்றுவதால்.

எங்கள் தீர்வு:

படிக வெப்பநிலை மூடிய-சுழற்சி கட்டுப்பாட்டு தொகுதியை நிறுவவும்.

படிக மாற்றத்திற்கு பதிலாக லேசர் பாலிஷ் பழுதுபார்ப்பைப் பயன்படுத்தவும்.

முடிவுகள்:

படிக மாற்று சுழற்சி 8 மாதங்களிலிருந்து 3 ஆண்டுகளாக நீட்டிக்கப்பட்டுள்ளது.

வருடாந்திர விரிவான செலவு ¥400,000 ஆகக் குறைக்கப்பட்டது.

VI. தொழில்நுட்ப ஆதரவு

உதிரி பாகங்கள் சரக்கு: UV ஆப்டிகல் தொகுதிகள், இயக்கக் கட்டுப்பாட்டு பலகைகள், முதலியன.

தொலைநிலை நோயறிதல்: DISCO இணைப்பு தளம் மூலம் உபகரணப் பதிவுகளை பகுப்பாய்வு செய்யுங்கள்.

தனிப்பயனாக்கப்பட்ட பராமரிப்பு தீர்வுகளைப் பெறுங்கள்.

எங்கள் லேசர் பராமரிப்பு நிபுணர்களை இலவசமாகத் தொடர்பு கொள்ளவும்:

"ORIGAMI XP அலாரம் குறியீடு விரைவு குறிப்பு கையேடு"

உங்கள் உபகரண சுகாதார மதிப்பீட்டு அறிக்கை

துல்லியமான வெட்டும் கருவிகளின் திறமையான மற்றும் நிலையான செயல்பாட்டை உறுதிசெய்ய ஜப்பானிய செயல்முறை தரநிலைகளுடன் உள்ளூர்மயமாக்கப்பட்ட சேவைகளைப் பயிற்சி செய்யுங்கள்.

—— ஆசிய பசிபிக் பகுதியில் DISCO லேசர் உபகரண பராமரிப்பு சேவை வழங்குநர்