Der ACCRETECH UF200R ist ein vollautomatischer, kostengünstiger Halbleiterprüfer von ACCRETECH (Japan) für 120–200 mm (5–8 Zoll) Wafer. Er wird für elektrische Prüfungen (CP-Prüfung) von Chips auf Wafer-Ebene vor dem Vereinzeln eingesetzt.
Was bewirkt es?
Vereinfacht ausgedrückt: Bevor der Wafer in einzelne Chips zerteilt wird, kontaktieren Sonden die Chip-Pads, um elektrische/funktionelle Tests durchzuführen und intakte von defekten Chips zu trennen. Phase: Wafer-Test (CP)
Zielgröße: Vorwiegend 200 mm (8 Zoll), auch geeignet für 5/6-Zoll-Wafer
Typische Chips: Logik-, Analog-, Leistungshalbleiter-, diskrete Bauelemente, MEMS
II. Kernspezifikationen (auf einen Blick)
Wafergröße: 120/150/200 mm (5–8 Zoll)
Positioniergenauigkeit: ±1,5 μm (XY)
Bewegungsgeschwindigkeit:
XY: Bis zu 300 mm/s
Z: Bis zu 30 mm/s
Temperaturbereich: -40℃ ~ +150℃ (Optionale Temperaturregelung)
Plattform: Hochsteife Z/θ-Plattform, kompatibel mit ultradünnen/gewölbten Wafern
Funktionsweise: Vollautomatisches Be- und Entladen, automatische Ausrichtung, Sondenprüfung
III. Hauptfunktionen
Vollautomatisierter Testprozess
Automatisches Waferladen → Bildausrichtung → Sondenkontaktierung → Elektrische Prüfung → Segmentierung und Aufzeichnung → Automatisches Entladen
Multi-Kategorie-Kompatibilität
Standardlogik, Analogtechnik, Leistungselektronik, MOSFETs, Dioden, Transistoren, MEMS – alles messbar. Breiter Temperaturbereich und Spezialtests. Umfassende Optionen für Tief-/Hochtemperatur-, Mikrostrom-, Hochspannungstests usw. Bearbeitung ultradünner/verformter Wafer. Rückseitenadsorption und spezielle Handhabungsmechanismen ermöglichen die Verarbeitung ultradünner (≤ 50 µm) und stark verformter Wafer.
IV. Vorteile (im Vergleich zu ähnlichen Produkten)
Hohes Preis-Leistungs-Verhältnis: Nahezu die Präzision und Plattform des High-End-Systems UF2000 (baugleich mit MMI), aber zu einem deutlich günstigeren Preis.
Hoher Durchsatz: XY-Hochgeschwindigkeitskarte mit Schnellwechsel-PIN, geeignet für 8-Zoll-Produktionslinien mit hohem Durchsatz.
Stabil und zuverlässig: Ausgereifte ACCRETECH-Plattform, geringer Wartungsaufwand, lange Lebensdauer.
Flexible Erweiterung: Modulares Design, kann später mit Temperaturregelung, Hochspannung, Mikrostrom, Dual-Bin usw. ergänzt werden.
V. Häufige Produktvergleiche (die Ihnen helfen, schnell das richtige Produkt zu finden)
UF200R: Allgemeine 8-Zoll-Massenproduktion, Logik/Leistung/Diskrete, Kosteneffizienz hat Priorität.
UF190R: Kompakter, Einstiegsmodell, ausgelegt auf Einzelbauteile/Kleinserien.
UF2000: Hochwertiger 8-Zoll-Kühler mit höherer Präzision, breiterem Temperaturregelbereich und MEMS-/Fortschrittstechnologie
Kurz gesagt: Die UF200R ist die „kostengünstige Standard-Probenstation“ im Markt für 8-Zoll-Mittelprüfgeräte – sie bietet ausreichende Genauigkeit, hohe Geschwindigkeit, Stabilität, Langlebigkeit und Erweiterbarkeit und eignet sich daher für Produktionslinien mit hohem Durchsatz und vielfältigen 8-Zoll-Produkten.


