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SCREEN SU-3200は、半導体製造業界における画期的な300mmシングルウェハ洗浄システムです。優れた処理能力と最先端の洗浄技術により、長年にわたりSCREENの主力製品として、32nmから7nm、さらにそれより高度なノードのロジックチップやメモリチップの製造を支え、洗浄装置市場において重要な役割を果たしてきました。
コアポジショニングと技術概要：SU-3200のコアポジショニングは、極めて高い清浄度を維持しながら、シングルウェハー洗浄のスループットを大幅に向上させ、高度なプロセスの極めて高い効率要求を満たすことです。
高スループット設計：革新的な4層積層構造により、1つのシステムに最大12個の独立した処理チャンバーを構成でき、1時間あたり最大800枚のウェハ処理能力を実現しました。これは当時、シングルウェハ洗浄システムの中で世界最高水準でした。
超クリーンなプロセス環境：22nm以降のノードの厳しい要件を満たすため、SU-3200はSCREEN独自のAPAC（Advanced Process Atmosphere Control）技術を搭載しています。チャンバー環境を多方面から最適化することで、洗浄プロセスの究極の清浄度を実現します。
主な技術詳細：処理能力と清浄度という二つの目標を達成するために、SU-3200は一連の革新的な設計を採用しています。詳細は以下の表をご覧ください。
技術次元｜技術名｜コア機能と実装方法
画期的な処理能力向上｜コンパクトチャンバー｜単一の処理チャンバーの容積を従来品の半分に削減することで、同じスペース内に多くのチャンバーを設置することが可能になり、単位面積当たりの処理能力が向上します。
高速搬送システム｜チャンバー間のウェーハ搬送ロジックと速度を最適化し、800ウェーハ/時（WPH）という高いスループットを実現するための重要な要素となります。
清浄度保証 | APACテクノロジー | 超クリーンチャンバー技術とは、一連の技術を総称する用語です。その主要なサブテクノロジーには以下が含まれます。
AMCマイクロチャンバー：チャンバー内部の容積を従来品の3分の1に縮小することで、ガス交換速度を向上させ、環境清浄度を効果的に改善します。
ABGエアフローバランスバッフル：上部の高効率粒子フィルター（FFU）から吹き下ろされる清浄な空気の流れを均一にし、チャンバー内の渦やデッドゾーンを防ぎ、微粒子物質の効果的な除去を確実にします。
ASPアドバンスト・スプラッシュ・プロテクション：精密な設計により、化学薬品噴霧時の飛沫を最小限に抑え、クリーンなウェハ処理環境を確保します。
APNエアプロテクションノズル：乾燥工程中に「エアカーテン」を利用してウェーハ表面を保護し、液体の蒸発残留物による水染みを防ぎます。
柔軟な薬品供給：薬品供給源は柔軟に手配できます。ダイナミックダイレクトインジェクション（DDI）システムとキャビネット型システムの両方が利用可能で、お客様は特定のプロセス要件に応じて柔軟に選択できます。
メンテナンスの容易性：引き出し式構造：プロセスチャンバーは引き出しのように引き出すことができ、清掃、部品交換、その他のメンテナンス作業が容易になり、機器のダウンタイムを効果的に削減します。適用分野：最先端の研究開発から成熟した製造まで
SU-3200は幅広い用途に対応し、半導体製造の複数の主要段階を網羅しています。
高度なロジックおよびメモリチップ：SU-3200は、7nm以上のノードを含むチップの研究開発および製造において、フロントエンド（FEOL）プロセスとバックエンド（BEOL）プロセスの両方で使用されます。
主要な半導体材料とプロセス：この装置がサポートする多くのプロセスの中には、SiC（炭化ケイ素）やGaN（窒化ガリウム）などの第三世代半導体材料の洗浄が含まれます。
最先端の研究とエコシステム連携：SU-3200の優れた性能は、世界中の主要な研究開発機関に選ばれる理由となっています。例えば、IBMはニューヨーク州アルバニーにある半導体研究センターにSU-3200を導入しています。さらに、SCREENはApplied Materialsと提携し、より高度なチッププロセス開発のためにMETAセンターにSU-3200を設置しました。
市場における地位と過去の貢献
SU-3200は、単に成功した製品であるだけでなく、SCREENが市場におけるリーダーシップの地位を確立する上で重要な要素となっている。
市場支配力：SU-3200の成功を受け、SCREENは洗浄装置分野における主導的地位をさらに確固たるものにしました。SCREENの公式データによると、2025年7月時点で、半導体洗浄装置の累計出荷台数は1万5000台を超え、シングルウェハ洗浄、バッチ洗浄、スピン洗浄など複数の分野で世界市場シェア第1位を獲得しています。
収益の柱：SU-3200は長らくSCREENの主力製品であり、同社の清掃機器事業の収益はこのモデルに大きく依存していた。
