Nettoyant pour plaquettes SEMES BLUEICE PRIME

BLUEICE PRIME de SEMES est un système de nettoyage de plaquettes individuelles entièrement automatisé de 300 mm, conçu pour la fabrication de puces logiques et mémoires utilisant des technologies de pointe (LPT). Développé et fabriqué par SEMES, fournisseur d'équipements essentiels de Samsung Electronics, il constitue un élément clé pour améliorer les rendements de production en série des procédés de pointe tels que la gravure en 2 nm.

Performances essentielles : équilibrer les processus avancés et la capacité

Performances de traitement supérieures : Capable d'éliminer les particules au niveau de 19 nm, améliorant considérablement l'uniformité de la gravure de plus de 40 %.

Conception à haute capacité et à haut rendement : En tant que système de nettoyage de plaquettes individuelles de 300 mm, il traite plus de 500 plaquettes par heure (WPH), répondant efficacement aux exigences de la production de masse à grande échelle.

Caractéristiques techniques : Plusieurs conceptions innovantes développées indépendamment

Procédé innovant à l'acide phosphorique haute température : Ce procédé utilise l'acide phosphorique haute température pour la gravure et le décapage des plaquettes. Le contrôle précis de la pulvérisation et de la température réduit efficacement la dispersion du procédé et les taux de défauts, améliorant ainsi considérablement le rendement des puces 2 nm.

**Mandrin haute température développé indépendamment :** Cette technologie améliore l'uniformité de la température pendant le chauffage des plaquettes, réduit considérablement les défauts de processus et surmonte les limitations des méthodes de nettoyage humide traditionnelles.

**Contrôle complet de la contamination :** La chambre NIC (Non-Interaction Clean) empêche efficacement la contamination croisée, combinée à la technologie SF-Aerosol (gouttelettes à haute vitesse/uniformes) pour le nettoyage physique.

**Système intelligent hautement intégré :** Doté des systèmes APAC, AIS (système de détection automatique) et SEAS (système d'analyse intelligent des équipements), il permet un contrôle précis du flux et une analyse intelligente de l'état des équipements.

**Domaines d'application :** Basé chez Samsung, au service des plus grands clients internationaux.

BLUEICE PRIME cible principalement les principaux fondeurs de puces logiques et fabricants de mémoire au monde. Tirant parti du statut de sa maison mère SEMES, filiale du groupe Samsung, cet équipement est parfaitement intégré aux lignes de production de semi-conducteurs les plus avancées de Samsung. Sa solution de nettoyage humide forme un écosystème complet avec d'autres équipements essentiels tels que les systèmes de lithographie (série OMEGA) et de gravure (série MICHELAN). Il convient de noter que SEMES a étendu son activité à l'ensemble du secteur de la fabrication de mémoires HBM (High Bandwidth Memory), en développant et en produisant en série avec succès une machine de collage thermique (TC Bonder) pour l'empilement de puces HBM.

En résumé, BLUEICE PRIME témoigne de la profonde expertise technologique de SEMES dans le domaine des équipements pour semi-conducteurs. Elle constitue un élément crucial de la stratégie du groupe Samsung visant à consolider sa position de leader mondial des technologies de procédés avancées et un outil essentiel pour la fabrication de pointe en dessous de 2 nm.