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Nassprozessanlagen auf Wafer-Ebene

Halbleiter-Galvanisierungssystem

Zuverlässige Galvanisierungsanlagen für Wafer-Bumping, Umverteilungsschichten, Kupferplattierung, Nickelplattierung, Goldplattierung, MEMS, Verbindungshalbleiter und fortschrittliche Gehäuseproduktion.

Semiconductor Electroplating System
MetallbeschichtungGeeignet für Kupfer-, Nickel-, Gold-, Zinn-, Löt- und ähnliche Halbleiterplattierungsverfahren.
WaferverpackungWird beim Wafer-Bumping, bei Umverteilungsschichten, in MEMS und in der fortschrittlichen Gehäuseproduktion eingesetzt.
Stabiler ProzessEntwickelt für gleichmäßige Abscheidung, chemische Kontrolle, Filtration und reproduzierbare Produktion.
Flexible VersorgungJe nach Projektbedarf stehen neue, gebrauchte und generalüberholte Geräte zur Verfügung.
Geräteübersicht

Präzisionsmetallisierung für die Halbleiterfertigung

Diese Ausrüstung ist für die kontrollierte Nassbearbeitung konzipiert, bei der Metalldicke, Haftung, Oberflächenqualität und Prozesswiederholbarkeit für das Endergebnis von Bedeutung sind.

01

Kontrollierte Metallabscheidung

Das System deponiert Metallschichten mittels elektrochemischer Abscheidung auf Wafern, Substraten oder Mikrostrukturen. Es eignet sich für Prozesse, bei denen eine kontrollierte Schichtdicke, eine saubere Oberfläche und eine stabile Abscheidung erforderlich sind.

02

Stabile Nassprozesssteuerung

Die Qualität der Beschichtung hängt von der Badchemie, der Filtration, der Temperatur, der Stromverteilung, dem Waferkontakt und der Handhabungssicherheit ab. Ein geeignetes System trägt dazu bei, stabile Prozessbedingungen während der Produktion aufrechtzuerhalten.

03

Flexible Ausstattungsoptionen

Wir bieten Ihnen die verfügbaren Ausrüstungsoptionen basierend auf Ihrer Wafergröße, dem Beschichtungsmetall, der Prozessanwendung, der Produktionskapazität, dem Liefertermin und dem gewünschten Maschinenzustand.

Verfügbare Ausrüstung

Verfügbare Halbleiter-Galvanisierungssysteme

Entdecken Sie verfügbare Anlagen für Wafer-Level-Packaging, Kupferplattierung, Nickelplattierung, Goldplattierung, MEMS, Verbindungshalbleiter und fortschrittliche Packaging-Anwendungen.

ACM Research trim and form system ULTRA ECP ap-p

ACM Research Trim- und Formsystem ULTRA ECP ap-p

Das ULTRA ECP ap-p von ACM Research ist ein bahnbrechendes horizontales Plattenbeschichtungssystem auf Paneelebene.

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Applied Materials Semiconductor Electroplating System Raider® Edge ECD

Applied Materials Halbleiter-Galvanisierungssystem Raider® Edge ECD

Das Raider® Edge ECD-System von Applied Materials ist ein elektrochemisches Abscheidungsgerät (ECD), das in der Halbleiterfertigung eingesetzt wird...

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Applied Materials  Semiconductor Electroplating System Nokota™ ECD

Applied Materials Halbleiter-Galvanisierungssystem Nokota™ ECD

Das Nokota™ ECD-System von Applied Materials ist ein hochproduktives elektrochemisches Abscheidungssystem, das speziell für die Herstellung von... entwickelt wurde.

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Produktionsherausforderungen

Verbesserung der Stabilität der Beschichtung und Reduzierung des Prozessrisikos

Bei der Wafer-Level-Produktion beeinflusst die Qualität der Galvanisierung direkt die nachgelagerte Verpackung, die elektrische Leistung, die Inspektionsergebnisse und die Produktionsausbeute.

Ein zuverlässiges System trägt dazu bei, instabile Beschichtungsergebnisse zu reduzieren und eine sauberere, reproduzierbarere Produktion zu ermöglichen.

Ungleichmäßige Beschichtungsdicke auf Wafern oder Substraten
Partikel, Poren, Hohlräume, Knötchen oder raue Metalloberflächen
Instabile Badtemperatur oder schwache chemische Zirkulation
Uneinheitliche Ergebnisse zwischen den Produktionschargen
Beschädigung oder Verunreinigung der Wafer bei der Nasshandhabung
Lange Lieferzeiten für Anlagen beeinträchtigen Produktionspläne
Prozessablauf

Typisches Halbleiter-Galvanisierungsverfahren

Der Prozess umfasst die Waferpräparation, kontrollierte Badbedingungen, elektrische Abscheidung, Spülung, Trocknung und die Vorbereitung auf die Inspektion.

SCHRITT 01

Wafer-Herstellung

Der Wafer wird gereinigt, strukturiert, mit Keimen versehen und vorbereitet, bevor er in den Plattierungsschritt gelangt.

SCHRITT 02

Waferbeladung

Der Wafer wird in eine Prozesszelle mit geeigneter Klemm-, Kontakt- und Handhabungskonstruktion geladen.

SCHRITT 03

Badsteuerung

Chemie, Zirkulation, Filtration, Additive und Temperatur werden zur Gewährleistung der Prozessstabilität kontrolliert.

SCHRITT 04

Metallabscheidung

Elektrischer Strom steuert die Metallionenabscheidung gemäß der vorgegebenen Rezeptur und dem Prozessziel.

SCHRITT 05

Abspülen und trocknen

Nach der Beschichtung werden die Wafer gespült, getrocknet und für die Inspektion oder den nächsten Produktionsschritt vorbereitet.

Anwendungen

Anwendungsgebiete

Halbleiter-Galvanisierungssysteme werden in zahlreichen Produktionsprozessen auf Wafer-Ebene und im Zusammenhang mit der Verpackung eingesetzt.

Wafer Bumping Electroplating

Wafer Bumping

Wird zur Herstellung von Lötbumps, Kupfersäulen, Nickelbarrieren und ähnlichen Bump-Strukturen für Flip-Chip- und Wafer-Level-Packaging verwendet.

  • Lötbuckel
  • Kupfersäule
  • Nickelbarriere
  • Flip-Chip-Verfahren
RDL Electroplating

Umverteilungsschicht-Plattierung

Unterstützt Kupferverteilungsschichtprozesse für Fan-Out-Packaging, Wafer-Level-Routing und hochdichte Verbindungsstrukturen.

  • Kupfer RDL
  • Fächerverpackung
  • Wafer-Level-Routing
  • Feine Linienführung
MEMS Electroplating

MEMS und Mikrostrukturen

Wird verwendet, um metallische Mikrostrukturen, Sensorelemente, Kontaktschichten, Aktuatoren und andere funktionale Strukturen für MEMS-Bauelemente herzustellen.

  • Mikrostrukturen
  • Sensorfunktionen
  • Dicke Metallschichten
  • Funktionelle Ablagerung
Compound Semiconductor Electroplating

Verbindungshalbleiterbauelemente

Unterstützt Metallisierungs- und Packaging-bezogene Beschichtungsprozesse für GaN-, GaAs-, SiC- und Leistungshalbleiterbauelemente.

  • GaN-Bauelemente
  • GaAs-Bauelemente
  • SiC-Bauelemente
  • Leistungshalbleiter
Systemfähigkeiten

Schlüsselkompetenzen für eine stabile Produktion

Ein Halbleiter-Galvanisierungssystem sollte eine kontrollierte Abscheidungsqualität, eine sichere Waferhandhabung und stabile Nassprozessbedingungen gewährleisten.

Gleichmäßigkeit der Dicke

Hilft dabei, eine gleichmäßige Abscheidung auf Waferoberflächen und strukturierten Bereichen zu gewährleisten.

Stromverteilung

Eine stabile Stromregelung ermöglicht wiederholbare Beschichtungen für unterschiedliche Wafermuster und Metallschichten.

Chemische Filtration

Filtration und Zirkulation tragen zur Reduzierung von Partikeln, Poren, Knötchen und rauen Beschichtungsoberflächen bei.

Temperaturstabilität

Die Kontrolle der Badtemperatur trägt zur Aufrechterhaltung der Beschichtungsrate, des Additivverhaltens und der Prozesskonsistenz bei.

Sicherheit beim Umgang mit Wafern

Durch sachgemäßes Laden, Klemmen und Übertragen wird das Risiko von Waferschäden und Kontaminationen verringert.

Prozessflexibilität

Unterstützt verschiedene Beschichtungsmetalle, Wafergrößen, Produktionsanforderungen und Automatisierungsgrade.

Produktionsverbesserung

Entwicklung eines zuverlässigeren Beschichtungsverfahrens

Eine bessere Anlagensteuerung trägt zu einer höheren Gleichmäßigkeit der Beschichtung bei und unterstützt einen reibungsloseren Produktionsablauf.

Ohne stabile Prozesssteuerung

  • Instabile Schichtdicke und mangelhafte Wafer-Uniformität
  • Partikel, Hohlräume, Vertiefungen und raue Metalloberflächen
  • Badzustandsdrift und schwache chemische Zirkulation
  • Geringe Wiederholgenauigkeit zwischen den Produktionschargen
  • Höheres Risiko bei der Handhabung nasser Wafer

Mit geeigneter Ausrüstung

  • Gleichmäßigere Metallabscheidung auf Wafern
  • Sauberere Beschichtungsoberfläche und geringeres Defektrisiko
  • Bessere Temperatur-, Filtrations- und Badsteuerung
  • Stabile Rezepturen für eine wiederholbare Produktion
  • Verbesserte Produktionssicherheit und Prozesszuverlässigkeit
Warum Uns Wählen

Zuverlässige Geräteversorgung mit praktischer Unterstützung

Der Kauf von Halbleiteranlagen erfordert mehr als nur ein Angebot. Sie benötigen eine geeignete Maschinenauswahl, klare Kommunikation, Überprüfung des Anlagenzustands, Unterstützung bei der Lieferung und eine effiziente Beschaffung.

Wir helfen unseren Kunden, die passende Ausrüstung zu finden, die auf ihren tatsächlichen Produktionsanforderungen, ihrem Budget und ihrem Zeitplan basiert.

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Verfügbare Ausrüstungsressourcen

Wir helfen Ihnen, verfügbare neue, gebrauchte und generalüberholte Halbleiter-Galvanisierungssysteme entsprechend Ihren Projektanforderungen zu finden.

Prozessbasierter Abgleich

Wir passen die Ausrüstung an die Wafergröße, das Beschichtungsmetall, die angestrebte Schichtdicke, die Produktionskapazität und die Prozessanwendung an.

Maschinenzustandsprüfung

Die verfügbaren Maschinen können vor dem Versand geprüft werden, um das Kaufrisiko zu minimieren.

Schnelle Reaktion

Wir reagieren schnell auf Anfragen zu Maschinen und helfen Ihnen, die passenden Geräteoptionen effizient zu prüfen.

Globaler Liefersupport

Wir unterstützen ausländische Käufer bei der Verpackung, der Exportdokumentation und dem internationalen Versand.

Ausrüstungslieferant aus einer Hand

Die dazugehörigen Anlagen für Waferbearbeitung, Verpackung, Bonding, Inspektion und Nassprozesse können ebenfalls zusammen bezogen werden.

Auswahlhilfe

Wie man ein geeignetes System auswählt

Das richtige Galvanisierungssystem hängt von der Wafergröße, dem zu galvanisierenden Metall, dem Prozesszweck, dem angestrebten Gleichmäßigkeitsgrad, den chemischen Anforderungen, dem Automatisierungsgrad und der Produktionskapazität ab.

Senden Sie uns Ihre Prozessdetails, und wir helfen Ihnen bei der Auswahl geeigneter Ausrüstungsoptionen.

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WafergrößeBitte bestätigen Sie die unterstützte Wafergröße, das Trägerdesign, die Klemmmethode und die Anforderungen an den Nasstransfer.
MetallplattierungKupfer, Nickel, Gold, Zinn, Lötmittel und Spezialmetalle erfordern unterschiedliche chemische Zusammensetzungen und Hardwarekompatibilität.
AnwendungFür Wafer-Bumping, RDL, MEMS, Leistungshalbleiter und Verbindungshalbleiterprozesse sind unterschiedliche Anlagenkonfigurationen erforderlich.
Ziel der GleichförmigkeitFortschrittliche Packaging- und Wafer-Level-Prozesse erfordern in der Regel eine präzisere Dickenkontrolle und eine bessere Wiederholgenauigkeit.
Chemisches SystemÜberprüfen Sie die Badzirkulation, Filtration, Temperaturregelung, Dosierung, Abluft, Entwässerung und die chemische Sicherheit.
AutomatisierungsgradWählen Sie je nach Durchsatz und Produktionsablauf manuelle, halbautomatische oder automatische Systeme.
Häufig gestellte Fragen

Häufig gestellte Fragen

Was ist ein Halbleiter-Galvanisierungssystem?

Es handelt sich um Nassverfahrensanlagen, die zur Abscheidung kontrollierter Metallschichten auf Wafern, Substraten oder Mikrostrukturen durch elektrochemische Abscheidung eingesetzt werden.

Welche Anwendungen unterstützt dieses Gerät?

Es kann für Wafer-Bumping, Umverteilungsschichten, Kupferplattierung, Nickelplattierung, Goldplattierung, MEMS, Verbindungshalbleiterbauelemente und fortschrittliche Gehäuse verwendet werden.

Welche Metalle können beschichtet werden?

Gängige Beschichtungsmetalle sind Kupfer, Nickel, Gold, Zinn, Lötmaterialien und je nach Prozessanforderungen auch andere Spezialmetalle.

Welche Informationen sollte ich vor der Angebotsanfrage angeben?

Bitte geben Sie, falls verfügbar, die Wafergröße, das Beschichtungsmetall, die Zieldicke, die Prozessanwendung, die benötigte Kapazität, den bevorzugten Maschinenzustand und die Anlagenanforderungen an.

Können Sie gebrauchte oder generalüberholte Galvanisierungsanlagen liefern?

Ja. Wir können Ihnen dabei helfen, verfügbare neue, gebrauchte und generalüberholte Geräteoptionen zu finden, die zu Ihrem Budget und Projektzeitplan passen.

Können Sie mir helfen zu prüfen, ob eine Maschine zu meinem Prozess passt?

Ja. Wir können Ihnen bei der Überprüfung grundlegender Anforderungen wie Wafergröße, Metallart, Anwendung, Automatisierungsgrad und Gerätezustand behilflich sein, bevor wir Ihnen Optionen empfehlen.

Bieten Sie internationalen Versand an?

Ja. Wir unterstützen Käufer von Ausrüstung im Ausland bei der Verpackung, der Exportdokumentation und dem internationalen Versand.

Was kostet eine Halbleiter-Galvanisierungsanlage?

Der Preis hängt von der Systemkonfiguration, der Wafergröße, der Prozessfähigkeit, dem Automatisierungsgrad, dem Maschinenzustand, der Marke und der Verfügbarkeit ab.

Warum entscheiden sich so viele Menschen für eine Zusammenarbeit mit GeekValue?

Unsere Marke verbreitet sich von Stadt zu Stadt, und unzählige Menschen fragen mich: „Was ist GeekValue?“ Sie entspringt einer einfachen Vision: Chinesische Innovation mit Spitzentechnologie zu stärken. Dieser Markengeist der kontinuierlichen Verbesserung verbirgt sich in unserem unermüdlichen Streben nach Details und der Freude, mit jeder Lieferung Erwartungen zu übertreffen. Diese fast obsessive Handwerkskunst und Hingabe ist nicht nur die Beharrlichkeit unserer Gründer, sondern auch die Essenz und Wärme unserer Marke. Wir hoffen, Sie beginnen hier und geben uns die Chance, Perfektion zu schaffen. Lassen Sie uns gemeinsam das nächste „Null-Fehler“-Wunder schaffen.

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