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Apparecchiature per processi a umido a livello di wafer

Sistema di galvanizzazione dei semiconduttori

Apparecchiature di galvanica affidabili per bumping di wafer, strati di ridistribuzione, ramatura, nichelatura, doratura, MEMS, semiconduttori composti e produzione di packaging avanzato.

Semiconductor Electroplating System
Placcatura dei metalliAdatto per processi di placcatura di rame, nichel, oro, stagno, saldatura e semiconduttori correlati.
Confezionamento dei waferUtilizzato nella produzione di wafer bumping, strati di ridistribuzione, MEMS e packaging avanzato.
Processo stabileProgettato per una deposizione uniforme, il controllo chimico, la filtrazione e una produzione ripetibile.
Fornitura flessibileSono disponibili attrezzature nuove, usate e ricondizionate, a seconda delle esigenze del progetto.
Panoramica delle apparecchiature

Deposizione di precisione di metalli per la produzione di semiconduttori

Questa apparecchiatura è progettata per la lavorazione a umido controllata, dove lo spessore del metallo, l'adesione, la qualità della superficie e la ripetibilità del processo sono fattori importanti per i risultati finali della produzione.

01

Deposizione controllata di metallo

Il sistema deposita strati metallici su wafer, substrati o microstrutture tramite placcatura elettrochimica. È ideale per processi in cui sono richiesti spessore controllato, superficie pulita e deposizione stabile.

02

Controllo stabile del processo a umido

La qualità della placcatura dipende dalla composizione chimica del bagno, dalla filtrazione, dalla temperatura, dalla distribuzione della corrente, dal contatto con il wafer e dalle misure di sicurezza durante la manipolazione. Un sistema adeguato contribuisce a mantenere condizioni di processo stabili durante la produzione.

03

Opzioni flessibili per le attrezzature

Offriamo diverse opzioni di apparecchiatura in base alle dimensioni del wafer, al metallo di placcatura, all'applicazione del processo, alla capacità produttiva, ai tempi di consegna e alle condizioni della macchina preferite.

Attrezzatura disponibile

Sistemi di galvanica per semiconduttori disponibili

Scopri le apparecchiature disponibili per il confezionamento a livello di wafer, la placcatura in rame, la placcatura in nichel, la placcatura in oro, i MEMS, i semiconduttori composti e le applicazioni di confezionamento avanzato.

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Sfide di produzione

Migliorare la stabilità della placcatura e ridurre il rischio di processo

Nella produzione a livello di wafer, la qualità della galvanica influisce direttamente sul confezionamento successivo, sulle prestazioni elettriche, sui risultati delle ispezioni e sulla resa produttiva.

Un sistema affidabile contribuisce a ridurre i risultati di placcatura instabili e favorisce una produzione più pulita e ripetibile.

Spessore di placcatura non uniforme su wafer o substrati
Particelle, fosse, vuoti, noduli o superfici metalliche ruvide
Temperatura del bagno instabile o circolazione chimica debole
Risultati incoerenti tra i lotti di produzione
Danni o contaminazione del wafer durante la manipolazione in ambiente umido
Lunghi tempi di consegna delle apparecchiature che incidono sui programmi di produzione.
Flusso di processo

Processo tipico di galvanizzazione dei semiconduttori

Il processo combina la preparazione dei wafer, il controllo delle condizioni del bagno, la deposizione elettrica, il risciacquo, l'asciugatura e la preparazione per l'ispezione.

FASE 01

Preparazione dei wafer

Il wafer viene pulito, modellato, seminato e preparato prima di passare alla fase di placcatura.

FASE 02

Caricamento dei wafer

Il wafer viene caricato in una cella di processo dotata di un sistema di bloccaggio, contatto e movimentazione adeguato.

FASE 03

Controllo del bagno

Per garantire la stabilità del processo, vengono controllati i parametri chimici, la circolazione, la filtrazione, gli additivi e la temperatura.

FASE 04

Deposizione di metallo

La corrente elettrica determina la deposizione degli ioni metallici secondo la ricetta e l'obiettivo di processo richiesti.

FASE 05

Risciacquare e asciugare

Dopo la placcatura, i wafer vengono risciacquati, asciugati e preparati per l'ispezione o per la fase successiva della produzione.

Applicazioni

Ambiti di applicazione

I sistemi di galvanostegia per semiconduttori sono utilizzati in molteplici processi di produzione a livello di wafer e relativi al packaging.

Wafer Bumping Electroplating

Wafer Bumping

Utilizzato per formare bump di saldatura, pilastri di rame, barriere di nichel e strutture di bump correlate per il packaging flip chip e a livello di wafer.

  • Saldatura a rilievo
  • pilastro di rame
  • Barriera di nichel
  • Processo flip chip
RDL Electroplating

Placcatura a strati di ridistribuzione

Supporta i processi di ridistribuzione del rame per il packaging fan-out, il routing a livello di wafer e le strutture di interconnessione ad alta densità.

  • Rame RDL
  • Confezione a ventaglio
  • Instradamento a livello di wafer
  • Caratteristiche a linea sottile
MEMS Electroplating

MEMS e microstrutture

Utilizzato per realizzare microstrutture metalliche, elementi sensori, strati di contatto, attuatori e altre strutture funzionali per dispositivi MEMS.

  • Microstrutture
  • Caratteristiche del sensore
  • strati di metallo chimico
  • Deposizione funzionale
Compound Semiconductor Electroplating

Dispositivi a semiconduttore composti

Supporta i processi di metallizzazione e placcatura relativi al packaging per dispositivi a semiconduttore di potenza come GaN, GaAs, SiC.

  • Dispositivi GaN
  • dispositivi GaAs
  • dispositivi SiC
  • semiconduttore di potenza
Capacità del sistema

Capacità chiave per una produzione stabile

Un sistema di galvanostegia per semiconduttori deve garantire una qualità di deposizione controllata, una manipolazione sicura dei wafer e condizioni di processo a umido stabili.

Uniformità dello spessore

Contribuisce a mantenere una deposizione uniforme su tutta la superficie del wafer e sulle aree con motivi predefiniti.

Distribuzione attuale

Il controllo stabile della corrente garantisce una placcatura ripetibile per diversi modelli di wafer e strati metallici.

Filtrazione chimica

La filtrazione e la circolazione contribuiscono a ridurre particelle, cavità, noduli e superfici di placcatura ruvide.

Stabilità della temperatura

Il controllo della temperatura del bagno contribuisce a mantenere costante la velocità di placcatura, il comportamento degli additivi e la coerenza del processo.

Sicurezza nella manipolazione dei wafer

Un corretto caricamento, bloccaggio e trasferimento contribuiscono a ridurre i danni ai wafer e il rischio di contaminazione.

Flessibilità di processo

Supporta diversi metalli di placcatura, dimensioni di wafer, esigenze di produzione e livelli di automazione.

Miglioramento della produzione

Realizzare un processo di placcatura più affidabile

Un migliore controllo delle apparecchiature contribuisce a migliorare la uniformità della placcatura e a garantire una produzione a valle più fluida.

Senza un controllo di processo stabile

  • Spessore di placcatura instabile e scarsa uniformità del wafer
  • Particelle, vuoti, cavità e superfici metalliche ruvide
  • deriva delle condizioni del bagno e debole circolazione chimica
  • Bassa ripetibilità tra i lotti di produzione
  • Rischio più elevato durante la manipolazione di wafer umidi

Con l'attrezzatura adeguata

  • Deposizione di metallo più uniforme su tutta la superficie dei wafer
  • Superficie di placcatura più pulita e minor rischio di difetti.
  • Migliore controllo della temperatura, della filtrazione e del bagno.
  • Ricette stabili per una produzione ripetibile
  • Maggiore fiducia nella produzione e affidabilità del processo.
Perché sceglierci

Fornitura affidabile di attrezzature con supporto pratico.

L'acquisto di apparecchiature per semiconduttori richiede più di un semplice preventivo. Sono necessari una selezione adeguata delle macchine, una comunicazione chiara, verifiche sullo stato delle apparecchiature, supporto per la consegna e un approvvigionamento efficiente.

Aiutiamo i clienti a trovare le attrezzature più adatte in base alle reali esigenze di produzione, al budget e alle tempistiche.

Verifica disponibilità e richiedi un preventivo

Risorse di attrezzature disponibili

Vi aiutiamo a verificare la disponibilità di sistemi di galvanizzazione per semiconduttori nuovi, usati e ricondizionati, in base alle esigenze del vostro progetto.

Abbinamento basato sui processi

Selezioniamo le apparecchiature in base alle dimensioni del wafer, al metallo di placcatura, allo spessore target, alla capacità produttiva e all'applicazione del processo.

Controllo delle condizioni della macchina

Le macchine disponibili possono essere verificate prima della spedizione per contribuire a ridurre il rischio d'acquisto.

Risposta rapida

Rispondiamo rapidamente alle richieste di informazioni sulle macchine e vi aiutiamo a verificare in modo efficiente le opzioni di attrezzatura più adatte.

Supporto per le consegne globali

Offriamo supporto per l'imballaggio, la documentazione per l'esportazione e la spedizione internazionale per gli acquirenti esteri.

Fornitura di attrezzature in un unico punto

È inoltre possibile reperire insieme le apparecchiature correlate per la lavorazione, il confezionamento, l'incollaggio, l'ispezione e i processi a umido dei wafer.

Guida alla selezione

Come scegliere un sistema adatto

Il sistema di galvanostegia più adatto dipende dalle dimensioni del wafer, dal metallo da placcare, dallo scopo del processo, dall'obiettivo di uniformità, dai requisiti chimici, dal livello di automazione e dalla capacità produttiva.

Inviaci i dettagli del tuo processo e ti aiuteremo a verificare le opzioni di attrezzature più adatte.

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Dimensioni del waferConfermare le dimensioni del wafer supportate, il design del supporto, il metodo di bloccaggio e i requisiti per il trasferimento a umido.
Placcatura del metalloRame, nichel, oro, stagno, saldature e metalli speciali richiedono una composizione chimica e una compatibilità hardware diverse.
ApplicazioneIl bumping dei wafer, i processi RDL, i MEMS, i dispositivi di potenza e i processi per semiconduttori composti richiedono configurazioni di apparecchiature diverse.
Obiettivo di uniformitàI processi di confezionamento avanzato e quelli a livello di wafer richiedono in genere un controllo più preciso dello spessore e una migliore ripetibilità.
Sistema chimicoEsaminare la circolazione dell'acqua nel bagno, la filtrazione, il controllo della temperatura, il dosaggio, l'aspirazione, il drenaggio e la sicurezza chimica.
Livello di automazioneSelezionare sistemi manuali, semiautomatici o automatici in base alla produttività e al flusso di produzione.
Domande frequenti

Domande frequenti

Che cos'è un sistema di galvanostegia per semiconduttori?

Si tratta di un'apparecchiatura per processi a umido utilizzata per depositare strati metallici controllati su wafer, substrati o microstrutture mediante placcatura elettrochimica.

Quali applicazioni supporta questa apparecchiatura?

Può essere utilizzato per il bumping dei wafer, gli strati di ridistribuzione, la placcatura in rame, la placcatura in nichel, la placcatura in oro, i MEMS, i dispositivi a semiconduttore composti e il packaging avanzato.

Quali metalli possono essere placcati?

I metalli comunemente utilizzati per la placcatura includono rame, nichel, oro, stagno, materiali per saldatura e altri metalli speciali a seconda dei requisiti del processo.

Quali informazioni devo fornire prima di richiedere un preventivo?

Si prega di fornire le dimensioni del wafer, il metallo di placcatura, lo spessore target, l'applicazione del processo, la capacità richiesta, le condizioni preferite della macchina e i requisiti dell'impianto, se disponibili.

Potete fornire sistemi di galvanizzazione usati o ricondizionati?

Sì. Possiamo aiutarvi a verificare le opzioni disponibili di attrezzature nuove, usate e ricondizionate in base al vostro budget e alla tempistica del progetto.

Potete aiutarmi a verificare se una macchina è adatta al mio processo?

Sì. Possiamo aiutarvi a valutare i requisiti di base, come le dimensioni del wafer, il tipo di metallo, l'applicazione, il livello di automazione e le condizioni delle apparecchiature, prima di consigliarvi le opzioni più adatte.

Offrite il servizio di spedizione internazionale?

Sì. Offriamo supporto per l'imballaggio, la documentazione per l'esportazione e la spedizione internazionale per gli acquirenti esteri di attrezzature.

Quanto costa un sistema di galvanostegia per semiconduttori?

Il prezzo dipende dalla configurazione del sistema, dalle dimensioni del wafer, dalle capacità di processo, dal livello di automazione, dalle condizioni della macchina, dalla marca e dalla disponibilità.

Perché così tante persone scelgono di lavorare con GeekValue?

Il nostro marchio si sta diffondendo di città in città e innumerevoli persone mi hanno chiesto: "Cos'è GeekValue?". Nasce da una visione semplice: potenziare l'innovazione cinese con tecnologie all'avanguardia. Questo è lo spirito del marchio, improntato al miglioramento continuo, nascosto nella nostra incessante ricerca del dettaglio e nel piacere di superare le aspettative a ogni consegna. Questa maestria artigianale e questa dedizione quasi ossessiva non sono solo la perseveranza dei nostri fondatori, ma anche l'essenza e il calore del nostro marchio. Speriamo che possiate iniziare da qui e darci l'opportunità di creare la perfezione. Lavoriamo insieme per creare il prossimo miracolo "zero difetti".

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