Limpiador de obleas SEMES BLUEICE PRIME

BLUEICE PRIME de SEMES es un sistema de limpieza de obleas individuales totalmente automatizado de 300 mm diseñado para la fabricación de chips de memoria y lógica con tecnología de proceso avanzada (LPT). Desarrollado y fabricado por SEMES, proveedor principal de equipos de Samsung Electronics, es un componente clave para mejorar el rendimiento de la producción en masa de procesos de vanguardia como el de 2 nm.

Rendimiento fundamental: equilibrio entre procesos avanzados y capacidad.

Rendimiento superior del proceso: capaz de eliminar partículas de hasta 19 nm, mejorando significativamente la uniformidad del grabado en más de un 40 %.

Diseño de alta eficiencia y capacidad: como sistema de limpieza de obleas individuales de 300 mm, procesa más de 500 obleas por hora (WPH), satisfaciendo eficazmente las demandas de la producción en masa a gran escala.

Características técnicas: Múltiples diseños innovadores desarrollados de forma independiente.

Proceso innovador de ácido fosfórico a alta temperatura: Su proceso principal utiliza ácido fosfórico a alta temperatura para el grabado y decapado de obleas. El control preciso de la pulverización y la temperatura reduce eficazmente la dispersión del proceso y la tasa de defectos, mejorando significativamente el rendimiento de los chips de 2 nm.

**Plato de alta temperatura de desarrollo independiente:** Esta tecnología mejora la uniformidad de la temperatura durante el calentamiento de las obleas, reduce significativamente los defectos del proceso y supera las limitaciones de los métodos tradicionales de limpieza húmeda.

**Control integral de la contaminación:** La cámara NIC (limpieza sin interacción) previene eficazmente la contaminación cruzada, combinada con la tecnología SF-Aerosol (gotas uniformes de alta velocidad) para la limpieza física.

**Sistema inteligente altamente integrado:** Equipado con APAC, AIS (Sistema de detección automática) y SEAS (Sistema de análisis de equipos inteligentes), logra un control de flujo preciso y un análisis inteligente del estado de los equipos.

**Áreas de aplicación:** Con sede en Samsung, prestando servicios a los principales clientes globales.

BLUEICE PRIME se dirige principalmente a las principales fundiciones de chips lógicos y fabricantes de memorias a nivel mundial. Aprovechando la posición de su empresa matriz, SEMES, como filial del Grupo Samsung, este equipo está profundamente integrado en las líneas de producción de obleas más avanzadas de Samsung. Su solución de limpieza húmeda conforma un ecosistema completo con otros equipos clave de procesamiento inicial, como la litografía (serie OMEGA) y el grabado (serie MICHELAN). Cabe destacar que SEMES ha ampliado su ámbito de negocio a todo el sector de la fabricación de memorias de alto ancho de banda (HBM), desarrollando y produciendo en masa con éxito una máquina de unión térmica (TC Bonder) para el apilamiento de chips HBM.

En resumen, BLUEICE PRIME demuestra la profunda fortaleza tecnológica de SEMES en el campo de los equipos para semiconductores. Es una parte crucial de los esfuerzos del Grupo Samsung para consolidar su posición como líder mundial en tecnologías de procesos avanzados y una herramienta clave que respalda la fabricación de vanguardia por debajo de los 2 nm.